книги из ГПНТБ / Соммер А. Фото-эмиссионные материалы
.pdfмерію 3,5 эв. Согласно Тафту и Апкеру [Л. 195] порог фотоэмпссии Rb2Te на несколько десятых электрон-воль та больше. Оптическое поглощение этих материалов ис следовано недостаточно подробно [Л. 195] для точного определения границы поглощения и, следовательно, ши рины запрещенной зоны Eg. Тем не менее из этих изме рений следует, что порог поглощения только на несколь ко десятых электрон-вольта меньше, чем порог фотоэмис сии, т. е. ширина запрещенной зоны лишь немного меньше, чем 3,5 эв. Следовательно, электронное сродство Еа рав но нескольким десятым электрон-вольта.
Из рис. 56 видно, что максимум |
квантового выхода |
у Cs2Te превышает 0,1. Эта величина |
согласуется с уста |
новленным выше правилом, согласно которому высокое отношение Е8 к Еа обеспечивает высокий квантовый вы ход, поскольку конкурирующий процесс генерации допол нительных электронно-дырочных пар может происходить только при энергии фотонов, по крайней мере вдвое пре вышающей ширину запрещенной зоны.
9-5. ФОТОКАТОДЫ ДЛЯ ОБЛАСТИ СПЕКТРА ОТ 1 050 ДО 2 000 А
Введение. Прежде чем описывать свойства конкрет ных материалов, необходимо сделать несколько общих замечаний, относящихся к фотоэмиссионным материа лам, чувствительность которых ограничена спектральной
о
областью длин волн меньше 2 000 А, т. е. фотонами с энергиями выше 6 эв. Поскольку эта глава посвящена фотоэмиттера'м, обладающим высоким квантовым выхо
дом, |
-мы будем рассматривать только...полупроводники |
||||||
или, |
точнее, диэлектрики, |
так как в областй'длин"_волн |
|||||
больше |
1 050 А квантовый |
выход всех металлов мал. |
|||||
Для |
получения порога |
— — |
- — |
" |
о |
||
фотоэмпссии |
вблизи |
2 000 А |
|||||
(6 эв) |
сумма (Eg-\-Ea) |
полупроводника |
должна |
также |
|||
равняться примерно |
6 эв. |
Как уже отмечалось, |
высокий |
квантовый выход обычно имеют 'Материалы с большим отношением Eg к Еа, поэтому полупроводники с узкой запрещенной зоной и большим электронным сродством, например германий, не пригодны для использования в качестве фотоэмиттеров с высоким квантовым выхо дом., . . . - -
Следует отметить, однако, что упомянутое правило имеет исключения, поскольку оно зависит от деталей зонной структуры материала. Например, по сообщению
140
Киндига и Спайсера [Л. 214] квантовый выход сульфида кадмия превышает 0,1 при энергии фотонов около 11 эв, хотя отношение Eg к Еа для CdS меньше, чем 1 :2. Не смотря на это, как правило, материалы с высоким кван товым выходом в рассматриваемой УФ области спектра имеют величину Eg, превышающую 3 эв. Это означает, что все эти материалы — диэлектрики, а не полупровод ники, и что они прозрачны в видимой области спектра, поскольку граница поглощения лежит у них в области
о |
эв). |
длин волн меньше 4 000 A (/zv>3 |
|
Фотоэмиссионные материалы, |
обладающие длинно- |
|
о |
волновым порогом фотоэффекта вблизи или ниже 2 ООО А, не окисляются в атмосфере кислорода [Л. 206], т. е. хи мически стабильны в сухом воздухе. Этим они резко отличаются от всех фотокатодов с более длинноволно вым порогом, таких, как антимониды и теллуриды ще лочных металлов, которые стабильны только в высоком вакууме. В настоящее время неизвестно ни одного мате риала, который не подчинялся бы эмпирическому пра вилу, заключающемуся в том, что материалы с величи
ной (Eg-\-Ea), |
превышающей 6 эв, |
не окисляются, |
в |
то |
время как |
материалы с {Eg-\-Ea), |
меньшей, чем |
6 |
эв, |
окисляются на воздухе (Соммер [Л. 206]). Следует от метить, что это правило химической стабильности мате риалов не распространяется на физическую стабиль ность. Например, многие из материалов, которые рас сматриваются ниже, легко растворяются в воде и по этому подвержены воздействию водяных паров, содер жащихся в воздухе.
