- •Введение
- •1. Свободный электрон. Электрон в твердом теле
- •1.1. Плоская волна
- •1.2. Волновой пакет
- •1.3. Расчет движущегося волнового пакета
- •2. Зонная структура полупроводников
- •2.1. Формирование ковалентного кристалла
- •2.2. Кристаллическая решетка
- •2.3. Индексы Миллера
- •2.4. Зона Бриллюэна. Зонная структура полупроводников
- •2.5. Эффективная масса носителей заряда. Ширина запрещенной зоны
- •2.6. Проявление зонной структуры полупроводников в различных явлениях. Масса плотности состояний
- •2.7. Твердые растворы полупроводников
- •3. Дефекты и ПРИМЕСИ
- •3.1. Свойства примесей и дефектов
- •3.2. Водородоподобные примеси
- •4.1. Функция распределения Ферми–Дирака. Плотность разрешенных состояний
- •4.3. Уравнение электронейтральности
- •4.4. Основные и неосновные носители заряда
- •5.1. Основные механизмы рассеяния. Общие положения
- •5.2. Рассеяние носителей заряда на динамических дефектах
- •5.3. Рассеяние на статических дефектах (ионизованная примесь)
- •5.4. Смешанное рассеяние носителей заряда
- •6. Неравновесные носители заряда в полупроводниках. ГЕНЕРАЦИЯ И РЕКОМБИНАЦИЯ НОСИТЕЛЕЙ ЗАРЯДА
- •6.1. Квазиуровни Ферми
- •6.2. Скорости генерации и рекомбинации
- •6.3. Основные уравнения для расчета неравновесных носителей заряда
- •6.5. Рекомбинационные явления в полупроводниках
- •6.6. Рекомбинация Шокли–Рида через статические дефекты
- •Список РЕКОМЕНДУЕМОЙ литературы
- •ПРИЛОЖЕНИЕ
- •Оглавление
По координатам вершин восстанавливаем координаты векторов как разность координат его крайних точек:
|
1 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
3 |
|
|
|
6 |
|
|
|
|
|
6 |
||||||||||||||
AO = − |
|
,− |
|
|
|
,− |
|
|
|
|
|
, |
OS= |
0,0, |
|
|
|
|
|
. |
||||||
2 |
6 |
|
12 |
|
|
4 |
|
|
|
|||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||
Тогда угол находится опять как |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||
cosϑ= |
|
|
|
|
u1u2 + v1v2 + w1w2 |
|
|
|
|
. |
||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
|
|
u2 |
+ v2 |
+ w2 |
|
|
|
u2 |
+ v2 |
+ w2 |
||||||||||||||||
|
|
1 |
|
|
1 |
|
1 |
|
|
|
2 |
|
2 |
|
2 |
|
|
|
|
|||||||
Имеем cosϑ= −0.333. Угол = 1.91 рад = 109.45°.
Для решения можно воспользоваться соотношением между сторонами и
углами треугольника a2 =b2 + c2 − 2bccosα или построением сферы, описывающей тетраэдр.
Задача 2.17.
Рассчитать расстояние между плоскостями (100) и (110) в кристалле алмаза.
Ответ:
расстояние между плоскостями (100) – a/4; расстояние между плоскостями (110) – a
2
4.
2.4.Зона Бриллюэна. Зонная структура полупроводников
Втвердом теле в соответствии с теоремой Блоха волновая функция электрона определяется как волна де Бройля, модифицированная периодической составляющей с периодом решетки:
ψnk (r)= exp(ikr)unk (r), |
(2.1) |
где
unk (r)=unk (r + R),
а R – вектор трансляции прямой решетки.
Трансляционная симметрия кристалла приводит к неоднозначности выбораk дляиндексацииволновойфункции ψnk (r),поэтомувектор k называют
не волновым, а квазиволновым вектором. Поскольку вектор k определен с точностью до векторов обратной решетки bi, то обычно за начальный вектор при- нимаютвектор,находящийсяближедругихкначалукоординатk-пространства. Область −bi
2 <k ≤bi
2 называют 1-й зоной Бриллюэна (или просто зоной
Бриллюэна). Зависимость энергии от квазиволнового вектора рассматривают в ней, а индекс n в (2.1) нумерует разрешенные энергетические зоны.
17
Для алмазоподобных полупроводников решеткой Браве является кубическаягранецентрированная решетка. Соответственно,зонойБриллюэнаслужит объемно-центрированная кубическая ячейка в k-пространстве.
Если положения абсолютных экстремумов зоны проводимости EC и валентной зоны EV совпадают по волновому вектору, полупроводник называется прямозонным, если не совпадают – непрямозонным (рис. 2.7). Остальные обозначения на рис. 2.7 будут раскрыты в 2.5.
а |
б |
Рис. 2.7. Схематическая зонная структура прямозонного (а) и непрямозонного (б) полупроводников
а |
б |
Рис. 2.8. Зоны Бриллюэна: а – первая зона Бриллюэна для кубической гранецентрированной решетки и направления на точки высокой симметрии;
б– зонная структура Ge, рассчитанная методом псевдопотенциала
сучетом спина и спин-орбитального расщепления
18
Полная трехмерная зона Бриллюэна для кубической гранецентрированной решетки изображена на рис. 2.8, a; одномерная развертка зоны Бриллюэна с рассчитанными дисперсионными зависимостями по нескольким направлениям для полупроводника Ge приведена на рис. 2.8, б.
Задача 2.18.
Показать, что при движении свободного электрона в кристалле его волновой вектор может измениться только на значение вектора обратной решетки, а условие образования стоячей электронной волны (условие дифракци-
онного отражения) в кристалле имеет вид 2kb +b2 = 0 .
