Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

Микрополосковые резонаторы и СВЧ-устройства на их основе. Учебное пособие

.pdf
Скачиваний:
1
Добавлен:
07.09.2026
Размер:
1 Мб
Скачать
☆
Благодаря применению шунтирующих емкостей в цепях пита-
1
F2
ния, в схемах исследованных генераторов отсутствуют высокочастот­ные дроссели, что дает возможность сравнительно просто изготавли­вать топологию макета на одной диэлектрической подложке. В этом случае генераторы могут быть реализованы в виде гибридной СВЧ­микросхемы. Несмотря на то, что микрополосковые резонаторы не­сколько уступают диэлектрическим резонаторам по добротности, они могут найти широкое применение в СВЧ-генераторах благодаря ми­ниатюрности и технологичности в изготовлении.
3.5. Д
ИПЛЕКСЕР
СВЧ
Двухканальный частотно-избирательный разделитель электро­магнитных колебаний или диплексер СВЧ (рис. 3.31), представлящий собой устройство с одним входом и двумя выходами, является одним из важнейших устройств в технике СВЧ. В зависимости от требуемой ширины полосы пропускания в каналах и раздвижки частот между каналами возможны несколько конструкций диплексеров на микро­полосковых резонаторах.
Выход 1
Вход
F1, F2
Выход 2
Рис. 3.31. Схема диплексера СВЧ
F
На рис. 3.32 показана одна из конструкций диплексера с исполь­зованием полуволнового резонатора на входе и имеющего по два свя­занных четвертьволновых резонатора в каждом из каналов на выходе. Для того чтобы частоты обоих каналов попадали в полосу пропуска­ния входного резонатора, полуволновой резонатор имеет сильную гальваническую связь с входной линией передачи, обеспечивающую его низкую нагруженную добротность, обычно не превышающую 10. Добротности же четвертьволновых резонаторов, напротив, высокие, благодаря сравнительно слабой связи их друг с другом и с выходны­ми линиями. В диплексере входной резонатор настроен на среднюю
141
частоту между полосами пропускания каналов, а выходные четверть-
Выход 1
волновые резонаторы с учетом связи настроены на центральную час­тоту полосы пропускания своего канала.
Вход
Выход 2
Рис. 3.32. Диплексер на микрополосковых резонаторах
Связь между резонаторами индуктивная, поэтому в рассматри­ваемой конструкции для удобства оба конца полоскового проводника входного резонатора замкнуты на экран, что обеспечивает располо­жение пучностей высокочастотного магнитного поля на краях резона­тора. При необходимости большей раздвижки по частоте между кана­лами иди обеспечения более широких полос пропускания в каналах входной резонатор можно заменить короткозамкнутым участком не­симметричной полосковой линии. Типичная амплитудно-частотная характеристика диплексера на микрополосковых резонаторах из ке­рамики ТБНС приведена на рис. 3.33. Этот диплексер имел относи­тельную полосу пропускания в накалах около 2 % и относительную раздвижку по частоте между каналами примерно 6 % [48].
Настройка диплексера производится поканально точно так же, как и настройка полосовых фильтров на отдельных микрополосковых резонаторах. Для этого к одному из выходов диплексера подключает­ся согласованная нагрузка, а вход и второй выход включается в авто­матический измеритель амплитудно-частотных характеристик. Изме­няя положение четвертьволновых резонаторов относительно входного
142
резонатора и относительно друг друга, добиваются необходимой АЧХ
0.9
1.1
-
40
-
30
-
20
0
L, дБ
F /F
0
настраиваемого второго канала. Затем согласованная нагрузка под­ключается ко второму каналу, после чего производится настройка первого. Так как каналы взаимосвязаны друг с другом, то при настройке одного из каналов несколько изменяется характеристика уже настро­енного канала, поэтому при необходимости процедуру настройки ди­плексера можно повторить несколько раз.
1.0
-10
Канал 1
Канал 2
F0 = 1480 МГц
Рис. 3.33. Амплитудно-частотные характеристики диплексера
на микрополосковых резонаторах [48]
На основе рассмотренной конструкции диплексера можно изго­товить и четырехканальный мультиплексер, расположив две пары четвертьволновых резонаторов по другую сторону входного полувол­нового резонатора и проведя настройку последовательно всех четы­рех каналов. Следует заметить, что увеличение полосы пропускания в каналах диплексера приводит к значительному уменьшению на­чальных потерь.
Главным достоинством микрополосковых частотных разделите­лей является высокая миниатюрность в дециметровом диапазоне волн [55]. К главным же недостаткам диплексеров на МПР можно отнести сравнительно большие начальные потери при «узких» полосах про­пускания в каналах, обусловленные недостаточной добротностью планарных резонаторов.