Приготовление фотокатодов из этих материалов зна чительно проще, чем приготовление фотокатодов, обла дающих чувствительностью в более длинноволновой об ласти спектра. Многие из рассматриваемых соединений можно испарять в вакууме, при этом они не разлагаются в отличие от антимонидов и теллуридов щелочных метал
лов, которые |
необходимо синтезировать из |
элементов. |
В результате |
единственным изменяющимся |
параметром |
при изготовлении пленочных фотокатодов является тол щина нанесенных слоев.
Для полупрозрачных фотокатодов, так же как в слу чае других фотоэмиссионных материалов, толщина плен ки является очень критичной величиной. Кроме того, вследствие очень высокого удельного сопротивления ма ні
териалов с широкой запрещенной зоной необходимы проводящие полупрозрачные подложки, так же как в случае Cs2Te. Удельное сопротивление этих материалов настолько высоко, что приходится ограничивать толщину
фотокатодов, даже нанесенных на |
массивный |
металл |
(т. е. для фотокатодов, освещаемых |
со стороны |
ваку |
ума), для того, чтобы обеспечить приток электронов из металлической подложки. Толщина катодов порядка не скольких сотен ангстрем обычно уже достаточно велика для обеспечения эффективного поглощения света, но еще достаточно мала для того, чтобы избежать нежелатель ных эффектов, связанных с высоким поперечным сопро тивлением слоя.
Поскольку эти материалы прозрачны в видимом све те, толщина фотокатода не может контролироваться обычным методом, используемым при испарении метал лов и состоящим в наблюдении за изменением прозрач ности в процессе испарения. Вместо этого при изготов лении фотокатодов, освещаемых как с фронта, так и с тыла, используют один из двух следующих методов. Первый метод состоит в полном испарении предваритель но взвешенного кусочка материала фотокатода с зара нее подобранного расстояния от подложки. Во втором методе величина фотоэмиссии контролируется во время нанесения слоя, и испарение прекращается в тот момент, когда чувствительность перестает расти при увеличении толщины слоя. Даже при освещении катода со стороны вакуума продолжение испарения может привести к ухуд шению параметров фотокатода, связанному с чрезмер ным увеличением поперечного сопротивления слоя.
|
Фотоэмиссионные материалы |
||
Щелочно-галоидные |
соединения. |
Квантовый выход |
|
всех |
щелочно-галоидных |
соединений, за исключением |
|
LiF |
и, возможно, других |
фторидов, |
достигает величины |
о
порядка 0,1 в области спектра от 1 050 до 2 000 А. Опуб ликовано большое число работ, посвященных исследова нию оптических и фотоэмиссионных свойств щелочно-га лоидных соединений, однако целью большинства этих работ было исследование свойств материалов с точки зрения физики твердого тела (зонная структура, экситоны и т. д.), а не изучение их как фотоэмиттеров. Только совсем недавно интерес к спектроскопии в области пя-
142
куумного |
УФ и, в 'частности, интерес к експериментам |
в области |
вакуумного УФ в космическом пространстве |
стимулировал изучение и использование щелочно-галоид- ных материалов в качестве фотокатодов.
Филипп и Тафт .[Л. 215] пер выми сообщили, что квантовый выход фотоэмиссии из CsJ пре вышает 0,1 при энергии фото нов выше 6 эв. Позднее они [Л. 216] измерили фотоэмиссию из других щелочно-галоидных соединений. Результаты их из мерений приведены на рис. 57 и 58. Как видно, из всех ще лочно-галоидных материалов CsJ имеет порог в наиболее длинноволновой области спек тра и вместе с CsBr обладает наибольшим квантовым выхо дом. Поэтому, за исключением специальных применений, где желателен более коротковол новый порог, CsJ является луч шим солнечно-слепым фотока тодом для области длин волн
Рис. 57. Спектральные ха рактеристики квантового выхода фотоэмиссии из иодидов щелочных метал лов [Л. 216].
