Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

книги из ГПНТБ / Соммер А. Фото-эмиссионные материалы

.pdf
Скачиваний:
8
Добавлен:
23.10.2023
Размер:
8.14 Mб
Скачать

время такое же отклонение от стехиометрии в полупро­ зрачном катоде толщиной в несколько сотен ангстрем (это эквивалентно нескольким десяткам атомных слоев)

вызывает значительное «химическое»

отклонение от

стехиометрии, составляющее несколько

процентов.

Как отмечалась, химические методы,

используемые

в прошлом, были недостаточно точны для того, чтобы до­ казать или опровергнуть существование избытка Sb в Cs3Sb фотокатоде, обладающем максимальной чувст­

вительностью. Используя

более, совершенную технику,

Симой [Л. 75] доказал

существование отклонения от

отношения 3:1 для полупрозрачного фотокатода, соот­

ветствующее избытку сурьмы примерно в один моно­ слой. Его эксперимент проводился следующим образом. Сурьма напылялась на вибрирующую пластинку из кри­

сталлического кварца,

так что вес пленки можно было

точно

определить по

изменению частоты

колебаний

кварцевого вибратора

[Л. 76]. Количество

Cs,

требуемое

для активации, определялось методом

'Молекулярного

пучка

(см., например,

[Л. 77]), в котором

Cs

испарялся

на пленку Sb через маленькое отверстие из резервуара,

поддерживаемого

при

постоянной

температуре.

Если

точно известны давление паров

Cs

в зависимости от ;

температуры, диаметр

отверстия

и расстояние

от отвер­

стия до пленки, можно вычислить

скорость

поступления

Cs на подложку в зависимости

от

температуры

резер­

вуара.

 

 

 

 

 

 

 

Таким образом,

может быть

измерено

чрезвычайно

малое количество

Cs,

поскольку

практически

несложно

отрегулировать скорость испарения таким образом, что- ,

бы для нанесения монослоя требовалось время

порядка

і

10 мин или более.

 

 

 

 

 

 

 

Благодаря

своим

фотоэлектрическим

свойствам

 

СззЭЬ является наиболее интересным и наиболее

под-

 

дробно изученным соединением цезия и сурьмы. Можно

 

'считать установленным

[Л. 72, 78], что CseSb

является

;

соединением

с максимально

возможным

отношением

 

Cs и Sb. Известно, что при обработке парами

цезия во

 

время изготовления Cs3Sb фотокатода сначала

образу­

 

ются соединения с меньшим отношением Cs:Sb. Наибо­

 

лее

изученным из них является соединение

CsSb,

кото­

 

рое

обладает

резко отличными

электрическим

и оптиче­

 

скими свойствами. В результате систематических иссле- |

дований соединений AiB5 Дорн и Клемм [Л. 79] доказа- !

і

і

ли существование следующих семи соединений: Cs3Sb, Cs5Sb2, Cs2Sb, Cs5Sb4, CsSb, CsSb2 и Cs3Sb7.

Точно не известно, какие из этих соединений, кроме CsSb, образуются в процессе изготовления Cs3Sb, так как литературные данные по этому вопросу весьма про­ тиворечивы. Это неудивительно, поскольку образование промежуточных соединений сильно зависит от таких па­ раметров, как толщина пленки сурьмы и температура процесса, которая определяет скорость диффузии Cs и скорость реакции.

4-3. ТОЛЩИНА И ПЛОТНОСТЬ ФОТОКАТОДА

Как уже отмечалось, полупрозрачный CssSb фотока­ тод обычно изготовляют обработкой пленок сурьмы тол-

о

реакции

объем

материала

щииой 45—60 А. Во время

увеличивается, поскольку

конечный

продукт

содержит

в 4 раза больше атомов, чем начальная пленка сурьмы. Кроме того, плотность Cs3Sb, определенная из исследо­ ваний кристаллической структуры {Л. 80], составляет всего 4,5 по сравнению с 6,7 для массивной сурьмы. В ре­ зультате оказывается, что объем Cs3Sb примерно в 5,9 раза превышает объем начальной пленки сурьмы. Во-вре- мя образования Cs3Sb пленка сурьмы может расширять­ ся только в одном направлении: перпендикулярно под­ ложке. Поэтому толщина конечного слоя Cs3Sb должна

быть в 5,9 раза больше, чем толщина

начальной пленки

сурьмы, т. е. иметь величину порядка

о

260—350 А.

