книги из ГПНТБ / Зубов В.А. Методы измерения характеристик лазерного излучения
.pdf§5. Интерференционные приборы
Внастоящее время интерферометр Фабри—Перо является основным многолучевым интерферометром, ис
пользуемым в практике. Двухлучевые интерферометры в спектроскопической практике применяются редко. Огра ничимся рассмотрением интерферометра Фабри—Перо.
Основные характеристики интерферометра Фабри— Перо. Интерферометр Фабри—Перо представляет собой две пластины, обладающие высокими коэффициентами отражения и малыми коэффициентами поглощения. Для
монохроматического излучения |
длины |
волны |
X распре |
|||||||
|
|
|
|
деление |
интенсивности |
света |
||||
|
|
|
|
в |
фокальной |
плоскости |
лин |
|||
|
|
|
|
зы, стоящей на выходе интер |
||||||
|
|
|
|
ферометра, дается выражением |
||||||
|
|
|
|
[105, |
106] |
|
|
|
||
|
|
|
|
|
I = I |
_________£?_________ |
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
0 (1 — г)2 -|- 4 r |
s in 2 V ’ |
||
Рис. |
26. |
К |
вычислению |
гДе |
-^о |
интенсивность падаю- |
||||
разностп хода для интер- |
щего |
света, |
г — коэффициент |
|||||||
ферометра |
Фабри—Перо. |
отражения, |
s — коэффициент |
|||||||
ность |
фаз, А — разность |
пропускания, |
у=яД/Х — раз |
|||||||
хода. Элементарное рассмотре |
||||||||||
ние |
работы |
интерферометра |
Фабри—Перо |
приводит |
||||||
к следующим соотношениям. Разность |
хода за |
счет дву |
||||||||
кратного прохождения промежутка |
интерферометра |
тол |
||||||||
щины h |
(рис. 26) равна |
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
Д = AB -]- ВС — АЕ = |
2h cos <р. |
|
|
При малых углах <р имеем А ~ 2h. В фокальной пло скости линзы получается интерференционная картина. При фиксированной длине волны положение максимумов определяется только углом ср. Таким образом, получаются кольца равного наклона. Чтобы кольца наблюдались хорошо, необходим источник света с достаточно широким набором углов излучения.
Условие образования максимума для А-го кольца интерференционной картины дает
2h cos = АХ.
Для кольца с номером А+ДА (где ДА может быть, в
100
частности, единица) имеет место
2h cos (cp -ф Д<р) = (к + Дк) X,
откуда
—2h Дер sin ср = ХДк.
Последнее соотношение показывает, что при фиксирован ном Ак Дер убывает с ростом ср. Это означает, что с ростом
ср или, что то же самое, с ростом |
радиуса колец R = F y |
кольца располагаются теснее (рис. |
27) [75]. Знак минус |
показывает, что большим ср, большим радиусам колец R |
|
соответствуют меньшие порядки к. |
Для меньшей длины |
Рис. 27. Интерференционная картина для интерферометра Фабри—Перо.
волны кольца располагаются теснее друг к другу, т. е. для меньших X меньше Дер и меньше AR. Угловая дис персия интерферометра Фабри—Перо определяется обычным образом:
dtp __ |
к __ |
1 |
d \ |
2А sin |
X tg ip ’ |
что при малых углах |
ср дает |
- -у—. Эти выражения |
показывают, что в пределах одного порядка с ростом длины волны радиусы колец убывают, так как dX и dtp (dR) разных знаков. Кроме того, с уменьшением ср (или R) угловая дисперсия растет. Максимум угловой дис персии приходится на область вблизи ср=0 (7?=0).