%0
короче 2 ООО А. Имеются также |
|
|
|
|
||||||
указания |
(Л. 206], что CsJ |
бо |
|
|
|
|
||||
лее стабилен |
на |
воздухе |
по |
I |
|
|
|
|||
сравнению с другими аналогич |
|
|
|
|||||||
ными |
соединениями |
(CsBr, |
|
|
|
|||||
RbJ |
и |
КВг), |
обладающими |
|
|
|
|
|||
близкими |
фотоэмиссионными |
|
|
|
|
|||||
характеристиками. |
|
|
|
Сі |
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
||||
Абсолютная |
величина кван |
|
|
|
|
|||||
тового выхода щелочно-галоид- |
<§ 10-*\ |
|
|
|
||||||
ных материалов в области фо |
|
|
|
|
||||||
тонов |
с |
большими |
энергиями, |
|
|
|
|
|||
где квантовый выход почти не |
|
|
|
|
||||||
зависит от длины волны, уста |
|
|
|
|
||||||
новлена |
неточно. |
В |
качестве |
|
|
|
|
|||
примера |
можно привести CsJ, |
Рис. |
58. |
Спектральные ха |
||||||
квантовый выход которого был |
рактеристики |
квантового |
||||||||
исследован, вероятно, наиболее |
выхода фотоэмиссии из не |
|||||||||
которых |
щелочно-галоид |
|||||||||
подробно. Тафт |
и |
Филипп |
ных |
соединений |
{Л. 216]. |
[Л. 216] получили квантовый выход, слегка превышаю
щий 0,1. Тейлор |
и Хартман [Л. |
217] при энергии фотонов |
|||
8 |
эв получили |
примерно в |
2 |
раза меньшую |
величину. |
С |
другой стороны, Мецгер |
[Л. 230] сообщил, что при |
|||
энергии фотонов |
11 эв квантовый выход в 5 |
раз выше. |
Из-за проблем, возникающих при абсолютных измере ниях падающей энергии (см. § 9-3), трудно решить, свя зано ли это различие с ошибками, допущенными при ка либровке аппаратуры, или исследованные материалы действительно отличались по своим свойствам.
Значительно лучше согласуются результаты разных авторов в отношении порога фотоэмиссии из щелочно-га-
лондных |
соединений. Например, Тафт и Филипп [Л. 216], |
|
а также |
Тейлор и Хартман [Л. 217] получили |
величины |
(Eg-\-Ea) |
для CsJ, близкие к 6,4 эв, а для KJ, |
близкие |
к 7,3 эв. |
|
|
Поскольку обнаружить фотопроводимость в щелочногалоидных соединениях невозможно [Л. 217], оценка ши рины запрещенной зоны Eg должна быть основана на из мерениях оптического' поглощения. Кривые поглощения для этих соединений имеют значительно более сложный вид, чем аналогичные характеристики фотоэмиссионных материалов, рассмотренных в предыдущих главах, по скольку присутствие экситонных пиков затрудняет опре деление края оптического поглощения. Из измерений поглощения, выполненных Эби и др. [Л. 218], а также
|
Т а б л и ц а |
5 |
Материал |
Eg,so |
Ea, эв |
ш |
5,9 |
1,4 |
NaJ |
5,8 |
1,5 |
KJ |
6,2 |
1,1 |
RbJ |
6.1 |
1,2 |
CsJ . |
6,3 |
0,1 |
Тафтом и Филиппом {Л. 216], и из измерений порога фо тоэмиссии (Тафт и Филипп) были получены следующие величины для ширины запрещенной зоны и электронного сродства иодидов щелочных металлов (табл. 5).
Следует отметить возможную корреляцию между чрезвычайно низким электронным сродством CsJ и очень высоким квантовым выходом этого материала. Однако 144
измерения квантового выхода и величины Еа недостаточ но точны для того, чтобы сделать определенные выводы.
Иодид меди. Меттлео [Л. 219, 220] первым сообщил, что испаренные пленки CuJ являются эффективными фо-
о
токатодами в области спектра ниже 2 ООО А. Тернер [Л. 221] получил этот материал прямой реакцией элемен
тов и |
наблюдал |
высокую |
чувствительность |
в области |
|
|
|
• |
|
спектра |
между |
1 850 и |
2150 А. Шуба и |
Смирнова |
[Л. 222], используя тот же метод приготовления, полу
чили |
фотокатод с постоянным квантовым выходом |
по- |
рядка |
о |
бо |
0,1 при длинах волн ниже 1 500 А. Однако в |
лее поздней публикации Тютиков и Шуба [Л. 223] указы вают, что квантовый выход составляет только 0,01. От носительные измерения, выполненные Соммером {Л. 206] на испаренных пленках CuJ, показывают, что квантовый выход CuJ по крайней мере в 4 раза ниже, чем кванто вый выход CsJ.
