Рецензия

на дипломный проект

студента группы ЭТМ-53 Труфанова К.В.

на тему: “Разработка технологии двухстороннего химико-механического полирования на станке 16В4Р”.

Дипломный проект Труфанова К.В. посвящен изучению одной из самых сложных операций в производстве пластин кремния большого диаметра. Развитие микроэлектроники, уменьшение топологических размеров элементов интегральных схем диктуют необходимость в оборудовании, которое позволит выпускать пластины, удовлетворяющие требуемым параметрам.

Цель работы: исследовать существующую технологию химико-механического полирования, разработка технологии химико-механического полирования для станка 16В4Р.

В работе творчески переработан большой объем литературных источников, что позволило критически подойти к решению поставленной задачи.

Представленная работа содержит стр. текста и графического материала и состоит из литературного обзора по химико-механическому полированию пластин кремния большого диаметра, исследовательской части по разработке технологии химико-механического полирования на станке двухсторонней полировки 16В4Р.

В исследовательской части изучены конструкторские и технические приемы с целью обеспечения требуемого уровня геометрических параметров пластин кремния большого диаметра. Подобраны оптимальные технологические режимы двухстороннего химико-механического полирования.

Практические результаты, полученные при использовании станка 16В4Р, для полирования пластин кремния 150 мм в целом удовлетворяют требованиям, предъявляемым к этим пластинам.

В экономической части приведен расчет обоснования эффективности перехода к двухстороннему полированию пластин кремния.

К недостаткам дипломного проекта можно отнести недостаточный объем данных по измеренным параметрам пластин

Дипломный проект заслуживает высокой оценки, Труфанов К.В. присвоения квалификации инженера электронной техники.

ведущий инженер-технолог

Соловьева М.Б.