- •Введение
- •1. Свободный электрон. Электрон в твердом теле
- •1.1. Плоская волна
- •1.2. Волновой пакет
- •1.3. Расчет движущегося волнового пакета
- •2. Зонная структура полупроводников
- •2.1. Формирование ковалентного кристалла
- •2.2. Кристаллическая решетка
- •2.3. Индексы Миллера
- •2.4. Зона Бриллюэна. Зонная структура полупроводников
- •2.5. Эффективная масса носителей заряда. Ширина запрещенной зоны
- •2.6. Проявление зонной структуры полупроводников в различных явлениях. Масса плотности состояний
- •2.7. Твердые растворы полупроводников
- •3. Дефекты и ПРИМЕСИ
- •3.1. Свойства примесей и дефектов
- •3.2. Водородоподобные примеси
- •4.1. Функция распределения Ферми–Дирака. Плотность разрешенных состояний
- •4.3. Уравнение электронейтральности
- •4.4. Основные и неосновные носители заряда
- •5.1. Основные механизмы рассеяния. Общие положения
- •5.2. Рассеяние носителей заряда на динамических дефектах
- •5.3. Рассеяние на статических дефектах (ионизованная примесь)
- •5.4. Смешанное рассеяние носителей заряда
- •6. Неравновесные носители заряда в полупроводниках. ГЕНЕРАЦИЯ И РЕКОМБИНАЦИЯ НОСИТЕЛЕЙ ЗАРЯДА
- •6.1. Квазиуровни Ферми
- •6.2. Скорости генерации и рекомбинации
- •6.3. Основные уравнения для расчета неравновесных носителей заряда
- •6.5. Рекомбинационные явления в полупроводниках
- •6.6. Рекомбинация Шокли–Рида через статические дефекты
- •Список РЕКОМЕНДУЕМОЙ литературы
- •ПРИЛОЖЕНИЕ
- •Оглавление
Решение.
Концентрация электронов в нижнем минимуме
nI = NIC exp EF − EC .kBT
Концентрация электронов в верхнем минимуме:
|
EF −(EC |
+ ES ) |
EF − EC |
−ES |
|
|||||
nII = NIIС exp |
|
|
|
= ζNIC exp |
|
|
exp k |
T |
, |
|
k T |
|
k |
T |
|||||||
|
B |
|
|
|
|
B |
|
|
B |
|
где ζ = NIIС
NIС =(mIIn
mIn )3
2 =58;
nII = ζnI exp(−ES (kBT )); |
|
|
|
|
||
nII |
|
nI = ζexp(−ES (kBT )); |
|
|
|
|
nII |
|
= 0.8 10−4, |
nII |
|
|
≈1.0. |
|
|
|||||
nI |
|
300 К |
nI |
|
1000 К |
|
|
|
|
||||
Задача 4.15.
Определить положение уровня Ферми в кремнии при комнатной температуре, если а) концентрация электронов равна 1017 см–3; б) концентрация дырок равна 1014 см–3. Продублировать ответ изображением зонной диаграммы.
Ответ: а) EC – EF = 0.146 эВ;
б) EF – EV = 0.31 эВ.
4.3.Уравнение электронейтральности
Вобщем случае, когда в полупроводнике имеются одновременно доноры
иакцепторы, уравнение электронейтральности имеет вид
n |
+ N − |
= p |
+ N + . |
(4.10) |
0 |
A |
0 |
D |
|
Для расчета концентраций свободных электронов n0 |
и дырок p0 исполь- |
|||
зуются выражения (4.7) и (4.8) соответственно. Концентрация ионизированных доноров определяется формулой
+ |
|
|
|
ND |
|
|
|
|
|
ND = |
|
|
|
|
|
, |
( 4.11) |
||
1+ g |
D |
exp (E |
− E |
) (k T ) |
|||||
|
|
|
F |
D |
B |
|
|
||
аналогично для ионизированных акцепторов:
− |
|
|
NA |
|
|
|
|
|
NA = |
|
|
|
|
|
. |
||
1+(1 g |
A |
)exp (E |
− E |
) (k T ) |
||||
|
|
|
A |
F |
B |
|
||
34
В этих формулах ND , NA – концентрации доноров и акцепторов соответственно; ED , EA – энергетические положения донорных и акцепторных уровней; gD , gA – их факторы вырождения.