о
Ilqpor фотоэмиссии CuJ лежит вблизи 2 000 А (6 эв). Ширина запрещенной зоны, определенная по результа там измерений оптического поглощения, составляет при мерно 3 эв. Следовательно, электронное сродство также близко к 3 эв. Относительно высокое отношение Еа К Eg может объяснить, почему квантовый выход CuJ ниже, чем в случае щелочно-галоидных соединений, которые имеют значительно меньшее отношение Еа К Eg.
Весьма полезным свойством пленок CuJ является их относительно высокая электропроводность. Она связана, по-видимому, с примесными уровнями, которые возни кают вследствие отклонения от стехиометрического со става. Проводимость пленок достаточно высока для того,
чтобы |
обеспечить возможность работы |
CuJ фотокатода |
без проводящей подложки, которая, как |
отмечалось, необ |
|
ходима |
для большинства фотокатодов |
из материалов с |
широкой запрещенной зоной. Относительно химической стабильности CuJ фотокатода на воздухе известно нем ного, но имеются указания, что подобно щелочно-галоид- ным соединениям они подвержены влиянию паров воды.
Галоидные соединения серебра. Фотоэмиссия из гало идных соединений серебра исследована недостаточно подробно. Первые измерения на AgBr и AgCl были вы полнены Флейшманом [Л. 224], но они были ограничены областью спектра с энергией фотонов меньше чем 6,7 эе. 10-10 145
Тафт и др. [Л. 225] измерили фотоэмиссню из AgBr в об ласти прозрачности LiF окна. Они нашли (рис. 59), что длинноволновый порог фотоэмиссии близок к 6 эв, а мак симум квантового выхода в области энергии фотонов вы ше 8 эв достигает 0,05. Квантовый выход монокристал лов несколько выше, чем плавленых материалов. Испа
рение галоидных соединений серебра невозможно вслед ствие их разложения.
|
|
|
|
|
|
|
Из |
измерений |
оптического |
||||||||
|
|
|
|
|
|
|
поглощения |
(см. {Л. 226]) Тафт |
|||||||||
|
|
|
|
|
|
|
и др. получили, что ширина за |
||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
прещенной |
зоны |
AgBr |
состав |
|||||||
|
|
|
|
|
|
|
ляет |
примерно |
2,5 эв. |
Исходя |
|||||||
|
|
|
|
|
|
|
из этой величины |
и порога фо |
|||||||||
|
|
|
|
|
|
|
тоэмиссии |
|
(6 эв), |
они получи |
|||||||
|
|
|
|
|
|
|
ли, |
что электронное |
|
сродство |
|||||||
|
|
|
|
|
|
|
Еа равно примерно 3,5 эв. Сле |
||||||||||
|
-і |
і |
і |
' |
і |
' |
дует |
|
отметить, |
что AgBr, |
ко |
||||||
|
5 |
7 |
8 |
9 |
10 11 зв |
торый |
подобно |
|
CuJ |
характе |
|||||||
Рис. |
59. |
Спектральные |
ха |
ризуется |
отношением |
Eg к |
Еа, |
||||||||||
близким |
к единице, |
имеет |
|||||||||||||||
рактеристики |
|
квантового |
|||||||||||||||
|
квантовый |
|
выход |
в |
максиму |
||||||||||||
выхода фотоэмисстш |
некото |
|
|||||||||||||||
рых |
галоидных |
соединений |
ме |
между |
0,01 |
и |
0,1, т. |
е. |
|||||||||
|
|
серебра. |
|
|
ниже, |
чем |
квантовый |
выход |
|||||||||
и дп. [Л. 225)); |
2 — плавленый |
материалов |
с |
большим |
от |
||||||||||||
/ — монокристалл |
|
AgBr |
(Тафт |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
АкВг |
(Тафт п |
|
др . |
ГЛ. |
2251): |
ношением |
Eg К |
Еа |
(CS3SD, ще- |
||||||||
3 — AgCl |
(Петерсон [Л. |
2261). |
лочно-галоидные |
соединения), |
|||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
но выше, чем квантовый выход материалов с малым отношением Eg к Еа (Cs3 Bi, Ge). Как уже отмечалось, вероятность выхода фотоэлектронов повышается при уве личении отношения Eg к f a -
Результаты, полученные Тафтом и др. с AgBr, были подтверждены Петерсоном [Л. 226], который также ис следовал AgCl. Спектральная характеристика фотоэмис сии из AgCl по данным Петерсона приведена на рис. 59. Порог фотоэмиссии близок к порогу AgBr, а квантовый выход порядка 0,01 также достигается вблизи 8 эв. Од нако в отличие от AgBr квантовый выход фотоэмиссии из AgCl продолжает увеличиваться в области спектра между 8 и 12 эв. На основе оптических измерений было получено, что ширина запрещенной зоны этого материа ла близка к 3 эв; следовательно, его электронное срод ство немного выше 3 эв.
