Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

книги из ГПНТБ / Соммер А. Фото-эмиссионные материалы

.pdf
Скачиваний:
8
Добавлен:
23.10.2023
Размер:
8.14 Mб
Скачать

мерію 3,5 эв. Согласно Тафту и Апкеру [Л. 195] порог фотоэмпссии Rb2Te на несколько десятых электрон-воль­ та больше. Оптическое поглощение этих материалов ис­ следовано недостаточно подробно [Л. 195] для точного определения границы поглощения и, следовательно, ши­ рины запрещенной зоны Eg. Тем не менее из этих изме­ рений следует, что порог поглощения только на несколь­ ко десятых электрон-вольта меньше, чем порог фотоэмис­ сии, т. е. ширина запрещенной зоны лишь немного меньше, чем 3,5 эв. Следовательно, электронное сродство Еа рав­ но нескольким десятым электрон-вольта.

Из рис. 56 видно, что максимум

квантового выхода

у Cs2Te превышает 0,1. Эта величина

согласуется с уста­

новленным выше правилом, согласно которому высокое отношение Е8 к Еа обеспечивает высокий квантовый вы­ ход, поскольку конкурирующий процесс генерации допол­ нительных электронно-дырочных пар может происходить только при энергии фотонов, по крайней мере вдвое пре­ вышающей ширину запрещенной зоны.

9-5. ФОТОКАТОДЫ ДЛЯ ОБЛАСТИ СПЕКТРА ОТ 1 050 ДО 2 000 А

Введение. Прежде чем описывать свойства конкрет­ ных материалов, необходимо сделать несколько общих замечаний, относящихся к фотоэмиссионным материа­ лам, чувствительность которых ограничена спектральной

о

областью длин волн меньше 2 000 А, т. е. фотонами с энергиями выше 6 эв. Поскольку эта глава посвящена фотоэмиттера'м, обладающим высоким квантовым выхо­

дом,

-мы будем рассматривать только...полупроводники

или,

точнее, диэлектрики,

так как в областй'длин"_волн

больше

1 050 А квантовый

выход всех металлов мал.

Для

получения порога

— —

- —

"

о

фотоэмпссии

вблизи

2 000 А

(6 эв)

сумма (Eg-\-Ea)

полупроводника

должна

также

равняться примерно

6 эв.

Как уже отмечалось,

высокий

квантовый выход обычно имеют 'Материалы с большим отношением Eg к Еа, поэтому полупроводники с узкой запрещенной зоной и большим электронным сродством, например германий, не пригодны для использования в качестве фотоэмиттеров с высоким квантовым выхо­ дом., . . . - -

Следует отметить, однако, что упомянутое правило имеет исключения, поскольку оно зависит от деталей зонной структуры материала. Например, по сообщению

140

Киндига и Спайсера [Л. 214] квантовый выход сульфида кадмия превышает 0,1 при энергии фотонов около 11 эв, хотя отношение Eg к Еа для CdS меньше, чем 1 :2. Не­ смотря на это, как правило, материалы с высоким кван­ товым выходом в рассматриваемой УФ области спектра имеют величину Eg, превышающую 3 эв. Это означает, что все эти материалы — диэлектрики, а не полупровод­ ники, и что они прозрачны в видимой области спектра, поскольку граница поглощения лежит у них в области

о

эв).

длин волн меньше 4 000 A (/zv>3

Фотоэмиссионные материалы,

обладающие длинно-

 

о

волновым порогом фотоэффекта вблизи или ниже 2 ООО А, не окисляются в атмосфере кислорода [Л. 206], т. е. хи­ мически стабильны в сухом воздухе. Этим они резко отличаются от всех фотокатодов с более длинноволно­ вым порогом, таких, как антимониды и теллуриды ще­ лочных металлов, которые стабильны только в высоком вакууме. В настоящее время неизвестно ни одного мате­ риала, который не подчинялся бы эмпирическому пра­ вилу, заключающемуся в том, что материалы с величи­

ной (Eg-\-Ea),

превышающей 6 эв,

не окисляются,

в

то

время как

материалы с {Eg-\-Ea),

меньшей, чем

6

эв,

окисляются на воздухе (Соммер [Л. 206]). Следует от­ метить, что это правило химической стабильности мате­ риалов не распространяется на физическую стабиль­ ность. Например, многие из материалов, которые рас­ сматриваются ниже, легко растворяются в воде и по­ этому подвержены воздействию водяных паров, содер­ жащихся в воздухе.