Из уравнения электронейтральности (4.10) можно определить уровень Ферми и найти равновесные концентрации носителей заряда. В общем случае уравнение оказывается нелинейным и не поддается аналитическому решению, но может быть решено численными методами.
Вотдельных случаях можно получить простые аналитическиевыражения для концентрации носителей заряда и положения уровня Ферми.
Задача 4.16.
Решить уравнение электронейтральности для случая невырожденного донорного полупроводника
n0 = ND+ + p0 .
Часть I. Аналитическое решение.
Для концентрации свободных носителей заряда и ионизированных доноров используем выражения (4.7), (4.8) и (4.11).
Пусть T – мала. Тогда пренебрежем неосновными носителями p0:
|
|
EF − EC |
|
|
|
|
ND |
|
|
|
||
n0 |
= NC exp |
|
|
= |
|
|
|
|
|
, или |
||
k T |
1+ g |
D |
exp (E |
− E |
) (k T ) |
|||||||
|
|
B |
|
|
|
|
F |
D |
B |
|
||
n0 = |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
ND |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
. |
|
|
|
||
1+ g |
|
|
NC |
exp (E |
− E ) |
(k T ) exp (E |
|
− E |
) |
(k T ) |
|
|
|
|||||||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||||||||||||||||||||
|
|
|
|
D NC |
|
|
|
F |
|
C |
B |
|
|
|
C |
D |
|
B |
|
|
|
|
||||||||||||||
Подстановкой |
|
n = |
NC |
exp |
|
ED − EC |
|
|
уравнение электронейтральности |
|||||||||||||||||||||||||||
|
|
|
|
|||||||||||||||||||||||||||||||||
|
|
|
|
|||||||||||||||||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
1 |
|
g |
D |
|
|
k T |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
B |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
преобразуется в квадратное уравнение относительно n0 : |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||||||||||||||||||
|
|
|
|
n |
= |
|
ND |
|
, |
или n 2 |
+ n n − N |
|
|
n = 0 . |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||||
|
|
|
|
1+ n |
n |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
0 |
|
|
|
|
0 |
|
|
0 1 |
|
D 1 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
0 |
|
1 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
По формулам корней квадратного уравнения: |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||
n |
|
n |
2 |
|
|
|
|
|
|
|
|
n |
n 2 |
|
|
4N |
|
|
|
n |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
4N |
D |
|
||||||||||||||||||
n0 = − 1 ± |
|
1 |
+ NDn1 = − |
1 ± |
|
1 |
|
1+ |
|
D |
|
= |
1 |
−1 |
± 1+ |
|
|
|
|
. |
||||||||||||||||
|
|
|
|
|
n1 |
|||||||||||||||||||||||||||||||
2 |
|
|
2 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
2 |
|
4 |
|
|
|
n1 |
|
|
2 |
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||
При низких T можно положить ND n1. Тогда обеими единицами пренебрегаем:
35
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
1 2 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
NDNC |
|
ED − EC |
|
|
NDNC |
|
ED − EC |
|
|
n0 |
≈ n1 |
|
|
ND |
|
|
|
||||||||||
2 |
= |
|
exp |
|
= |
|
exp |
. |
|||||||||
|
|
gD |
kBT |
gD |
2kBT |
||||||||||||
|
2 |
|
|
n1 |
|
|
|
|
|
|
|||||||
Сопоставим с больцмановским выражением для n0:
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
1 2 |
|
|
ED − EC |
|
|||||||||||
n |
= N |
C |
exp |
EF − EC |
= |
NDNC |
|
|
exp |
|
. |
||||||||||||||||||||||
|
|
|
|
||||||||||||||||||||||||||||||
|
|
|
|||||||||||||||||||||||||||||||
|
|
gD |
|
|
2kBT |
||||||||||||||||||||||||||||
0 |
|
|
|
|
|
|
|
kBT |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||||||||
Отсюда найдем EF: |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||
|
|
|
|
|
|
|
EF − EC |
|
ND |
|
1 2 |
|
|
|
ED − EC |
|
, |
|
|||||||||||||||
|
|
exp |
|
|
|
|
|
= |
|
|
|
|
|
|
exp |
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||
|
|
|
k T |
|
g |
D |
N |
|
2k |
|
|
T |
|
|
|||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
B |
|
|
|
|
|
|
C |
|
|
|
|
B |
|
|
|
|||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
ND |
|
|
1 2 |
|
|
|
|||
|
|
2E − 2E − E + E = k T ln |
|
|
|
. |
|
|
|||||||||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
F |
C D C B |
|
gDNC |
|
|
|
||||||||||||||||||||||
Ответ: E |
|
= |
ED + EC |
− kBT ln |
gDNC |
. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||||||||||||
F |
|
|
|
|
2 |
|
|
2 |
|
|
|
|
ND |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||
Часть II. Численное решение.
