Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

Микрополосковые резонаторы и СВЧ-устройства на их основе. Учебное пособие

.pdf
Скачиваний:
1
Добавлен:
07.09.2026
Размер:
1 Мб
Скачать
☆
значении толщины подложки убывает с увеличением частоты F.
4
tg 10
δ⋅
9,6 0,2
±
0,465 0,05
±
30 1,5
±
0,30 0,15
±
40 2
±
0,1 0,1
±
50 2
±
0,7 0, 2
− ±
80,5 2,5
±
7 1
±
0 0,1
±
150 15
±
7,5 0,5
− ±
250 30
±
16 5
− ±
tg
δ
278
=
358
=
В табл. 1.1 приведены основные характеристики некоторых отечест­венных диэлектриков.
Таблица 1.1
Основные характеристики некоторых отечественных диэлектриков
Материал ε
на частоте 10 ГГц
Поликор
ТЛ/33
ТЛ/0 ТЛ/75 ТБНС
Т-150 Т-250
на часто-
те 10 ГГц
1 5 6 6
15 30
ТКЧ·104, град–1
Значения глубины скин-слоя ∆ некоторых металлов приведены в
табл. 1.2.
Таблица 1.2
Глубина скин-слоя некоторых металлов
Металл
0,2 0,5 1 2 4 10 Серебро 4,50 2,88 2,03 1,44 1,02 0,64 Медь 4,90 2,98 2,09 1,48 1,05 0,66 Золото 5,55 3,53 2,49 1,75 1,24 0,79 Хром 13,0 8,15 5,75 4,10 2,90 1,82
Глубина скин-слоя (в мкм) на
частотах
(в ГГц)
Используя табличные данные для
и ∆, с помощью формулы (1.12)
можно вычислить, что на частоте 1 ГГц микрополосковая линия, у ко­торой толщина подложки h = 1 мм, а ширина полоскового проводни­ка, выполненного из меди, гораздо больше толщины подложки, имеет добротность
и
Q
0
Q
0
, если подложка выполнена из керамики Т-150,
, если подложка выполнена из керамики ТБНС.
1.2. Р
ЕГУЛЯРНЫЙ МИКРОПОЛОСКОВЫЙ РЕЗОНАТОР
На рис. 1.2 изображены два варианта выполнения простейших
микрополосковых резонаторов (МПР) с разомкнутыми концами.
б
В первом варианте (рис. 1.2,
11
) подложка не выступает за концы по-
лоскового проводника. Ее длина L равна длине проводника l. Во вто­ром варианте (рис. 1.2, а) подложка выступает за оба конца полоско­вого проводника не менее чем на свою толщину h. В обоих вариантах ширина подложки W превышает ширину полоскового проводника w не менее чем на удвоенную толщину подложки, а ширина проводника
w
всегда меньше его длины l.
а б
в
г
Рис. 1.2. Простейшие типы микрополосковых резонаторов
с разомкнутыми концами
На рис. 1.2, в, г изображены продольные разрезы резонаторов и структура электрического поля в них для нижайшего типа колеба­ний. В общем случае в МПР существуют продольные, поперечные и смешанные моды колебаний. Они различаются тем, что при про­дольных модах колебаний электрические токи текут вдоль резонатора, а при поперечных – поперек. Смешанные моды колебаний представ­ляют собой комбинацию связанных продольных и поперечных коле­баний (см. [10], стр. 141). В МПР с разомкнутыми концами пучности электрического тока всегда устанавливаются внутри резонатора, а не на его концах. На практике обычно используются продольные коле­бания МПР. При продольных колебаниях электрическое напряжение
U
между полосковым проводником и экраном однородно в попереч-
ном сечении резонатора. Напряжение U и интегральный по сечению
I
полоскового проводника ток
12
распределяются по длине МПР по си-
нусоидальному закону. Амплитуды тока
0
I
0
U
0
Z
0 0 0
.
U Z I
=
–
1
0
1
X/l
макс
макс
3
,
2
λ
= ⋅
эф
c
ε
2
ω
π
эф
.
nc
ε
и напряжения
связаны
с волновым сопротивлением
U/U
, I/I
1
2
соотношением
(1.13)
0,5 1,0
4
Рис. 1.3. Распределение напряжения (1, 2) и тока (3, 4)
по длине резонатора для первой (1, 3) и второй (2, 4) мод колебаний
Нижайшую частоту колебаний имеет первая продольная мода. Она имеет только одну пучность тока, расположенную в центре резо­натора. Распределение тока I и напряжения U по длине резонатора для первой и второй продольных мод приведено на рис. 1.3. Видно, что на резонансных частотах по длине резонатора укладывается целое число полуволн, т. е. можно записать:
l n
где n – номер моды; λ – длина волны в МПЛ,
F
=
– частота). Отсюда резонансная частота n-й продольной моды
(1.14)
λ =
(где
F
резонатора равна
F
=
n
2
13
(1.15)
l
Из выражения (1.15) видно, что резонансные частоты высших про-
к
к
arctg ,
к 0
arctg 2 .
