Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:
Скачиваний:
29
Добавлен:
16.04.2013
Размер:
489.98 Кб
Скачать

Количество пар пластин, 6

Скорость вращения нижнего стола, об/мин 40

В данном режиме скорость съема составила 0,3 мкм/мин. После уменьшения расхода суспензии скорость съема в этом режиме стала 0,35 мкм/мин.

Второй процесс полирования был проведен при полной загрузке сепараторов 12шт.

Режимы процесса полирования 2:

Последовательность нагружения Р2 Р1 Р2

Время обработки пластин, мин 1 30 1

Заданное нагружение пластин, кг/см2 0,69 3,02 0,69

Количество пар пластин, 12

Скорость вращения нижнего стола, об/мин 40

Расход полировальной суспензии - минимальный

В этих режимах полирования съем составил 15 мкм со стороны (скорость съема 0,5мкм/мин) . при повторном полировании была изменена скорость вращения нижнего стола 53 об/мин . Общий съем составил 30-35 мкм.

Из-за отсутствия фиксирования температуры полировальных столов, измерялась температура полировальной суспензии на выходе со станка. За 60мин полирования температура полировальной суспензии поднялась с 13 до20С.

3.3 Методика проведения процессов хмп.

1. Склеивание пластин кремния.

          1. Открыть вентиль подачи сжатого воздуха, холодной воды.

          2. Включить подачу электроэнергии.

          3. Протереть блоки ватным тампоном, смоченным ацетоном.

          4. Установить шаблоны, соответствующие типу кремниевых пластин по относительному расположению базового и дополнительного срезов.

          5. Загрузить пластины кремния с нанесенной клеящей мастикой таким образом, чтобы слой мастики был между двумя склеиваемыми пластинами.

          6. Положить сверху на пластины прокладки из фторопласта.

          7. Опустить погружающую камеру.

          8. Включить нагрев. Контроль за температурой осуществляется посредством встроенных датчиков (термопар) и выносного индикатора.

          9. После достижения температуры 135ОС выключить нагрев и выдержать пластины при этой температуре 5 минут.

          10. Включить воду для охлаждения склеиваемых пластин. Охлажденние проводится до температуры 45-50ОС, выключить воду и включить воздух для продува системы охлаждения. Подача воздуха отключается автоматически через 7-8 с, при этом происходит автоматический сброс давления в пневматических мембранах.

          11. Поднять нагружающую камеру и снять пластины с блоков.

После склеивания пластины передаются на полирование.

    1. Порядок проведения процесса химико-механического полирования на станке 16в4р.

          1. Открыть подачу деионизованной воды в систему станка.

          2. Подать электропитание на станок, для чего перевести тумблер автомата на задней стенке станка в горизонтальное положение до упора.

          3. Отвести верхний полировальник в сторону и закрепить его.

          4. Снять поочередно с верхнего и нижнего полировальников, старое полировальное полотно так, чтобы липкая основа осталась на полировальном полотне.

          5. Отключить подачу горячей воды, включить подачу холодной воды, охладить полировальные столы до комнатной температуры.

          6. Удалить остатки клеящей основы с полировальников

          7. Открыть подачу горячей воды.

          8. Взять две заготовки полировального материала, снять с заготовок защитную бумажную основу.

          9. Наложить заготовки на верхний и нижний полировальники так, чтобы не было вздутий.

          10. Опустить верхний полировальник. После его опускания выдержать 3-5 мин под рабочим давлением для равномерного приклеивания полировального полотна к полировальникам.

          11. Поднять верхний полировальник, пробить с помощью пробойника отверстие для подачи суспензии в верхнем полировальнике.

          12. Произвести зачистку полировальника для удаления различного вида загрязнений.

          13. Выключить вращение полировальников и подачу горячей воды.

          14. После полной остановки полировальников установить сепараторы на станок так, чтобы зазор между сепараторами был приблизительно одинаковым. Проверить зацепление между зубьями сепараторов и венца. Число сепараторов должно согласовываться с количеством обрабатываемых пластин, неполная загрузка сепараторов не допускается.

          15. Уложить в гнезда сепараторов склеенные пластины.

          16. Опустить верхний полировальник.

Соседние файлы в папке polirovka