Приготовление фотокатодов из этих материалов зна­ чительно проще, чем приготовление фотокатодов, обла­ дающих чувствительностью в более длинноволновой об­ ласти спектра. Многие из рассматриваемых соединений можно испарять в вакууме, при этом они не разлагаются в отличие от антимонидов и теллуридов щелочных метал­

лов, которые

необходимо синтезировать из

элементов.

В результате

единственным изменяющимся

параметром

при изготовлении пленочных фотокатодов является тол­ щина нанесенных слоев.

Для полупрозрачных фотокатодов, так же как в слу­ чае других фотоэмиссионных материалов, толщина плен­ ки является очень критичной величиной. Кроме того, вследствие очень высокого удельного сопротивления ма­ ні

териалов с широкой запрещенной зоной необходимы проводящие полупрозрачные подложки, так же как в случае Cs2Te. Удельное сопротивление этих материалов настолько высоко, что приходится ограничивать толщину

фотокатодов, даже нанесенных на

массивный

металл

(т. е. для фотокатодов, освещаемых

со стороны

ваку­

ума), для того, чтобы обеспечить приток электронов из металлической подложки. Толщина катодов порядка не­ скольких сотен ангстрем обычно уже достаточно велика для обеспечения эффективного поглощения света, но еще достаточно мала для того, чтобы избежать нежелатель­ ных эффектов, связанных с высоким поперечным сопро­ тивлением слоя.

Поскольку эти материалы прозрачны в видимом све­ те, толщина фотокатода не может контролироваться обычным методом, используемым при испарении метал­ лов и состоящим в наблюдении за изменением прозрач­ ности в процессе испарения. Вместо этого при изготов­ лении фотокатодов, освещаемых как с фронта, так и с тыла, используют один из двух следующих методов. Первый метод состоит в полном испарении предваритель­ но взвешенного кусочка материала фотокатода с зара­ нее подобранного расстояния от подложки. Во втором методе величина фотоэмиссии контролируется во время нанесения слоя, и испарение прекращается в тот момент, когда чувствительность перестает расти при увеличении толщины слоя. Даже при освещении катода со стороны вакуума продолжение испарения может привести к ухуд­ шению параметров фотокатода, связанному с чрезмер­ ным увеличением поперечного сопротивления слоя.

 

Фотоэмиссионные материалы

Щелочно-галоидные

соединения.

Квантовый выход

всех

щелочно-галоидных

соединений, за исключением

LiF

и, возможно, других

фторидов,

достигает величины

о

порядка 0,1 в области спектра от 1 050 до 2 000 А. Опуб­ ликовано большое число работ, посвященных исследова­ нию оптических и фотоэмиссионных свойств щелочно-га­ лоидных соединений, однако целью большинства этих работ было исследование свойств материалов с точки зрения физики твердого тела (зонная структура, экситоны и т. д.), а не изучение их как фотоэмиттеров. Только совсем недавно интерес к спектроскопии в области пя-

142

куумного

УФ и, в 'частности, интерес к експериментам

в области

вакуумного УФ в космическом пространстве

стимулировал изучение и использование щелочно-галоид- ных материалов в качестве фотокатодов.

Филипп и Тафт .[Л. 215] пер­ выми сообщили, что квантовый выход фотоэмиссии из CsJ пре­ вышает 0,1 при энергии фото­ нов выше 6 эв. Позднее они [Л. 216] измерили фотоэмиссию из других щелочно-галоидных соединений. Результаты их из­ мерений приведены на рис. 57 и 58. Как видно, из всех ще­ лочно-галоидных материалов CsJ имеет порог в наиболее длинноволновой области спек­ тра и вместе с CsBr обладает наибольшим квантовым выхо­ дом. Поэтому, за исключением специальных применений, где желателен более коротковол­ новый порог, CsJ является луч­ шим солнечно-слепым фотока­ тодом для области длин волн

Рис. 57. Спектральные ха­ рактеристики квантового выхода фотоэмиссии из иодидов щелочных метал­ лов [Л. 216].