143
3.6. М
эф
ε
эф
ε
L
1
1
–L 0
3
1
4
d
d1
ИКРОПОЛОСКОВЫЙ РЕЗОНАТОР
С МАГНИТНОЙ ПЛЕНКОЙ, ВКЛЮЧЕННЫЙ «НА ПРОХОД»
В ЛИНИЮ ПЕРЕДАЧИ
Как показано в первой главе настоящего пособия, в микропо­лосковом резонаторе, включенном «на проход» в несимметричную воздушную полосковую линию передачи и имеющем с ней гальвани-
ческую связь, амплитуда СВЧ-тока в точках ее максимума в
раз
больше амплитуды тока падающей волны в воздушной полосковой линии. Одновременно с возрастанием тока в МПР имеет место такое же увеличение амплитуды СВЧ-магнитного поля. Поэтому МПР, вы­полненный на подложке из материала с высокой диэлектрической проницаемостью, может быть использован для исследования магнит­ных пленок методом ферромагнитного резонанса [56]. В работе [57] магнитная пленка для наблюдения ферромагнитного резонанса (ФМР) помещалась в воздушную полосковую линию. Так как СВЧ­мощность, поглощаемая магнитной пленкой, пропорциональна квад­рату амплитуды СВЧ магнитного поля, то использование МПР вместо воздушной полосковой линии позволяет увеличить сигнал ФМР от магнитной пленки почти в
раз.
Рассмотрим прохождение СВЧ-мощности через МПР с магнит­ной пленкой, включенный «на проход» в несимметричную воздуш­ную полосковую линию и имеющий с ней гальваническую связь (рис. 3.34).
– L
L
2
x
Рис. 3.34. Продольный разрез МПР с магнитной пленкой,
включенного «на проход» в полосковую линию:
1
– магнитная пленка; 2 – диэлектрическая подложка;
3
– полосковый проводник; 4 – экран
144
Поместим магнитную пленку 1 толщиной
1
d
1
2
L
1
d
i t
e
− ω
x
H
x L
≤ −
0 0
,
;
ik x ik x
1
L x L
− ≤ ≤ −
1 2
,
;
ikx ikx
z
и длиной
в се-
редину МПР между диэлектрической подложкой 2 и полосковым проводником 3. Введем правую систему координат XYZ. Ось OX направим параллельно полосковой линии. Ее начало поместим в се­редину МПР. Оси координат OY и OZ направим соответственно параллельно и перпендикулярно плоскости экрана 4.
Строгое решение такой трехмерной задачи представляет боль­шие математические трудности, поэтому будем использовать сле­дующие приближения. Полосковую линию и МПР аппроксимируем плоским волноводом. Такое приближение работает тем лучше, чем больше отношение ширины полоскового проводника w к толщи­не диэлектрической подложки d. Толщину магнитной пленки
бу-
дем считать много меньше толщины диэлектрической подложки d. Это позволяет пренебречь СВЧ-мощностью, проходящей через маг­нитную пленку, по сравнению с СВЧ-мощностью, проходящей через диэлектрическую подложку.
В этом случае достаточно учесть лишь влияние магнитной пленки на скорость распространения и затухание волны в диэлектри­ческой подложке. Будем также считать, что ширина полоскового про­водника w и толщина диэлектрической подложки d много меньше длины волны в ней. Это позволяет пренебречь волнами высшего типа и исключить зависимость компонент волны основного типа от коор­динат y и z, т. е. дает возможность решать задачу в одномерном при­ближении.
Пусть слева на МПР падает СВЧ-волна, компоненты поля кото­рой изменяются во времени по закону
поля
равна единице. Тогда отличные от нуля компоненты СВЧ-
, а амплитуда магнитного
поля будут равны:
145
в области
в области
:
ik x ik x
H e A e
y
E Z e Z A e
= − +
z c c
0 0
= +
−
отр
отр
:
H A e A e
= +
y
E ZA e ZA e
= − +
ikx ikx
1 2
−
−
(3.17)
(3.18)
−
в области
1 1
L x L
− ≤ ≤
1 1
;
ik x ik x
k k
1
L x L
≤ ≤
,
;
ikx ikx
x L
≥
0
,
.