• Используя оптические методы, Кунце [Л. 81], а также Хагино и Такахаси {Л. 74] измерили коэффициент раз­ бухания пленки. Они получили соответственно 5,65 и около 7. Различие этих результатов, так же как расхож­ дение с вычисленной величиной, определяется прежде всего экспериментальными трудностями. Кроме того, из­ мерения проводились на пленках Sb и Cs3Sb, в то время как постоянные решетки были измерены на материале, приготовленном в виде порошка. Как уже отмечалось, плотность массивного материала может сильно отли­ чаться от плотности пленок.

Оба автора получили удивительный результат, за­ ключающийся в том, что переход от Sb к CsSb сопро­ вождается разбуханием слоя всего в 1,5 раза. Это долж­ но означать, что CsSb обладает плотностью, большей, чем плотность Sb, несмотря на большой атомный ра­ диус Cs.

4-4. КРИСТАЛЛИЧЕСКАЯ СТРУКТУРА

Кристаллическая структура Cs3Sb до сих пор иссле­ дована только на поликристаллическом материале. Из­ готовление монокристаллов представляет громадные технологические трудности, связанные с высокой точкой плавления, низкой температурой разложения и химиче­ ской нестабильностью соединения. Ниже приводится краткий обзор работ по определению кристаллической структуры; для получения более подробной информации следует обраться к оригинальным работам.

Первое подробное исследование структуры Cs3Sb ме­ тодом дифракции рентгеновских лучей было проведено Джеком и Уохтелом [Л. 80]. Они изготовили исследуе­ мый материал нагреванием порошка Sb в парах Cs до окончания реакции и получили структуру кубической

о

симметрии (D0 3 ) с постоянной решетки 9,15 А, что соот­ ветствует плотности 4,5. Практически такая же структу­ ра была найдена Гнуцманом и др. '[Л. 82], а также Широм и Зальмом [Л. 83], которые приготовляли материал аналогичным образом. Различие результатов, получен­ ных разными авторами, касается степени упорядочен­ ности кристаллической структуры. Возможно, что это связано с незначительным различием в технологии при­ готовления материалов, в частности, с размером кри­ сталлов сурьмы, температурой, длительностью прогрева.

Все эти результаты были получены на материалах, изготовленных в виде порошков, в условиях, существен­ но отличающихся от условий приготовления Cs3Sb фото­ катодов. Маккерол {Л. 78] разработал методику, в кото­ рой методом дифракции рентгеновских лучей могли иссле­ доваться пленочные фотокатоды. Эта методика состоя­ ла в изготовлении фотокатода обычным способом на стеклянной подложке и в соскабливании готового мате­ риала со стекла лезвием бритвы, которое управлялось снаружи вакуумной системы. Полученный таким обра­ з-ом мельчайший порошок собирался в тонкостенный ка­ пилляр, который отпаивался от вакуумной системы и исследовался в рентгеновской камере. В результате этого эксперимента было доказано, что фоточувствитель­ ный материал обладает структурой, тождественной структуре ранее изученных образцов.

Дальнейшее усовершенствование методики •исследо­ вания структуры фотокатода было достигнуто Макке-

42

ролом и Симоном [Л. 84]. Они сконструировали камеру для изучения дифракции электронов, которая позволяла не только исследовать материал фотокатода непосред­ ственно, т. е. без механического удаления слоя, но и на­ блюдать изменения структуры в процессе образования фотокатода.

4-5. ПАРЦИАЛЬНОЕ ДАВЛЕНИЕ ПАРОВ ЦЕЗИЯ

Измерения давления паров Cs над Cs3Sb представ­ ляют интерес прежде всего с практической точки зрения, поскольку чрезмерное давление паров цезия при ком­ натной температуре может вызвать утомление фотокато­ да, а также привести к появлению других эффектов не­ стабильности при работе фотоэлементов.

Камский и Джерик [Л. 85] и Мияке [Л. 86] измерили

давление Cs над Cs3Sb методом Тейлора и

Ленгмюра

[Л. 42]. Этот метод основан на поверхностной

ионизации

атомов цезия на раскаленной вольфрамовой нити; при

этом количество атомов цезия может

быть

определено

по величине ионного тока. При очень

малых

давлениях

пара экспериментальные ошибки при измерении ионного тока могут оказаться весьма большими. Поэтому суще­ ственное расхождение в результатах этих двух работ не

представляется

удивительным.

Согласно

Канскому и

Джерику давление Cs при комнатной

температуре

рав­

но 10- 1 4 мм рт. ст., в то время

как Мияке получил

вели­

чину, близкую

к Ю - 1 0 мм рт. ст. Таким образом, можно

сделать вывод, что величина давления

Cs над Cs3Sb при

комнатной температуре в настоящее

время

неизвестна.