%0

короче 2 ООО А. Имеются также

 

 

 

 

указания

(Л. 206], что CsJ

бо­

 

 

 

 

лее стабилен

на

воздухе

по

I

 

 

 

сравнению с другими аналогич­

 

 

 

ными

соединениями

(CsBr,

 

 

 

RbJ

и

КВг),

обладающими

 

 

 

 

близкими

фотоэмиссионными

 

 

 

 

характеристиками.

 

 

 

Сі

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Абсолютная

величина кван­

 

 

 

 

тового выхода щелочно-галоид-

10-*\

 

 

 

ных материалов в области фо­

 

 

 

 

тонов

с

большими

энергиями,

 

 

 

 

где квантовый выход почти не

 

 

 

 

зависит от длины волны, уста­

 

 

 

 

новлена

неточно.

В

качестве

 

 

 

 

примера

можно привести CsJ,

Рис.

58.

Спектральные ха­

квантовый выход которого был

рактеристики

квантового

исследован, вероятно, наиболее

выхода фотоэмиссии из не­

которых

щелочно-галоид­

подробно. Тафт

и

Филипп

ных

соединений

{Л. 216].

[Л. 216] получили квантовый выход, слегка превышаю­

щий 0,1. Тейлор

и Хартман [Л.

217] при энергии фотонов

8

эв получили

примерно в

2

раза меньшую

величину.

С

другой стороны, Мецгер

[Л. 230] сообщил, что при

энергии фотонов

11 эв квантовый выход в 5

раз выше.

Из-за проблем, возникающих при абсолютных измере­ ниях падающей энергии (см. § 9-3), трудно решить, свя­ зано ли это различие с ошибками, допущенными при ка­ либровке аппаратуры, или исследованные материалы действительно отличались по своим свойствам.

Значительно лучше согласуются результаты разных авторов в отношении порога фотоэмиссии из щелочно-га-

лондных

соединений. Например, Тафт и Филипп [Л. 216],

а также

Тейлор и Хартман [Л. 217] получили

величины

(Eg-\-Ea)

для CsJ, близкие к 6,4 эв, а для KJ,

близкие

к 7,3 эв.

 

 

Поскольку обнаружить фотопроводимость в щелочногалоидных соединениях невозможно [Л. 217], оценка ши­ рины запрещенной зоны Eg должна быть основана на из­ мерениях оптического' поглощения. Кривые поглощения для этих соединений имеют значительно более сложный вид, чем аналогичные характеристики фотоэмиссионных материалов, рассмотренных в предыдущих главах, по­ скольку присутствие экситонных пиков затрудняет опре­ деление края оптического поглощения. Из измерений поглощения, выполненных Эби и др. [Л. 218], а также

 

Т а б л и ц а

5

Материал

Eg,so

Ea, эв

ш

5,9

1,4

NaJ

5,8

1,5

KJ

6,2

1,1

RbJ

6.1

1,2

CsJ .

6,3

0,1

Тафтом и Филиппом {Л. 216], и из измерений порога фо­ тоэмиссии (Тафт и Филипп) были получены следующие величины для ширины запрещенной зоны и электронного сродства иодидов щелочных металлов (табл. 5).

Следует отметить возможную корреляцию между чрезвычайно низким электронным сродством CsJ и очень высоким квантовым выходом этого материала. Однако 144

измерения квантового выхода и величины Еа недостаточ­ но точны для того, чтобы сделать определенные выводы.

Иодид меди. Меттлео [Л. 219, 220] первым сообщил, что испаренные пленки CuJ являются эффективными фо-

о

токатодами в области спектра ниже 2 ООО А. Тернер [Л. 221] получил этот материал прямой реакцией элемен­

тов и

наблюдал

высокую

чувствительность

в области

 

 

 

 

спектра

между

1 850 и

2150 А. Шуба и

Смирнова

[Л. 222], используя тот же метод приготовления, полу­

чили

фотокатод с постоянным квантовым выходом

по-

рядка

о

бо­

0,1 при длинах волн ниже 1 500 А. Однако в

лее поздней публикации Тютиков и Шуба [Л. 223] указы­ вают, что квантовый выход составляет только 0,01. От­ носительные измерения, выполненные Соммером {Л. 206] на испаренных пленках CuJ, показывают, что квантовый выход CuJ по крайней мере в 4 раза ниже, чем кванто­ вый выход CsJ.