Задача 2.19.
Вывести соотношение между объемами элементарных ячеек прямой и обратной решеток для кристаллических структур алмаза и сфалерита.
2.5. Эффективная масса носителей заряда. Ширина запрещенной зоны
По аналогии с электроном в свободном пространстве поведение квазичастицы в твердом теле характеризуется эффективной массой m *. Эффективная масса вводится через кривизну зависимости энергии от квазиволнового вектора
E (k)= 2k2 (2m*) |
с помощью тензора обратной эффективной массы |
||||||||
|
1 |
= |
1 |
|
∂2E (k) |
, который учитывает анизотропию кристалла. Тензор эф- |
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
||
* |
|
2 |
|
∂k ∂k |
|
||||
m |
ij |
|
|
i |
j |
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
фективной массы mij* является обратным по отношению к (1
m*)ij .
На рис. 2.9 приведены зонные структуры кремния и кристаллического алмаза.Благодарякристаллохимическомуподобиюрассматриваемыхковалентных полупроводников структуры их энергетических зон оказываются во многом сходными. Как и Ge, кремний и алмаз являются непрямозонными полупроводниками. Абсолютный минимум зоны проводимости в Si расположен в направлении (т. е. [100]) от центра зоны Бриллюэна в точке с относительными координатами в единицах π
a [0.86, 0, 0], а в алмазе– в точке [0.75, 0, 0]. В них суще-
ствует6эквивалентныхминимумов,характеризующихсядвумяразличнымизначениями эффективной массы mx = my = mn (поперечная эффективная масса)
и mz = mn* (продольная эффективная масса).
19
а |
б |
Рис. 2.9. Зонная структура элементарных полупроводников, рассчитанная без учета спин-орбитального расщепления: а – кремний; б – алмаз
Различие эффективных масс в разных полупроводниках в физике твердого тела принято характеризовать поверхностью второго порядка – эллипсоидом, уравнение которого имеет вид
x2 + y2 + z2 = сonst , a2 b2 c2
где величины a, b и c – полуоси эллипсоида.
|
Объем эллипсоида V = 4πabc . Когда пара |
|
|
3 |
|
|
полуосей имеет одинаковую длину, такой |
|
|
эллипсоид называют эллипсоидом враще- |
|
|
ния. |
|
|
В трехмерном эллипсоиде эффектив- |
|
|
ных масс для рассматриваемых непрямо- |
|
|
зонных полупроводников роль полуосей |
|
Рис. 2.10. Эквивалентные эллипсоиды |
эллипсоида играют две величины mn и |
|
одна mn* , а константой выступает поверх- |
||
энергии в зоне Бриллюэна кремния |
ность одинаковой энергии. Центр эллипсоида соответствует положению абсолютного минимума зоны проводимости (рис. 2.10).
В зоне проводимости германия всего 4 полных эллипсоида энергии, поскольку 8 эквивалентных минимумов располагаются строго на границе зоны Бриллюэна.
20
Структура валентных зон в этих полупроводниках также подобна и состоит из подзон легких и тяжелых дырок с эффективными массами дырок mhl*
и mhh* соответственно. Значение спин-орбитального расщепления в алмазе
всего 0.006 эВ, а при переходе к элементам с бόльшими атомными номерами оно растет и в Ge составляет 0.29 эВ.
Ширина запрещенной зоны является важнейшей характеристикой полупроводника. С повышением температуры амплитуда колебаний атомов в решетке растет и межатомное расстояние увеличивается. Следствием этого является снижение действующего на электроны потенциала и уменьшение ширины запрещенной зоны. Эмпирическая зависимость ширины запрещенной зоны от температуры описывается формулой Варшни:
E |
(T )= E |
(0)− |
αT 2 |
, |
(2.2) |
|
|||||
G |
G |
|
T +β |
|
|
|
|
|
|
|
где EG (0) – ширина запрещенной зоны при температуре абсолютного нуля, а
T – абсолютная температура. Коэффициенты α и β для наиболее важных полупроводников приведены в табл. 2.2 и в приложении.
|
|
|
|
|
|
|
Таблица 2.2 |
||
Основные параметры ряда распространенных полупроводников |
|
|
|||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Параметр |
Ge |
Si |
Алмаз |
InAs |
InP |
GaAs |
GaP |
GaN |
|
EG (0), эВ |
0.742 |
1.170 |
5.5 |
0.415 |
1.421 |
1.519 |
2.34 |
3.47 |
|
α·104, эВ/К |
4.8 |
4.73 |
– |
2.76 |
4.90 |
5.41 |
6 |
7.7 |
|
β, К |
235 |
636 |
– |
83 |
327 |
204 |
460 |
600 |
|
m* |
1.59/ |
0.98/ |
1.4/ |
0.023 |
0.08 |
0.063 |
1.12/ |
0.20 |
|
n |
0.0815 |
0.19 |
0.36 |
|
|
|
0.22 |
|
|
m* |
0.33 |
0.49 |
2.12 |
0.41 |
0.6 |
0.51 |
0.79 |
– |
|
hh |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
m* |
0.043 |
0.16 |
0.7 |
0.026 |
0.089 |
0.082 |
0.14 |
– |
|
hl |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Также в табл. 2.2 приведены эффективные массы электронов, легких и тяжелых дырок. Значения даны в единицах массы свободного электрона m0 .
Для непрямозонных полупроводников через дробь даны продольные m*n и
поперечные m*n эффективные массы электронов в зоне проводимости.
Задача 2.20.
Излучение полупроводникового светодиода формируется прямыми переходами зона-зона в нитриде галлия. Определить, как изменится длина волны излучения этого светодиода при изменении его температуры от 80°С до 150 К.
21