Очень мало сведений имеется относительно свойств AgJ. Тем не менее из оптических измерений (см. [Л. 226J), а также из некоторых других измерений Шубы и Смир новой [Л. 222] следует, что ширина запрещенной зоны
и электронное сродство этого материала, |
по-видимому, |
|||
близки к соответствующим |
величинам для AgBr и AgCl. |
|||
9-6. ФОТОКАТОДЫ ДЛЯ ОБЛАСТИ ДЛИН ВОЛН |
МЕНЬШЕ 1 050 А |
|||
Поскольку не существует никаких материалов для |
||||
окон |
в области длин волн |
короче |
1 050 |
А, фотокатоды |
для |
этой области спектра |
не могут |
быть |
приготовлены |
в обычных вакуумных приборах. Б результате все фото эмиссионные измерения в этой области были сделаны на материалах, которые более «ли менее длительное время находились на воздухе. Исключение составляет несколь ко случаев, когда материалы могли быть приготовлены в камере вакуумного монохроматора, который использо вался для измерений. Вследствие значительного влияния состояния поверхности на эмиссионный процесс все изме рения в области длин воли короче 1 050 А имеют ограни ченную ценность, особенно волизи длинноволнового по рога фотоэффекта.
Хотя металлы особенно подвержены образованию поверхностных пленок, которые изменяют фотоэмиссионные""своиства в области энергий фотонов на несколько электрон-вольт, превышающих работу выхода, т. е. при энергии фотонов меньше 8 эв (см. гл. 2), в результате работ Узйслера и др. (см. {Л. 54]) и Кеанса и Самсона [Л. 227] считалось установленным, что металлы в об ласти энергий фотонов выше 12—15 эв имеют квантовый выход порядка 0,1. Однако эксперименты с •металличе
скими^ пленками в сверхвысоком вакууме [Л. 251, |
252] |
||
подвергают сомнению это утверждение. |
|
|
|
Фотоэмиссионные |
свойства полупроводников |
и |
ди- |
электриков в области |
о |
(энерги |
|
длин волн короче 1 050 А |
ей фотонов выше 12 эв) были изучены только на неболь шом числе материалов. Вследствие ограничений, связан ных с источниками света, большинство этих измерений было выполнено в области энергий фотонов меньше 21 эв.
Все щелочно-галоидные |
соединения |
имеют |
высокий |
|
|
|
о |
квантовый выход в области |
длин волн |
меньше |
1 050 А, |
но существует различие между спектральными характе-
10* |
147 |
рнстпками материалов в интервале энергий фотонов от 12 до 21 эв в зависимости от ширины их запрещенной зоны. Щелочно-галоидные соединения с наибольшей величиной Eg, а именно материалы, содержащие литий или фтор, имеют согласно Мецгеру [Л. 209] квантовый выход, до стигающий по крайней мере 0,2 при 13 эв. При увели чении энергии фотонов квантовый выход продолжает расти вплоть до доступной границы измерений (21 эв).