Для интерферометра Фабри—Перо существенное значение имеет область дисперсии, определяемая интер валом длин волн, которые не перекрываются в разных порядках. Область дисперсии ДХ равна разности между длинами волн линий, которые налагаются в соседних порядках, т. е. максимум для длины волны X порядка
101
&+1 попадает на максимум для длины волны Х+ДХ порядка к (см. рис. 27). Для этого случая имеем
2h cos cp = (к -)- 1) X= к (X -(- АХ)
и
Х2 АХ = \/к = 2h cos cp‘
При малых углах <р выражение для области дисперсии имеет вид ДХ=Х2/(2h). В некоторых случаях предста вляет интерес выражение для области дисперсии в часто тах или в волновых числах:
| â . | = |
|Дѵ| = ± . [о .-1]. |
Численные оценки для типичного интерферометра Фабри—Перо с толщиной h= 3 см для длины волны X~ ІО-4 см дают порядки интерференции к ~ 2/г./Х=
=60 000, угловую дисперсию |dcp/dX| ~ 0,017 рад/А, область дисперсии Дѵ ~ 0,17 см_1 и угловое расстояние между порядками интерференции Дер ~ (1/170) рад.
Рассмотрим вопрос о разрешающей способности е%=Х/8Х интерферометра Фабри—Перо [107]. Будем пользоваться для распределения интенсивности выра жением •
/ = / ы акс і |
1 |
|
||
р |
s i n 2 у > |
|||
где |
|
4Г |
|
Л OL |
V 2 |
|
|
||
■^ыакс ^ _J.J2 * |
(1 |
— |
|
, v = 1-2h cosep. |
|
- г)* |
|
Пользоваться критерием Рэлея непосредственно в данном случае затруднительно, так как интенсивность в интер ференционной картине в нуль не обращается:
7 __ ^ макс
МНВ \ \ Р *
Расчет по соотношению 0,8 / ыак0 = 2/?о+59;г дает ошибку 15°/0. Для расчета следует принять для двух линий оди наковой интенсивности и формы, что провал в месте пере
сечения контуров составляет 0,8 |
суммарной величины |
в максимуме, т. е. |
|
[Аіахо “Ь 7о0+59] = |
2/9о+59/2. |
102
Для точек <р0, tp0+ Stp и tp0+ Stp/2 имеем условия мак симума интенсивности соответственно
2кh |
, |
|
2кк] |
. . |
^ , , . Чек |
|
ѵо = ~ Г G 0 S Т о = |
k « . |
% = |
— |
c o s |
(«Po + |
8tP ) = |
И |
|
|
|
|
|
|
VSfß = |
2тс/г |
/ |
, |
5? \ |
T I |
кк |
— |
cos (?0 + |
- f j = |
ft* + |
2Й • |
Подстановка этих выражений в исходное уравнение и его решение с учетом того, что
|
sin и0= |
sin к к = |
|
О, |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
sin |
- |
- Л |
, |
кк\ |
. кк |
кк |
, |
|
|
||
|
sm {ІСК |
+ |
_ |
j = |
sm - |
|
|
|
||||
|
sm |
|
кк |
|
кк |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
дает |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
<$ = ] / — |
= Л |
Ä = |
|
|
|
|
|
|
|
|||
Г |
2 - f ѵ'б |
|
1 — г |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
. |
|
2/г cos Ф |
л; А |
, |
2h |
|
|
|
|
|
= A |
---------i—- |
|
------- г- , |
’ |
|||||
|
|
|
|
|
|
1 — r |
X |
|
|
|
1 — r k |
|
где А — |
2 K |
|
Разрешающая способность интерферо- |
|||||||||
|
|
V2 + v/ß
метра е% растет с ростом коэффициента отражения г (г -»-1) и с ростом оптической толщины интерферометра h. Числен
ное |
значение для |
г=0,90 и h= 3 см дает Si ~ 1 |
800 000. |
|
|
По аналогии с дифракционной решеткой можно оценить |
|||
эффективное число штрихов N3^ |
= — = А ^ _ г . |
Числен |
||
ное |
значение |
~ 30 для к ~ |
60 000. |
|
Следует указать, что при практических измерениях требуется стабилизация условий работы интерферометра'
[108].На характер работы интерферометра, находящегося
ввоздушной атмосфере, действуют изменение давления, температуры и влажности воздуха. Эти факторы действуют
вконечном итоге через изменение коэффициента прелом ления и оптической толщины интерферометра. Величины действия этих факторов характеризуются следующими чис-
лами: |
для изменения |