о

Ilqpor фотоэмиссии CuJ лежит вблизи 2 000 А (6 эв). Ширина запрещенной зоны, определенная по результа­ там измерений оптического поглощения, составляет при­ мерно 3 эв. Следовательно, электронное сродство также близко к 3 эв. Относительно высокое отношение Еа К Eg может объяснить, почему квантовый выход CuJ ниже, чем в случае щелочно-галоидных соединений, которые имеют значительно меньшее отношение Еа К Eg.

Весьма полезным свойством пленок CuJ является их относительно высокая электропроводность. Она связана, по-видимому, с примесными уровнями, которые возни­ кают вследствие отклонения от стехиометрического со­ става. Проводимость пленок достаточно высока для того,

чтобы

обеспечить возможность работы

CuJ фотокатода

без проводящей подложки, которая, как

отмечалось, необ­

ходима

для большинства фотокатодов

из материалов с

широкой запрещенной зоной. Относительно химической стабильности CuJ фотокатода на воздухе известно нем­ ного, но имеются указания, что подобно щелочно-галоид- ным соединениям они подвержены влиянию паров воды.

Галоидные соединения серебра. Фотоэмиссия из гало­ идных соединений серебра исследована недостаточно подробно. Первые измерения на AgBr и AgCl были вы­ полнены Флейшманом [Л. 224], но они были ограничены областью спектра с энергией фотонов меньше чем 6,7 эе. 10-10 145

Тафт и др. [Л. 225] измерили фотоэмиссню из AgBr в об­ ласти прозрачности LiF окна. Они нашли (рис. 59), что длинноволновый порог фотоэмиссии близок к 6 эв, а мак­ симум квантового выхода в области энергии фотонов вы­ ше 8 эв достигает 0,05. Квантовый выход монокристал­ лов несколько выше, чем плавленых материалов. Испа­

рение галоидных соединений серебра невозможно вслед­ ствие их разложения.

 

 

 

 

 

 

 

Из

измерений

оптического

 

 

 

 

 

 

 

поглощения

(см. {Л. 226]) Тафт

 

 

 

 

 

 

 

и др. получили, что ширина за­

 

 

 

 

 

 

 

прещенной

зоны

AgBr

состав­

 

 

 

 

 

 

 

ляет

примерно

2,5 эв.

Исходя

 

 

 

 

 

 

 

из этой величины

и порога фо­

 

 

 

 

 

 

 

тоэмиссии

 

(6 эв),

они получи­

 

 

 

 

 

 

 

ли,

что электронное

 

сродство

 

 

 

 

 

 

 

Еа равно примерно 3,5 эв. Сле­

 

і

і

'

і

'

дует

 

отметить,

что AgBr,

ко­

 

5

7

8

9

10 11 зв

торый

подобно

 

CuJ

характе­

Рис.

59.

Спектральные

ха­

ризуется

отношением

Eg к

Еа,

близким

к единице,

имеет

рактеристики

 

квантового

 

квантовый

 

выход

в

максиму­

выхода фотоэмисстш

некото­

 

рых

галоидных

соединений

ме

между

0,01

и

0,1, т.

е.

 

 

серебра.

 

 

ниже,

чем

квантовый

выход

и дп. [Л. 225));

2 — плавленый

материалов

с

большим

от­

/ — монокристалл

 

AgBr

(Тафт

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

АкВг

(Тафт п

 

др .

ГЛ.

2251):

ношением

Eg К

Еа

(CS3SD, ще-

3 AgCl

(Петерсон [Л.

2261).