Фторид лития (LiF) принадлежит к этой группе ма териалов и выражает крайний случай в том смысле, что из всех известных материалов он обладает максималь ной шириной запрещенной зоны и наиболее смещенным в сторону коротких волн длинноволновым порогом. Ха рактеристики оптического поглощения показывают, что ширина запрещенной зоны LiF составляет примерно 12 эв. Порог фотоэмиссии по оценке Тейлора и Хартмана [Л. 217] равен 13 эв. При экспозиции на воздухе вели чина фотоэмиссии в припороговой•области спектра уве личивается [Л. 206, 228], вероятно, благодаря реакции с парами воды, которые, как уже отмечалось, уменьшают прозрачность LiF.
Свойства щелочно-галоидных соединений с меньшей шириной запрещенной зоны отличаются от свойств ма териалов с большой величиной Е8. Во-первых, квантовый выход фотоэмиссии после достижения максимума умень шается при увеличении энергии фотонов до некоторой минимальной величины [Л. 209, 217], после чего снова увеличивается. Во-вторых, при дальнейшем увеличении энергии фотонов квантовый выход может достигнуть ве личины, превышающей единицу [Л. 209].
Оба эффекта можно объяснить, предположив, что при энергии фотонов, вдвое превышающей ширину за прещенной зоны, первичные фотоэлектроны могут воз буждать электронно-дырочные пары. При энергии фото нов, лишь слегка превышающей 2Eg, в результате этого процесса один быстрый электрон заменяется двумя элек тронами, обладающими очень низкой энергией и соот ветственно малой вероятностью выхода. При дальней шем увеличении энергии фотонов энергия этих двух элек тронов также увеличивается, и в конце концов может быть достигнуто положение, когда оба электрона смогут выйти в вакуум. Квантовый выход фотоэмиссии при этом может превышать единицу, поскольку при поглощении одного фотона могут выйти в вакуум два электрона.
Эта интерпретация была подтверждена измерениями скоростей фотоэлектронов, эмиттированных из щелочногалоидных материалов [Л. 217, 229]. Было показано, что при энергии фотонов, близкой к 2Eg, скорость фотоэлек тронов резко падает, как и следовало ожидать, если учи тывать потери энергии на возбуждение вторичных элек тронов из валентной зоны. Следует отметить, что, веро ятно, не имеется никакой принципиальной разницы между материалами, которые имеют минимум на спек тральной характеристике в области между 12 и 21 эв, и материалами, не имеющими этого минимума. По-види мому,.материалы с широкой запрещенной зоной имеют такой же минимум на спектральной характеристике в об ласти фотонов с большими энергиями, но, поскольку в этой области не проводилось никаких измерений, такой эффект не был обнаружен.
Кроме щелочио-галоидных соединений, некоторые из мерения фотоэмиссии в области длин волн меньше
о
1 050 А были проведены также на фторидах щелочнозе мельных металлов. Например, в (Л. 230] сообщалось, что CaF2 и BaF2 имеют длинноволновую границу фотоэмис сии вблизи 10 эв и квантовый выход при 13 эв порядка 0,01. Измерения не были распространены на область энергий фотонов, превышающих 14,5 эв, где можно было бы ожидать более высокого квантового выхода.
Гл а в а д е с я т а я
ФО Т О Э М И С С И Я ИЗ ЭЛЕМЕНТАРНЫХ ПОЛУПРОВОДНИКОВ И СОЕДИНЕНИЙ ТИПА А 3 В 5
10-1. ЭЛЕМЕНТАРНЫЕ ПОЛУПРОВОДНИКИ
Кремний. Фотоэмиссия из Si подробно исследовалась вам Ларом и Широм [Л. 256], а также Алленом и Гобели [Л. 257—261]. Особое внимание в этих работах уделялось изучению влияния степени леги рования и состояния поверхности на фотоэмиссионные -характери стики. Результаты исследования влияния легирования на спектраль ные характеристики фотоэмиссии из кристаллов Si с атомно-чистой поверхностью приведены на рис. 60 (Гобели и Аллен [Л. 260]). Иссле дования проводились на монокристаллах Si, сколотых в сверхвысо
ком |
вакууме |
в плоскости |
(111). Анализ этих характеристик позво |
|
ляет сделать |
следующие выводы: |
|
||
|
1. Порог |
фотоэмиссии |
'почти собственного материала |
составляет |
5,15 |
эв [Л. 257]. Используя |
общепринятую величину д,п я |
ширины за- |