â/Tb I |
температуры -jjr п ■— (9 — 10) X |
||
Х 'Ю-7 |
град-1, давления |
~ (3,5— 4) • ІО-7 тор-1' |
103
влажности |
— (5 — 6) • 10 8 тор \ где Н — давление |
водяных паров. Непосредственное действие температуры на оптическую толщину интерферометра h снижается за счет использования прокладок между пластинами из инвара или кварца. Для этих материалов численные значения еле-
дующие: для инвара а = |
dli |
I |
9 • ІО-7 |
град-1, для кварца |
||||
|
І/г ~ |
|||||||
a = Iw \h - 5’4 • 10-7 гРад~К |
|
|
|
|
|
было |
||
Мультиплекс — сложный интерферометр. Как |
||||||||
указано, разрешающая способность |
для интерферометра |
|||||||
|
|
|
Фабри—Перо |
растет |
||||
|
|
|
с увеличением оптиче |
|||||
|
|
|
ской |
толщины интерфе |
||||
|
|
|
рометра h. Однако |
при |
||||
|
|
|
этом |
уменьшается |
об |
|||
|
|
|
ласть |
дисперсии |
ДХ= |
|||
|
|
|
= Х2/2Л. Сочетание боль |
|||||
|
|
|
шой |
|
разрешающей спо |
|||
|
|
|
собности |
и достаточной |
||||
|
|
|
области |
дисперсии |
воз |
|||
|
|
|
можно при |
сочетании |
||||
|
|
|
двух |
интерферометров |
||||
|
|
|
с разными оптическими |
|||||
|
|
|
толщинами hy и Іг2, при |
|||||
|
|
|
чем |
толщины |
интерфе |
|||
Рис. 28. Распределение интенсив |
рометров |
отличаются в |
||||||
ности для сложного интерферометра. |
целое |
число |
раз [105]. |
|||||
|
|
|
При |
|
рассмотрении |
та |
кого устройства будем считать, что обратная связь между интерферометрами отсутствует. В этом случае интенсив
ность на |
выходе будет |
|
|
. т— I I — I |
Імако і |
1____ т _____ 1 |
|
— |
1^ 2 — |
_j_ Р і gin 2 Vl 2макс t _j_ s j n2 • |
Схематическое изображение получающейся картины дано на рис. 28. По оси абсцисс отложены радиусы интерферен ционных колец R, по оси ординат — интенсивность излучения на выходе I. Первый и второй варианты соот ветствуют одному толстому и одному тонкому интерферомет рам. Третий вариант дает картину для сложного интер ферометра. Область дисперсии системы того же порядка, что и область дисперсии одного тонкого интерферометра
104
Фабри—Перо: АХ — X2/2/г2. Рассмотрим, каково разре шение системы. В данном случае разрешающую способ ность удобнее рассчитывать по ширине распределения ин тенсивности для одиночной линии в том месте, где ин тенсивность в получающейся картине уменьшается в два
раза [96]: і = 1ш*= 7и»А»«. ^
Это дает соотношение |
|
|
|
||
|
(1 + |
Рх sin2 yj) (1 + Р2sin2 у2) = |
2, |
||
где |
|
2тсй] |
|
||
|
|
|
|
||
|
Pi |
(l-'-l)2’ |
ѵі |
X cos tp; |
|
|
|
Ar2 |
2nk2 |
|
|
T . |
Р2 = (1 ~г-г)2’ ѵ2 |
~T~ cos <p; |
-- c/igi |
||
e. vx=av2. |
|
|
|
|
|
Для области максимума имеем |
|
|
|||
|
2naho |
cos cp0 = amn, |
y20 = |
2uhn |
|
|
у10 = —у |
—у cos cp0 = mn; |
для точки, где интенсивность уменьшается в два раза, соот ветственно
ѵх = —jj—1cos (<P0+ |
ötp) - |
- amn -j- — 8X, |
|
y2= |
cos (<p0 + |
8<p) = |
mn -f- ^ 8X. |
Для одного толстого интерферометра получаем
|
[1 + Р, ( |
= |
а у ] = 2; |
|
Для |
случая сложного |
интерферометра |
|
|
|
[ 1 + Р і( |
у |
а у ] [ і + Р ,(™ 8іу ] = 2 , |
|
|
утл |
|
2 |
|
|
~ P1a?+P2-+'/Plal + 6 |
’ |
||
что |
для Рг= Р 2 дает |
|
|
|
|
утл\2 |
|
2 |
|
|
Ѵ ^/ ~ |
р Га2 -f 1 + ѵ/а4 + 6а2“+1] ' |
|
105
Для сложного интерферометра ширина колец уже, чем у одного толстого интерферометра. Таким образом, раз решение лучше, чем при работе с одним толстым интер ферометром. Следует отметить, что из-за сильного ослаб ления света такой системой измерения достаточно трудны, тем не менее при работе с диэлектрическими зеркалами и с не слишком слабыми источниками света измерения воз можны.