F F C Z
дольных мод МПР с разомкнутыми концами кратны наинизшей частоте.
Заметим, что формулы (1.14) и (1.15) являются приближенными. Они получены в предположении, что на разомкнутых концах МПР образуется узел электрического тока, т. е. I = 0. В действительности же этот ток не равен нулю, так как концы полоскового проводника МПР по сравнению с его внутренним участком обладают дополни­тельной электрической емкостью относительно экрана (см. [8], стр. 258). Наличие дополнительной емкости на концах резонатора связано с тем, что окружающее его электрическое СВЧ-поле не огра­ничивается концами полоскового проводника, а несколько выходит за них (рис. 1.2, в, г). На принципиальной схеме МПР с разомкнутыми концами эту дополнительную емкость можно изобразить в виде кон­денсаторов Cк, подключенных к концам отрезка микрополосковой линии (рис. 1.4).
С
Рис. 1.4. Принципиальная схема МПР
с разомкнутыми концами
С
С учетом емкости Cк формулы (1.14) и (1.15) принимают вид
2 c
C Z
l n
= −
2
π
nc c
λ λ
= − π
n n
2
l l
ε π ε
эф эф
Видно, что наличие концевой емкости Cк приводит к уменьше­нию длины резонатора l при заданной частоте и к понижению резо-
π
к 0
λ ε
эф
( )
(1.16)
(1.17)
нансной частоты при заданной длине резонатора. При этом влияние емкости C
14
тем больше, чем выше частота.
к
Заметим, что концевая емкость Cк входит в выражения (1.16) и (1.17)
к 0
C Z
к к 0
2 ,
T C Z
= π
arctg ,
к
arctg .
F F T
0.
2
− ≤
2
к
1
≪
1
F
2
F
2
arctg ,
2
arctg .
1
arctg arctg .
2
в виде произведения
. Поэтому удобно ввести новую величину
(1.18)
имеющую размерность времени. Назовем эту величину временем за­ряда концевой емкости. Подставляя выражение (1.18) в (1.16) и (1.17), получаем следующие:
c
l n
= −
2
π
λ λ
T
λ ε
к
(1.19)
эф
nc c
= −
n n
2
l l
ε π ε
эф эф
( )
(1.20)
Подробнее остановимся на формуле (1.20). Для начала будем предполагать, что толщина подложки МПР настолько мала, что час­тотной дисперсией диэлектрической проницаемости можно пренеб­речь. Заметим, что в этом случае, как следует из выражения (1.20), всегда выполняется неравенство
F F
1 2
Это неравенство переходит в равенство при
(1.21)
F T
. Опреде-
лив из эксперимента частоту первой и второй мод резонатора, с по­мощью формулы (1.20) можно вычислить время заряда концевой
1
емкости
T
и эффективную диэлектрическую проницаемость εэф. Для
к
этого, используя формулу (1.20), выразим εэф сначала через частоту первой моды
, а затем через частоту второй моды
lF
lF
2
2
1 1 2
π
1 1 2
π
F T
( )
F T
( )
c
1
c
2
ε = −
эф 1 к
ε = −
эф 2 к
:
(1.22)
(1.23)
Так как в рассматриваемом случае εэф не зависит от частоты, прирав­няем выражения (1.22) и (1.23) и получим трансцендентное уравнение для Tк:
F F
Вычислив время T
15
1 1
F F
2 2
, по формуле (1.22) или (1.23) можно найти εэф.
к
F T F T
( ) ( )
2 к 1 к
− = π −
(1.24)
В случае, когда частотной дисперсией εэф пренебречь нельзя,
1
l
2
l
11
F
12
F
11
F
12
F
arctg arctg 1 .