лочно-галоидные

соединения),

 

 

 

 

 

 

 

но выше, чем квантовый выход материалов с малым отношением Eg к Еа (Cs3 Bi, Ge). Как уже отмечалось, вероятность выхода фотоэлектронов повышается при уве­ личении отношения Eg к f a -

Результаты, полученные Тафтом и др. с AgBr, были подтверждены Петерсоном [Л. 226], который также ис­ следовал AgCl. Спектральная характеристика фотоэмис­ сии из AgCl по данным Петерсона приведена на рис. 59. Порог фотоэмиссии близок к порогу AgBr, а квантовый выход порядка 0,01 также достигается вблизи 8 эв. Од­ нако в отличие от AgBr квантовый выход фотоэмиссии из AgCl продолжает увеличиваться в области спектра между 8 и 12 эв. На основе оптических измерений было получено, что ширина запрещенной зоны этого материа­ ла близка к 3 эв; следовательно, его электронное срод­ ство немного выше 3 эв.

Очень мало сведений имеется относительно свойств AgJ. Тем не менее из оптических измерений (см. [Л. 226J), а также из некоторых других измерений Шубы и Смир­ новой [Л. 222] следует, что ширина запрещенной зоны

и электронное сродство этого материала,

по-видимому,

близки к соответствующим

величинам для AgBr и AgCl.

9-6. ФОТОКАТОДЫ ДЛЯ ОБЛАСТИ ДЛИН ВОЛН

МЕНЬШЕ 1 050 А

Поскольку не существует никаких материалов для

окон

в области длин волн

короче

1 050

А, фотокатоды

для

этой области спектра

не могут

быть

приготовлены

в обычных вакуумных приборах. Б результате все фото­ эмиссионные измерения в этой области были сделаны на материалах, которые более «ли менее длительное время находились на воздухе. Исключение составляет несколь­ ко случаев, когда материалы могли быть приготовлены в камере вакуумного монохроматора, который использо­ вался для измерений. Вследствие значительного влияния состояния поверхности на эмиссионный процесс все изме­ рения в области длин воли короче 1 050 А имеют ограни­ ченную ценность, особенно волизи длинноволнового по­ рога фотоэффекта.

Хотя металлы особенно подвержены образованию поверхностных пленок, которые изменяют фотоэмиссионные""своиства в области энергий фотонов на несколько электрон-вольт, превышающих работу выхода, т. е. при энергии фотонов меньше 8 эв (см. гл. 2), в результате работ Узйслера и др. (см. {Л. 54]) и Кеанса и Самсона [Л. 227] считалось установленным, что металлы в об­ ласти энергий фотонов выше 12—15 эв имеют квантовый выход порядка 0,1. Однако эксперименты с •металличе­

скими^ пленками в сверхвысоком вакууме [Л. 251,

252]

подвергают сомнению это утверждение.

 

 

Фотоэмиссионные

свойства полупроводников

и

ди-

электриков в области

о

(энерги­

длин волн короче 1 050 А

ей фотонов выше 12 эв) были изучены только на неболь­ шом числе материалов. Вследствие ограничений, связан­ ных с источниками света, большинство этих измерений было выполнено в области энергий фотонов меньше 21 эв.

Все щелочно-галоидные

соединения

имеют

высокий

 

 

 

о

квантовый выход в области

длин волн

меньше

1 050 А,

но существует различие между спектральными характе-

10*

147

рнстпками материалов в интервале энергий фотонов от 12 до 21 эв в зависимости от ширины их запрещенной зоны. Щелочно-галоидные соединения с наибольшей величиной Eg, а именно материалы, содержащие литий или фтор, имеют согласно Мецгеру [Л. 209] квантовый выход, до­ стигающий по крайней мере 0,2 при 13 эв. При увели­ чении энергии фотонов квантовый выход продолжает расти вплоть до доступной границы измерений (21 эв).

Фторид лития (LiF) принадлежит к этой группе ма­ териалов и выражает крайний случай в том смысле, что из всех известных материалов он обладает максималь­ ной шириной запрещенной зоны и наиболее смещенным в сторону коротких волн длинноволновым порогом. Ха­ рактеристики оптического поглощения показывают, что ширина запрещенной зоны LiF составляет примерно 12 эв. Порог фотоэмиссии по оценке Тейлора и Хартмана [Л. 217] равен 13 эв. При экспозиции на воздухе вели­ чина фотоэмиссии в припороговой•области спектра уве­ личивается [Л. 206, 228], вероятно, благодаря реакции с парами воды, которые, как уже отмечалось, уменьшают прозрачность LiF.