Конфокальный интерферометр содержит два вогнутых сферических зеркала, расположенных на расстоянии ра диуса кривизны R (рис. 29), так что центр кривизны одного
Рис. 29. Конфокальный интерферометр Фабри—Перо.
совпадает с вершиной другого, т. е. фокусы F этих сфе рических зеркал совпадают [109, 110] и находятся в точке О. Отсюда название интерферометра — конфокальный. Внешние неотражающие поверхности зеркал выбираются таким образом, чтобы все зеркало представляло собой линзу с фокусным расстоянием, равным F. Пусть некото рый световой луч входит в интерферометр в точке А, пе ресекает фокальную плоскость, проходит на второе зер кало в точке В и частично выходит из интерферометра. С другой стороны, после отражения в точке В луч прихо дит в точку С первого зеркала. В силу малости углов можно считать, что из равенства следует АОх— —O-fi. Далее луч попадает в точку D второго зеркала, где опять'можно принять, что B 02—Ö2D. Наконец, луч снова попадает на первое зеркало. В силу малости углов имеет место равенство СО^—О-уА, т. е. луч снова попадает в точ ку А , откуда отражается в точку В и выходит из интерферо метра. Таким образом, разность хода интерферирующих лу чей равна A —BC-\-CD-\-DA-\-AB. В силу малости углов можно принять, что A=AB=8F, где В — расстояние между зеркалами, равное радиусу кривизны. Если учесть, что
106
для плоского интерферометра разность хода интерфериру ющих лучей А —-2h, то можно заключить, что конфокаль ный интерферометр имеет те же характеристики, что и плоский интерферометр удвоенной толщины.
Образцы интерферометров, выпускаемые промышлен ностью, приведены в табл. 16 [68, 74, 75].
Т а б л и ц а 16
|
|
|
|
|
Коли |
|
Тип интер |
Тип |
Дна- |
Рабочая |
Коэффи |
чест |
Диапазон |
метр |
циент |
во |
||||
ферометра |
пластин |
пла |
спектральная |
отраже |
ко |
толщин, |
|
|
стин, |
область Ц Â |
ния, °/о |
лец- |
лич |
|
|
мм |
|
|
прок |
|
|
|
|
|
|
ладок |
|
ИТ-51-30 |
Стекло |
50 |
4000-8000 |
87—92 |
18 |
0,3-30 |
ИТ-51-150 Стекло |
50 |
4000-8000 |
87—92 |
5 |
40-150 |
|
ИТ-28-30 |
Кварц I |
50 |
2200-3600 |
8 0 -8 6 |
18 |
0,3 -3 0 |
ИТ-28-150 |
Кварц И |
50 |
3400-6000 |
8 5 -9 0 |
|
|
Кварц 1 |
50 |
2200—3600 |
8 0 -8 6 |
5 |
40-150 |
|
|
Кварц И |
50 |
3400—6000 |
85 -90 |
Обработка спектрограмм. Картина колец, получаю щаяся в случае интерферометра Фабри—Перо, изобра жена па рис. 27. Угловой диаметр к-то кольца 0fc=2<pfc, радиус этого кольца в фокальной плоскости объектива с фокусным расстоянием F равен R k—Fyk, а диаметр Dk=2Fyk=F§k. Если воспользоваться выражением
к\ |
0* |
' C0S(P*= 2У=С08 2 ’
причем cos (ѲЛ/2) разложить в ряд
Л2 1 ----±1*.