− = −
1
l
11
F
80
ε =
15,8
мм
L
=
4,62
мм
W
=
2,45
мм
w
=
1,1
мм
h
=
ГГц
=
150
ε =
15,76
мм
L
=
4,6
мм
W
=
2,64
мм
w
=
1,03
мм
h
=
ГГц
=
для определения Tк и εэф необходимо иметь два резонатора, разли­чающиеся только длиной полоскового проводника, причем длина проводника
водника
первого резонатора и наинизшую частоту
числить Tк и εэф. Так как частоты
первого резонатора должна быть близка к длине про-
второго резонатора. Тогда, измерив наинизшую частоту
второго, можно вы-
и
близки, то приравняв друг
другу полученные выражения для εэф, получаем уравнение для Tк:
l F l F
2 12 2 12
l F l F
1 11 1 11
Подставляя в (1.22)
F T F T
( ) ( )
11 к 12 к
,
и Tк, вычисленное по формуле (1.25), мож-
π
(1.25)
2
но найти эффективную диэлектрическую проницаемость εэф.
Очевидно, что два варианта выполнения резонаторов, изобра­женных на рис. 1.2, обеспечивают различную величину концевой ем­кости. Для исследования влияния удаленности конца полоски МПР от края подложки на величину концевой емкости в работе [11] был вы­полнен следующий эксперимент. В качестве исходного образца был выбран первый вариант МПР. Весь эксперимент состоял из достаточ­но большого числа шагов. Каждый шаг включал незначительное уменьшение длины полоскового проводника посредством химическо­го травления ее на концах и последующего измерения частоты первой моды. Для измерения резонансной частоты МПР включался «на про­ход» в линию передачи со слабой связью по входу и выходу. Резонансная частота определялась по максимуму прохождения СВЧ­мощности через МПР. При этом величина связи МПР с линией пере­дачи поддерживалась такой, чтобы затухание сигнала в максимуме прохождения составляло 40 дБ.
Эксперимент проводился на двух образцах. Первым образцом был МПР, подложка которого выполнена из керамики ТБНС с ди­электрической проницаемостью
,
его первой моды равнялась
,
F
10
1, 248
. Резонатор имел размеры
,
. Начальная частота
.
Вторым образцом был МПР, подложка которого была выполне­на из керамики Т-150 с диэлектрической проницаемостью Резонатор имел размеры
,
,
. ,
. Начальная частота его первой моды равнялась
10
0,893
.
F
16
На рис. 1.5 представлена экспериментальная зависимость часто-
(
)
/ 2
a L l
= −
1
( )
F a
1
F
0 0,5 1,0 1,5 2,0 2,5
1,0
1,3
1
10
a/h
ты первой моды МПР от длины участков полоскового проводника
, вытравленных с обоих его концов [11]. Кривая 1
относится к первому образцу (керамика ТБНС), а кривая 2 – ко вто­рому образцу (керамика Т-150). Видно, что при малых значениях укорочения полоскового проводника (параметр а) изменение резо­нансной частоты почти отсутствует, а при больших значениях про­исходит линейное возрастание резонансной частоты. Далее будет показано, что наличие такого пологого участка кривой
при
a << h обусловлено тем, что повышение резонансной частоты, связанное с укорочением полоскового проводника, компенсируется понижением резонансной частоты, связанным с увеличением концевой емкости Cк. При a ≈ h концевая емкость Cк достигает насыщения, а резонансная частота
линейно возрастает с ростом
параметра а.
F1/F
Подложка Полосковый
проводник
1,2
а
1,1
Рис. 1.5. Зависимость частоты резонатора
от укорочения его полоскового проводника:
1
– первый образец (на ТБНС);
2
– второй образец (на Т-150) [11]
17
2
На рис. 1.6 представлена зависимость времени заряда концевой
00,51,01,52,02,5
0,0
0,1
0,2
0,3
2
lim ( )
T T a
=
1
F
1
F
к насыщ
1
F
к насыщ
емкости Tк от длины выступа подложки за конец полоскового про­водника а для первого (кривая 1) и второго (кривая 2) образцов [11]. Эта зависимость построена на основе обработки экспериментальных данных, приведенных на рис. 1.5.