4-6. ФОТОЭМИССИОННЫЕ СВОЙСТВА

Для Cs3Sb, как и для других фотокатодов, невозмож­ но установить одну спектральную характеристику фото­ чувствительности, поскольку максимум квантового выхо­ да и длинноволновая граница фотоэмиссии значительно меняются от образца к образцу. Однако общая форма кривой сохраняется, так что можно определить типич­ ную спектральную характеристику фотокатода. Харак­ теристика, представленная на рис. 6, типична для полу­ прозрачного Cs3Sb фотокатода при освещении его со стороны подложки. В данном случае в качестве подлож­ ки был использовал кварц, для того чтобы показать чувствительность фотокатода в области энергий фото­ нов, больших 3 эв.

Рис. 6. Спектральная характе­ ристика квантового выхода Cs3Sb фотокатода [Л. 3].
0,2 0,4- 0,6 мим
Рис. 7. Спектральная характе­ ристика чувствительности 5-11 фотокатода.

Спектральные характеристики фотоэлементов зави­ сят от толщины фоточувствительного слоя, материала подложки и колбы. В качестве примера на рис. 7 приве­ дена относительная спектральная характеристика фото­ элемента S-11 (полупро­ зрачный Cs3Sb фотокатод, подложка — окись марганца на стекле, материал окна — стекло). Сравнение рис. 6 и 7 позволяет сделать два важных вывода. Во-первых, резкий спад чувствитель­ ности, наблюдаемый у всех стеклянных фотоэлементов в области длин волн коро-

о

че 3 ООО А, определяется не уменьшением квантового выхода фотокатода, а по­ глощением ультрафиолето­ вого излучения в стекле. Во-вторых, медленное по­ нижение чувствительности в области длин волн короче

о

4 000 А связано с тем, что фототок рассчитан на вели­ чину падающей мощности, а не на число падающих фо­ тонов (см. гл. 3).

Влияние температуры на фотоэмиссию из Cs3Sb. При нагревании СэзЭЬ фотокато­ да выше 80—100 °С в мате­ риале происходят необрати­ мые изменения. Поэтому ис­

следования влияния температуры на фотоэмиссию про­ водятся, как правило, в области температур ниже ком­ натной. Изменение фотоэмиссии при охлаждении Cs3Sb фотокатода мало и не имеет практического значения, но представляет интерес для понимания процесса фото­ эмиссии. Ниже приводятся основные результаты таких исследований.

Шетти и Баумгартнер [Л. 88] обнаружили падение фоточувствительности при охлаждении СэзЭЬ фотокато-

да до температуры жидкого азота. Миязава

'[Л. 89] со­

общил, что при охлаждении

фотокатода до температуры

90 °К

происходит

падение

чувствительности

вблизи

порога и увеличение чувствительности

в области

энергии

фотонов

больше

2,5

эв.

Падение

чувствительности

в длинноволновой

области спектра и увеличение в корот­

коволновой наблюдали

также

Бишотен и др

[Л. 90],

Нерей [Л. 91] и Буале и

 

 

 

 

 

 

Миллер

(Л. 92].

Габуни

 

 

 

 

 

 

и др. |[Л. 93] подробно ис­

 

 

 

 

 

 

следовали

зависимость

 

 

 

 

 

 

фоточувствительности

в

 

 

 

 

 

 

припороговой

области

от

 

 

 

 

 

 

температуры.

Результаты

 

 

 

 

 

 

их

измерений

приведены

 

 

 

 

 

 

на рис. 8. На рис. 9 пока­

 

 

 

 

 

 

зано изменение всей спек­

 

 

 

 

 

 

тр алыюй

хаг. актеристики

 

 

 

 

 

 

Cs3Sb фотокатода при

 

 

 

 

 

 

охлаждении до температу­

 

 

 

 

 

 

ры 90 °К (по данным Спай-

 

 

 

 

 

 

сера и Бутена [Л. 94]).

 

 

 

 

 

 

 

Большинство

авторов

 

 

 

 

 

 

[Л. 89, 93, 94] считает, что

 

 

 

 

 

 

увеличение

чувствитель­

 

 

 

 

 

 

ности

в

коротковолновой

 

 

 

 

 

 

области

 

обусловлено

 

 

 

 

 

 

уменьшением

энергетиче­

 

 

 

 

 

 

ских

потерь фотоэлектро­

Рис.

8. Спектральные

характери­

нов при

взаимодействии

стики

фоточувствительностн

СБЗБЬ

с

колебаниями решетки.

фотокатода

вблизи

порога

при

различных

температурах (Л. 93].