ik x
ik x
E Z A e
пр
A
отр
A
n
A
n
=
0
k
k c
= ω ε µ = ω
= ε
c
Z
0 0
= µ ε
Z
= ε
1
k
1 1
,
/
+ ε ε
1
ε
⊥
µ
2 2
2 2
γ + π − ω
γ + π − ω
7 1 1
с Э )
− −
H H H i H
= ± − ∆
к
H
:
ik x ik x
H A e A e
= +
y
E ZA e Z A e
z
в области
k k
1 1
= − +
:
H A e A e
= +
y
1 1
3 4
3 4
ikx ikx
5 6
E ZA e ZA e
в области
= − +
z
:
5 6
H A e
=
y
= −
z c
Здесь
и
– амплитуды прошедшей и отраженной волны;
– амплитуды волн на участках МПР (
пр
пр
−
,
(3.19)
−
−
(3.20)
−
0
(3.21)
1–6);
– волновой век-
тор волны в свободном пространстве,
вой вектор волны в полосковой линии, 0k k
0 0 0
;
ческое сопротивление свободного пространства,
– волновое сопротивление полосковой линии, cZ Z
; k – волно-
– характеристи-
Z
c
; ε – отно-
сительная диэлектрическая проницаемость подложки.
Выражение для волнового вектора
получено в монографии
[58] для случая непроводящей (ферритовой) магнитной пленки:
d d
+ µ
1
где
k k
=
1
d d
– относительная диэлектрическая проницаемость пленки;
⊥
(3.22)
относительная магнитная проницаемость пленки:
H M
µ =
⊥
( )
H H M
e e
4
e
( )
2
, (3.23)
4
;
–
где M – намагниченность пленки; γ – магнитомеханическое отноше­ние,
146
γ = ⋅ ⋅
1,76 10 (
;
e
к
, где
– поле маг-
нитной анизотропии (верхний знак выбирается, если ось легкого на-
H
∆
1
k
1/2
1 tg ,
2
ε = ∆
1 0
∆ = ωσ µ
1
⊥
µ =
1
σ
1
′
ε
y
H
z
E
1
x L
= ±
x L
= ±
1 1 1 1 1 1
,
,
ikL ikL ik L ik L
1 1 1 1
,
ik L ikL ikL
2 2
, .
магничивания направлена вдоль магнитного поля, а нижний – в слу­чае, если ось легкого намагничивания перпендикулярна направлению магнитного поля);
– полуширина линии ферромагнитного резо-
нанса пленки на частоте ω.
Аналогичным образом можно получить выражение для чае металлической магнитной пленки:
′
µ ε
1
где
′
2
i k
1 0 1
( )
k k k d
= + ⋅ ε µ
1 0 1 1
– относительная диэлектрическая проницаемость
металлической пленки; при
;
– проводимость пленки. При выводе формулы (3.24)
использовалось неравенство
⊥
k d
0
2
( )
( )
>> 1.
Налагая условие непрерывности компонент поля
и
, получаем систему уравнений
в слу-
′
⊥
(3.24)
– глубина скин-слоя пленки
и
при
ik L ik L
−
0 0
e A e A e A e
e A e A e A e
− ε + ε = − +
A e A e A e A e
1 2 3 4
− −
A e A e A e A e
− + = − +
1 2 3 4
A e A e A e A e
3 4 5 6
k k
1 1
A e A
− +
3 4
k k
+ = +
отр 1 2
ik L ik L
−
0 0
ikL ikL
−
+ = +
отр 1 2
k k
1 1
k k
ik L ik L ikL ikL
1 1 1 1 1 1
+ = +
ik L
1 1
A e A e A e
5 6 пр
ikL ikL
A e A e A e
− + = − ε
5 6 пр
− −
− −
e A e A e
ikL ikL
+ =
−
−
ikL ikL
−
ikL ikL
−
ik L ik L
−
1 1 1 1
= − +
5 6
ik L
0
,
ik L
,
,
(3.25)
,
0
.
Численно решив систему уравнений (3.25), можно рассчитать коэффициенты прохождения и отражения СВЧ-мощности по сле­дующим формулам:
147
K A K A= =
пр пр отр отр
(3.26)
При исследовании ФМР в магнитных пленках удобно также
погл пр от р осл пр
1 , 1 .
K K K K K
= − − = −
(
)
Q H
19
=
осл
макс
02550
0.0
0.2
0.4
0.6
0.8
1.0
1
2
3
4
150
ε =
1 ммd
=
2 18
ммL=
1
мм
=
4 10
ГсMπ =
использовать коэффициенты поглощения и ослабления СВЧ­мощности:
(3.27)
На рис. 3.35 приведены расчетные зависимости коэффициентов ослабления (кривые 1, 2) и добротности (кривые 3, 4) исследуемого микрополоскового резонатора от постоянного магнитного поля.
Отметим, что добротность на максимальную добротность
Q
в данном случае нормирована
макс
.