Tк, нс
1
a/h
0,
Рис. 1.6. Зависимость времени заряда концевой емкости
от длины выступа подложки за конец полоскового проводника:
1
– первый образец (на ТБНС); 2 – второй образец (на Т-150) [11]
Обработка производилась в следующем порядке. Сначала опре­делялось значение насыщения времени заряда концевой емкости
к насыщ к
a
→∞
. Для этого в формулу (1.25) подставлялись две
пары значений, для которых Tк достигло насыщения. При этом пред­полагалось, что в рассмотренной области изменения
, можно пре-
небречь частотной дисперсией εэф. В действительности же, как будет показано далее, область изменения
оказалась довольно широкой
для того, чтобы в ней можно было пренебречь дисперсией εэф, поэто­му характеристики и графики на рис. 1.6, полученные в результате обработки данных этого эксперимента, следует считать приближен­ными. Вычисленное из уравнения (1.25) приближенное значение
T
рассчитывалось
18
вместе со значениями одной из пар l и
T
, были подставлены в формулу (1.22). Было
, по которым ранее
найдено, что для первого образца
54
ε ≈
95
ε ≈
1
F
a h
>
к
( )
T a
L h
15,79
мм
L l
= =
4,61
мм
W
=
1,11
мм
h
=
15,76
мм
L
=
12,68
мм
l
=
4,6
мм
W
=
1,03
мм
h
=
эф
, а для второго образца
эф
ний l и что время заряда концевой емкости
вая емкость
. Далее по найденному значению εэф для каждой пары значе-
по формуле (1.22) вычислялось время
T
, а следовательно, и сама конце-
к
С
возрастают с увеличением длины выступа подложки
к
T
. Из рис. 1.6 видно,
к
и достигают насыщения при a ≈ h. Наблюдаемый же последующий спад
T
к
при
не является реальным. На графике он возник в ре-
зультате игнорирования факта возрастания εэф с увеличением частоты.
На основании проведенного в работе [11] эксперимента и обра­ботки его результатов были даны следующие методические рекоменда­ции. Частотная дисперсия эффективной диэлектрической проницаемо­сти может существенно снизить точность практического определения эффективной диэлектрической проницаемости и времени заряда кон­цевой емкости. Для уменьшения влияния дисперсии на точность конечных результатов необходимо, насколько это возможно, сузить диапазон изменения размера полоскового проводника с тем, чтобы диапазон изменения частот резонатора был минимальным, но вполне регистрируемым. Так как в эксперименте по определению зависимо­сти
максимальная длина вытравленного участка а должна быть
не менее толщины подложки h, то для уменьшения влияния диспер­сии необходимо использовать образцы с довольно большим отноше­нием
.
При конструировании микрополосковых устройств существен­ный интерес представляет зависимость параметров МПР от ширины полоскового проводника w. Для этого в работе [11] также был прове­ден следующий эксперимент. Исходный образец представлял собой МПР, в котором ширина подложки W была равна ширине полосково­го проводника w. Весь эксперимент состоял из достаточно большого числа шагов. Каждый шаг включал незначительное уменьшение ши­рины w посредством химического травления ее обоих боков и после­дующего измерения частоты первой и второй моды.
Эксперимент проводился на двух образцах. Первый образец был выполнен на керамике ТБНС. Он имел размеры
,
.
Второй образец был выполнен на керамике Т-150. Он имел раз-
,
меры
,
,
,
На рис. 1.7 приведена зависимость резонансных частот первого образца от ширины полоскового проводника. Кривая
19
.
1
изображает
частоту первой моды
1
F
2
2
F1,
F2/2, ГГц
1 2 3 4
2 1
F F
<
, кривая 2 – половинное значение частоты второй моды ны на рис. 1.9.
Видно, что резонансные частоты МПР имеют минимум. Возрас-
F
Рис. 1.7. Зависимости частот первой 1 и второй 2
моды первого образца от относительной ширины
. Те же зависимости для второго образца приведе-
1,5
1,4
1,3
2
1,2
0
полоскового проводника [11]
1
w/h
тание частот слева от минимума связано с известным фактом умень­шения эффективной диэлектрической проницаемости при уменьше­нии ширины полоскового проводника (см. [10], стр. 65). Этот факт, в частности, отражает формула (1.2), полученная для случая безгра­ничной подложки, т. е. при W → ∞. Возрастание же резонансных частот справа от минимума возможно только в случае подложки ограниченных размеров. Оно связано с уменьшением эффективной диэлектрической проницаемости в результате приближения края по­лоскового проводника к краю подложки. При этом возрастает доля СВЧ-мощности, распространяющейся в воздухе.
Другой важный факт, который отражают рис. 1.7 и 1.9, состоит
в том, что кривая 2 расположена под кривой 1, т. е.
2
[11].
Этот факт может быть объяснен только наличием частотной диспер­сии эффективной диэлектрической проницаемости. Эффект же конце­вой емкости
C
, как уже отмечалось ранее, может привести лишь
к
к противоположному неравенству (1.21).
На рис. 1.8 изображена зависимость эффективной диэлектриче-
ской проницаемости от ширины полоскового проводника для первого
20
Соседние файлы в предмете [НЕСОРТИРОВАННОЕ]