Свойства щелочно-галоидных соединений с меньшей шириной запрещенной зоны отличаются от свойств ма­ териалов с большой величиной Е8. Во-первых, квантовый выход фотоэмиссии после достижения максимума умень­ шается при увеличении энергии фотонов до некоторой минимальной величины [Л. 209, 217], после чего снова увеличивается. Во-вторых, при дальнейшем увеличении энергии фотонов квантовый выход может достигнуть ве­ личины, превышающей единицу [Л. 209].

Оба эффекта можно объяснить, предположив, что при энергии фотонов, вдвое превышающей ширину за­ прещенной зоны, первичные фотоэлектроны могут воз­ буждать электронно-дырочные пары. При энергии фото­ нов, лишь слегка превышающей 2Eg, в результате этого процесса один быстрый электрон заменяется двумя элек­ тронами, обладающими очень низкой энергией и соот­ ветственно малой вероятностью выхода. При дальней­ шем увеличении энергии фотонов энергия этих двух элек­ тронов также увеличивается, и в конце концов может быть достигнуто положение, когда оба электрона смогут выйти в вакуум. Квантовый выход фотоэмиссии при этом может превышать единицу, поскольку при поглощении одного фотона могут выйти в вакуум два электрона.

Эта интерпретация была подтверждена измерениями скоростей фотоэлектронов, эмиттированных из щелочногалоидных материалов [Л. 217, 229]. Было показано, что при энергии фотонов, близкой к 2Eg, скорость фотоэлек­ тронов резко падает, как и следовало ожидать, если учи­ тывать потери энергии на возбуждение вторичных элек­ тронов из валентной зоны. Следует отметить, что, веро­ ятно, не имеется никакой принципиальной разницы между материалами, которые имеют минимум на спек­ тральной характеристике в области между 12 и 21 эв, и материалами, не имеющими этого минимума. По-види­ мому,.материалы с широкой запрещенной зоной имеют такой же минимум на спектральной характеристике в об­ ласти фотонов с большими энергиями, но, поскольку в этой области не проводилось никаких измерений, такой эффект не был обнаружен.

Кроме щелочио-галоидных соединений, некоторые из­ мерения фотоэмиссии в области длин волн меньше

о

1 050 А были проведены также на фторидах щелочнозе­ мельных металлов. Например, в (Л. 230] сообщалось, что CaF2 и BaF2 имеют длинноволновую границу фотоэмис­ сии вблизи 10 эв и квантовый выход при 13 эв порядка 0,01. Измерения не были распространены на область энергий фотонов, превышающих 14,5 эв, где можно было бы ожидать более высокого квантового выхода.

Гл а в а д е с я т а я

ФО Т О Э М И С С И Я ИЗ ЭЛЕМЕНТАРНЫХ ПОЛУПРОВОДНИКОВ И СОЕДИНЕНИЙ ТИПА А 3 В 5

10-1. ЭЛЕМЕНТАРНЫЕ ПОЛУПРОВОДНИКИ

Кремний. Фотоэмиссия из Si подробно исследовалась вам Ларом и Широм [Л. 256], а также Алленом и Гобели [Л. 257—261]. Особое внимание в этих работах уделялось изучению влияния степени леги­ рования и состояния поверхности на фотоэмиссионные -характери­ стики. Результаты исследования влияния легирования на спектраль­ ные характеристики фотоэмиссии из кристаллов Si с атомно-чистой поверхностью приведены на рис. 60 (Гобели и Аллен [Л. 260]). Иссле­ дования проводились на монокристаллах Si, сколотых в сверхвысо­

ком

вакууме

в плоскости

(111). Анализ этих характеристик позво­

ляет сделать

следующие выводы:

 

 

1. Порог

фотоэмиссии

'почти собственного материала

составляет

5,15

эв [Л. 257]. Используя

общепринятую величину д,п я

ширины за-