K
(Н), Q(Н)/Q
Рис. 3.35. Зависимости коэффициента ослабления (1, 2) и добротности (3, 4)
МПР с пленкой от величины магнитного поля
Рассматривался резонатор на подложке из керамики Т-150 ( та 680 МГц), содержащий магнитную пленку длиной
пермаллоя с намагниченностью насыщения
148
) толщиной
, длиной
Н, Э
(резонансная часто-
2 5
L
4
и шириной
из
линии ферромагнитного резонанса
2 20
ЭH∆ =
4 1 1
1
Ом см
− −
1
d
1
ε =
осл
K
()(
)
1
= ε ε =
(
)
K d
10 ЭH
∆ =
1 ЭH
∆ =
1
d
10 ЭH
∆ =
1 ЭH
∆ =
ус
K
ус
K
ус
K
. Проводимость пермаллоя в расчете считалась равной щина пленок
была равной 0,04 мкм (кривые 1 и 3) и 0,1 мкм
5 10
σ = ⋅ ⋅
, а тол-
(кривые 2 и 4). Из графиков видно, что коэффициент ослабления СВЧ-мощности значительный. Для пленки толщиной 0,04 мкм он достигает в резонансе почти 30 %. На резонансной частоте магнитная пленка толщиной 0,1 мкм способна уменьшить добротность микропо­лоскового резонатора более чем в два раза.
Если в расчете принять диэлектрическую проницаемость под-
ложки
, то рассматриваемая конструкция становится воздушной несимметричной полосковой линией, в которой размещена магнитная пленка. Зависимость коэффициента ослабления СВЧ-мощности от магнитного поля повторяет кривую ферромагнитного резонанса маг­нитной пленки [57]. Нетрудно подсчитать, что сигнал ФМР для ис­следуемых пленок (
) при этом будет составлять десятые доли
процента от величины падающей мощности. Отсюда следует, что МПР в рассматриваемой конструкции усиливает сигнал ФМР по крайней мере на два порядка. Зависимость коэффициентов усиления
сигнала ферромагнитного резонанса
K K K
ус осл макс осл макс
от толщины исследуемой пленки приведены на рис. 3.36. Сплошными линиями на рисунке показаны зависимости
ус
для случая пер-
маллоевых пленок в МПР с полушириной линяй ФМР (кривая 1) и
(кривая 2). Для сравнения здесь же штриховы­ми линиями обозначены зависимости коэффициента усиления сигна­ла ФМР от толщины (
) для непроводящих (ферритовых) пленок,
у которых остальные параметры те же, что и у пермаллоя – (кривая 3) и
(кривая 4).
Расчет показывает, что в такой конструкции для пленок малых объемов или с очень широкой линией ФМР коэффициент усиле­ния
может достигать величины диэлектрической проницаемости
подложки. С ростом толщины пленок увеличивается коэффициент заполнения резонатора и падает его добротность, что приводит к уши­рению экспериментально наблюдаемой линии ФМР и снижению ко­эффициента
скин-эффекта коэффициент усиления имеет область насыщения, в ко­торой он при дальнейшем увеличении толщины пленки не снижается. Из рис. 3.36 видно, что область насыщения
149
. Для металлических пленок из-за существования
раньше наступает для
пленок с более узкой линией ферромагнитного резонанса, что объяс-
01234
0
120
150
1
2
3
4
= 1 Э
= 10 Э
ус
K
ФМР
∆
ФМР
∆
1
ε =
ФМР
∆
няется более тонким скин-слоем для них.
K
ус
Н
90
Н
60
30
lg(d1/Å)
Рис. 3.36. Зависимость
от толщины магнитной пленки [48]
сигнала ФМР
На рис. 3.37 показаны зависимости относительного уширения наблюдаемой линии ФМР (
H
) от толщины пленки в рассматри-
ваемой структуре МПР-магнитная пленка для случаев ферритовой (кривая 1) и металлической (кривая 2) пленок. Основными механиз­мами уширения
H
в исследуемой модели можно считать изме-
нение добротности резонатора и возникновение сильного отражения СВЧ-мощности от резонатора вследствие изменения его резонансной частоты при возбуждении ФМР в пленке. Если принять диэлектриче­скую проницаемость подложки резонатора
, т. е. вернуться к ситуации, когда магнитная пленка расположена в воздушной полос­ковой линии, то получается, что уширение
H
в такой системе
не наблюдается только в случае ферритовой пленки (кривая 4). В слу­чае металлической пермаллоевой пленки уширение все равно имеет место (кривая 3) из-за того, что сама пленка в рассматриваемой моде­ли является частью проводящей шины линии.
150
Соседние файлы в предмете [НЕСОРТИРОВАННОЕ]