Уменьшение потерь приво­

 

 

 

 

 

 

дит к увеличению

вероят­

 

 

 

 

 

 

ности выхода

фотоэлектронов. Уменьшение чувствитель­

ности в припороговой области при охлаждении фотокатода может быть вызвано несколькими причинами. Исходя из того, что Cs3Sb — полупроводник р-типа, Спайсер и Вутен [Л. 94] предположили, что источником фотоэлектро­ нов при освещении катода в припороговой области спектра служат заполненные акцепторные уровни. В та­ ком случае уменьшение чувствительности в этой обла­ сти спектра при охлаждении фотокатода естественно связать с уменьшением заполнения электронами примес­ ных уровней. Другими причинами уменьшения чувстви-

телыюсти в припороговой области при охлаждении мо­ гут быть увеличение ширины запрещенной зоны и небла­ гоприятное изменение изгиба зон у поверхности.

При охлаждении фотокатода до температуры 90 °К, кроме уже описанного плавного изменения всей спект­ ральной характеристики, возникает небольшой максимум при энергии фотона около 2,25 эв. Этот максимум наблюдали Миязава [Л. 89], Борзяк [Л. 95] и Тафт и Филипп [Л. 96]. Последние согласны с предположением

6000 5000 WOO

Рнс. 9. Влияние охлаждения на спектральную характеристику квантового выхода Cs3Sb фотока­ тода [Л. 94].

Борзяка о том, что этот

Амаксимум связан с воз­ буждением экситонов.

Влияние поверхностно­ го окисления. Как уже отмечалось, поверхност­ ное окисление увеличива­ ет чувствительность Cs3Sb фотокатода. Этот

эффект впервые

был опи­

сан Герлнхом

(Л.

69]

в его первой

работе

по

исследованию

 

сурьмяно-

цезиевого

фотокатода.

Соммер [Л. 72] качествен-

но (с помощью фильтров) исследовал влияние оки­ сления на спектральную характеристику фотока­ тода и обнаружил, что

впервый момент окисление вызывает увеличение

чувствительности

во всей видимой области спектра.

При продолжении

окисления происходит дальнейшее

увеличение чувствительности фотокатода в длин­ новолновой области, но в коротковолновой области чувствительность начинает уменьшаться. Наконец, насту­ пает момент, когда при продолжении окисления чувстви­ тельность фотокатода падает во всей области спектра. Соммер заметил также, что изменение спектральной характеристики фотоэмиссии сопровождается уменьше­ нием термоэлектронной работы выхода. Изменение спектральной характеристики CssSb фотокатода при окислении до получения максимальной чувствительности подробно было изучено Кунцем [Л. 81]. Результаты его исследований приведены на рис. 10.

Рис. 10. Спектральные
характеристики фоточув­ ствительности CS3SI5 до
(кривая 1) и после (кри­ вая 2) поверхностного окисления [Л. 81]...

Изменение чувствительности фотокатода при окисле­ нии, по-видимому, вызвано двумя причинами. Во-первых, окисление уменьшает высоту поверхностного барьера, что приводит к увеличению чувствительности во всей области спектра, продвижению чувствительности в более длинноволновую область и к уменьшению термоэлек­ тронной работы выхода. Во-вторых, окисление изменяет химический состав фотокатода, в результате чего число фотоэлектронов, возбуждаемых в фотокатоде, уменьша­ ется. В начале процесса окисления первый эффект с из­ бытком компенсирует второй, и поэтому чувствительность увели­ чивается во всей области спектра.

При продолжении окисления вто­ рой эффект начинает преобла­ дать, однако уменьшение чувстви­ тельности наступает раньше для коротковолнового света, возбуж­ дающего более быстрые электро­ ны, так как для них уменьшение поверхностного барьера сказыва­ ется слабее.

В настоящее время можно счи­ тать установленным, что окисле­ ние фотокатода до получения ма­ ксимальной чувствительности воз­ действует только на его поверх­ ность. Экспериментальные дока­ зательства этого факта были по­ лучены Дятловицкой [Л. 97], ко­

торая показала, что оптические свойства фотокатода не изменяются при окислении, а также Блумером и Коксом [Л. 98]. Последние на основании количественных изме­ рений показали, что для получения максимальной чув­ ствительности требуется примерно один монослой ки­ слорода.

Влияние подложки на фотоэмиссию. Химические свой­

ства П О Д Л О Ж К И М О Г У Т В Л И Я Т Ь На ф о Т О Э М И С С И Ю И З CS3SD

фотокатода. Следует иметь в виду, что влияние подлож­ ки может оказаться довольно сложным, поэтому неуди­ вительно, что некоторые экспериментальные факты до сих пор не удается объяснить. Ниже кратко описаны ос­ новные экспериментальные факты о влиянии подложки на фотоэмиссию.