8F2
то можно получить выражение, связывающее Хи диаметр кольца Dk в соответствующем порядке
Р% \ 8F2 /•
Рассмотрим некоторые способы обработки снимков спектров, полученных с помощью интерферометра Фабри—Перо.
107
1. Определение длины световой волны по методу со падения интерференционных картин [71, 111] выполня ется путем изменения оптической толщины интерферометра
h. Интерферометр освещают светом с эталонной |
длиной |
волны Аи светом с исследуемой длиной волны |
причем |
спектральное расстояние между этими линиями велико.
Для определенности будем считать А.с > А. Если |
для не |
которой оптической толщины интерферометра |
наблю |
дается четкая картина интерференции, то можно считать, что, например, к-е кольцо для длины волны Аг совпадает
с (к-\-т)-м кольцом для |
А: |
2/?.j cos cp = |
к\л — (к + m) А. |
Если следующее положение четкой картины соответ ствует толщине интерферометра Л2, когда в поле зрения прошло р порядков для Ажи р-\-1 порядков для А, то имеем
2ho cos cp = (к -|- р) \ х= (к -]- п |
-]- р -]- 1) А. |
|
|||
Из этих соотношений |
получается |
путем |
вычитания |
||
2 {К — hj) cos cp = |
р \х = (p + |
1) l; |
\x |
— |
X. |
Таким образом, для определения длины волны исследуе мого излучения Аг требуется измерение числа порядков р между двумя совпадениями интерференционных картин. Если при измерениях наблюдается несколько совпаде ний, то измерения получаются очень точными.
Можно иначе подойти к решению вопроса, воспользо вавшись соотношением
. X= ДА = • |
АХД |
|
"2 (Л2 — ^гі) cos <f |
||
|
Разность h2 — h1можно измерить с помощью микрометри ческого устройства, cos ср можно определить, зная диаметр кольца D и фокусное расстояние объектива F:
|
COS Ср = |
в |
, |
Ö2 |
|
COS J |
= * 1 — |
|
|
Если |
приближенно |
известно определяемое значение |
||
Ая + d \, |
то в результате пересчета |
получается более точ |
||
ное значение |
|
|
|
|
|
А* = (А + ДА) + ДА |
Лд: . |
108
В заключение следует указать, что рассмотренный метод требует больших затрат труда и потому редко ис пользуется.
2. Определение длины световой волны методом совпа дения дробных частей порядка [107, 111] включает не сколько последовательных операций.
Измерение дробной части порядка. Пусть для некоторой длины волны Xв центре интерференционной картины имеет место равенство 2h=(k-\-f)'k, где к — целое число порядка интерференции, / — дробная часть порядка. Интерферен ционное кольцо с номером т характеризуется угловым размером по радиусу <рш и линейным размером по диаметру Dm. Эти размеры определяются соотношением
(ft —т + 1) X= 2h cos <pm= 2h (1 — DIJSF9-).
Из этого соотношения получаем
д2[ = 8/^ -+ .'” _ 1х.
Таким образом, если измерить диаметры колец Dmдля не скольких т и построить график зависимости Ь тг от т, то, экстраполируя график до пересечения с осью 7X^=0, на которой отложены номера колец, получаем точку т0. Поскольку / характеризует долю увеличения порядка при переходе от первого кольца к центру картины, то /= 1 —та. Таким образом определяется дробная часть порядка для длины волны Xи оптической толщины интерферометра h.
Определение оптической толщины интерферометра.
Первый вариант. Пользуясь определенной по указанному выше способу дробной частью порядка / и значениями но мера кольца т, диаметра этого кольца 7Хт, фокусного рас стояния камеры F и длины волны X, можно определить толщину интерферометра на основе соотношения
ÄcoJ_4pLhi«=JLx.
Второй вариант обеспечивает большую точность, од нако требуется знание приближенного значения толщины интерферометра h +Дh. В этом варианте используется не сколько эталонных линий; пусть их три Хх, Х2, Х3. Для этих
длин |
волн определяются дробные части |
порядка Д, /2 |
|||
и |
/з |
в |
соответствии |
с тем, как это указано выше. Для |
|
Хг |
по |
соотношению |
2 (h ± Ah) — (ft+Д) Хх |
определяется |
109