Принять ND =1017 см–3, ED = 0.05 эВ. Решить уравнение электроней-
тральности в MathCAD. Сравнить результаты аналитического и численного решений для GaAs.
Задача 4.17.
Решить уравнение электронейтральности для случая компенсированного донорного полупроводника.
Компенсирующая акцепторнаяпримесьполностьюионизована, а концентрацией дырок можно пренебречь. Тогда имеем
n0 + NA = ND+ .
Часть I. Аналитическое решение.
Для концентрации свободных носителей заряда и концентрации ионизированных доноров используем выражения (4.7), (4.8) и (4.11):
n0 + NA = |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
ND |
|
|
|
|
|
|
. |
|
1+ g |
|
NC |
exp (E |
|
− E |
) |
k T exp (E |
− E |
) |
(k T ) |
||||||||||||
|
|
|
|
|
||||||||||||||||||
|
|
|
D NC |
|
|
|
F |
C |
|
|
B |
|
C |
D |
|
B |
|
|||||
Подстановкой |
n = |
NC |
exp |
|
ED − EC |
|
уравнение электронейтральности |
|||||||||||||||
|
|
|
||||||||||||||||||||
|
|
1 |
|
g |
D |
|
|
|
k T |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
B |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
преобразуется в квадратное уравнение относительно n0 :
36
n + N |
A |
= |
|
ND |
|
, |
|
1+ n |
n |
||||||
0 |
|
|
|||||
|
|
|
0 |
1 |
|
||
или n02 + n0 (n1 + NA )+ NAn1 − NDn1 = 0 .
По формулам корней квадратного уравнения:
n0 = − n1 +2NA ± 
n1 +2NA 2 + NDn1 − NAn1 .
1) Для очень низких температур n0 NA < ND , поэтому NA
n1 1 и
NA > 4(ND − NA ). n1 n1
В этой области расчет дает для концентрации
n ≈ |
ND − NA |
N |
|
exp |
|
− |
EC − ED |
|
|||
|
C |
|
k T |
||||||||
0 |
g |
D |
N |
A |
|
|
|
||||
|
|
|
|
|
|
|
B |
|
|||
и для положения уровня Ферми
EF = ED + kBT ln ND − NA . gDNA
2) С ростом температуры будет выполняться NA n0 ND . После ряда приближений получаем на этом интервале
|
(N |
D |
− N |
A |
)N |
C |
1/2 |
|
E − E |
D |
|
|
|
n0 |
≈ |
g |
|
|
|
exp − |
C |
|
и |
||||
|
D |
|
|
2k T |
|
||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
B |
|
|
|
||
E = EC + ED − kBT ln gDNC . |
||
F |
2 |
2 ND − NA |
|
||
Низкотемпературная область зависимости ln n = f (1
T ) (до наступления пол-
ной ионизации примеси) в компенсированном полупроводнике представлена на рис. 4.3.
Часть II. Численное решение (выполняется в рамках индивидуального задания).
Рис. 4.3. Низкотемпературный участок зависимости ln n = f (1/ T ) для
компенсированного полупроводника
37