В фотоэлементах,

предназначенных

для

освещения

со стороны вакуума,

Cs3Sb фотокатод

часто

наносится

на металлический электрод, изготовленный из металла, обычно используемого в вакуумных приборах, например никеля. Пленка сурьмы обычно наносится на этот элек­ трод до монтажа в вакуумном приборе и, следователь­ но, до обезгаживания прибора путем прогрева. Было выяснено, что для получения таким способом фотокато­ дов с нормальной чувствительностью необходимо, чтобы толщина пленки сурьмы была много больше, чем требу­ ется для поглощения падающего света. Причина этого состоит в том, что сурьма легко образует сплавы с дру­ гими металлами. В результате после обезгаживания прибора поверхность пленки, которая должна обраба­ тываться в парах цезия, может состоять не из чистой сурьмы, а из ее сплава с материалом подложки. Важно, чтобы толщина пленки сурьмы и режим обезгаживания прибора были выбраны таким образом, чтобы фронт диффузии материала подложки не достигал приповерх­ ностной области толщиной порядка глубины выхода фо­ тоэлектронов.

В фотоэлементах, используемых для тылового осве­ щения, из-за высокого сопротивления Cs3Sb иногда при­ ходится использовать подложку с хорошей электропро­ водностью. При этом подложка должна быть прозрачной для видимого света. В качестве такой подложки часто используют пленки двуокиси олова, поскольку они обла­ дают более высокой прозрачностью по сравнению с ме­ таллами при одинаковой электропроводности. Приготов­ ление пленок двуокиси олова описано в ряде работ, например в {Л. 99]. Следует отметить, что изготовление Cs3Sb на подложке из двуокиси олова требует большой осторожности, так как пары Cs реагируют с двуокисью олова, образуя темный материал и уменьшая прозрач­ ность подложки. Для того чтобы предотвратить эту реакцию, необходимо не допускать избытка Cs в прибо­ ре, т. е. количество Cs, вводимое в прибор, не должно превышать количества, необходимого для перехода Sb в Cs3Sb.

Очень тонкие металлические пленки в качестве полу­ прозрачных проводящих подложек для фотокатодов исследованы недостаточно подробно. Однако если плен­ ки наносятся после процеса обезгаживания, так что воз­ можность образования вышеупомянутых сплавов исклю-

чается, они, по-видимому, не оказывают существенного влияния на свойства Cs3Sb и ие мешают процессу изго­ товления фотокатода. Поэтому подложки из испаренных металлических пленок, таких, как хром или вольфрам, часто оказываются предпочтительнее, чем пленки дву­ окиси олова, хотя они поглощают 10—20% света при такой же проводимости.

Особый интерес представляет влияние на фотоэмис­ сию подложки из окиси марганца. При использовании этой подложки получаются фотокатоды, обладающие более высоким квантовым выходом по сравнению с обыч­ ными Cs3Sb фотокатодами. К тому же их чувствитель­ ность простирается в более длинноволновую область

спектра. Можно сказать,

что влияние подложки из оки­

си марганца на свойства

Cs3Sb фотокатода качественно

подобно влиянию поверхностного окисления. Поэтому вначале казалось естественным предположить, что окись марганца служит хорошо контролируемым источником для ввода кислорода в Cs3Sb. Однако последующие ис­ следования показали ошибочность такой интерпретации. Было показано, что кислород, входящий в состав МпО, не реагирует с Cs (Л. 100], т. е. окись марганца не может служить поставщиком кислорода.

С другой стороны, независимо от толщины подложки из окиси марганца и, следовательно, количества кисло­ рода чувствительность фотокатода увеличивалась при последующем поверхностном окислении. К тому же ока­

залось, что окиси других

металлов, например железа

или никеля, не оказывают

аналогичного влияния на

свойства Cs3Sb фотокатода. Возможная интерпретация этого явления была предложена Вутеном [Л. 101], ко­ торый предположил, что в фотокатоде на границе с МпО возникает изгиб энергетических зон, благоприятный для фотоэмиссии.

Энергия эмиттированных фотоэлектронов. Первые из­ мерения энергии эмиттированных фотоэлектронов отно­ сились к определению максимальной энергии электрона при данной длине волны и были важны для установле­ ния справедливости закона Эйнштейна. Целью дальней­ ших исследований явилось получение информации о де­ талях эмиссионного процесса из измерений распределе­ ния электронов по энергиям при данной длине волны.

Измерение энергии электронов представляет значи­ тельные практические трудности, которые здесь не бу-