- •Ведение
- •1. Элементы биполярных интегральных схем
- •1.1.Биполярный полупроводниковый транзистор
- •1.1.1. Теория p-n-перехода в условиях равновесия
- •1.1.3. Вольт-амперная характеристика р - n-перехода
- •1.1.4. Качественный анализ работы биполярного транзистора
- •1.1.5. Статические характеристики транзистора в схеме с об
- •1.1.6. Статические характеристики в схеме с оэ
- •1.1.7. Статические параметры транзисторов
- •1.1.8. Биполярный транзистор как четырехполюсник
- •1.1.9. Особенности дрейфовых транзисторов
- •1.2. Интегральные резисторы
- •2. Полевые транзисторы на основе структур металл — диэлектрик –полупроводник (мдп)
- •2.1. Устройство мдп транзистора
- •2.2. Качественный анализ работы мдп транзистора
- •2.3. Уравнение для вольт-амперных характеристик мдп транзистора
- •Модуляция длины канала
- •Эффект подложки
- •Пробой в мдп транзисторах
- •2.4. Характеристики мдп транзистора
- •2.5. Статические параметры мдп транзистора Крутизна вольт-амперной характеристики
- •Внутреннее, или динамическое, сопротивление
- •Сопротивление затвора
- •2.6. Частотные свойства мдп транзистора
- •3. Соединения и контактные площадки
- •4. Базовые схемы логических элементов на биполярных и полевых транзисторах
- •5. Разработка топологии ис
- •6. Разработка фотошаблонов для производства имс
- •7. Технологический процесс
- •7.1. Эпитаксия кремния
- •Эпитаксия из газовой фазы
- •Легирование при эпитаксии
- •7.2. Формирование диэлектрических слоев
- •Маскирующие свойства слоев диоксида кремния
- •Термическое окисление кремния
- •Плазмохимическое окисление кремния
- •Покрытия из нитрида кремния
- •7.3. Диффузионное легирование в планарной технологии
- •7.4. Ионное легирование
- •7.5. Литографические процессы
- •7.6. Металлические слои
- •Методы распыления в вакууме
- •7.7. Основные этапы технологического цикла (Пример)
- •6. Разработка профильной схемы технологического маршрута имс.
- •7. Заключение.
- •8. Список цитируемой литературы.
- •Календарный план
- •Реферат
- •Примерный перечень тем курсовых проектов
- •Библиографический список
- •394026 Воронеж, Московский просп., 14
2.5. Статические параметры мдп транзистора Крутизна вольт-амперной характеристики
Усилительные свойства МДП транзистора характеризуются крутизной S передаточной характеристики (рис. 2.10), которая выражает изменение тока от изменения входного напряжения:
S = (2.20)
В пологой области вольт-амперной характеристики крутизна равна
S= (2.21)
Крутизна в этой области может быть увеличена одним из двух способов: либо уменьшением напряжения на затворе, либо изменением геометрии прибора — отношения ширины канала к его длине. (Типичные значения крутизны для МДП транзисторов лежат в пределах 0,5—2,0 мА/В.)
Внутреннее, или динамическое, сопротивление
Внутреннее (динамическое) сопротивление Ri определяется выражением
Ri = (2.22)
В пологой области характеристики Ri =→; в реальных приборах Ri = 40—100 кОм. В крутой области
(Ri)-1 = (2.23)
Сопротивление затвора
Сопротивление затвора Rз является функцией напряжения на затворе Vз, напряжения на стоке Vs, порогового напряжения Vпор и имеет значение 1010 – 1015 Ом.
2.6. Частотные свойства мдп транзистора
Качество приборов, управляемых напряжением, определяется отношением крутизны S и входной емкости Свх затвора прибора. По нему можно оценить полосу пропускания прибора Δf:
Δf = S/Cвх = - (μ/L2)(V3 – Vпор) (2.24)
Полоса пропускания зависит только от длины канала и не зависит от его ширины, так как увеличение ширины канала в одинаковой степени повышает емкость прибора и его крутизну. В реальных приборах предельная рабочая частота ограничена величиной в несколько сотен мегагерц.
3. Соединения и контактные площадки
Соединения
Элементы ИМС электрически соединены между собой с помощью алюминиевой разводки толщиной до 0,8 мкм. Когда в однослойной разводке не удается избежать пересечений, применяют диффузионные перемычки (рис. 3.1). Речь идет об изоляции двух взаимно перпендикулярных проводников, первый из которых размещен поверх защитного окисла, второй "подныривает" под него в виде участка n+-слоя. Этот участок имеет заметное сопротивление (3-5 Ом), вносит дополнительную паразитную емкость и занимает сравнительно большую площадь (для него требуется отдельная изолированная область), поэтому диффузионной перемычкой пользуются в исключительных случаях. Диффузионные перемычки не применяют в цепях питания, в которых протекают достаточно большие токи.
Рис. 3.1. Конструкция диффузионной перемычки
Контактные площадки
Контактные площадки (КП), располагаемые обычно по периферии полупроводникового кристалла служат для создания соединений полупроводниковой схемы с выводами корпуса с помощью золотых или алюминиевых проволочек методом термокомпрессии. Для КП используют тот же материал что и для создания разводки (чаще всего алюминий); КП формируют одновременно с созданием разводки. Для предотвращения замыканий КП на подложку в случае нарушения целостности окисла при термокомпрессии под каждой КП формируют изолированную область (за исключением КП, соединенных с проводниками имеющими контакт с подложкой). Конструкция КП приведена на рис. 2.2.
Рис. 3.2. Конструкция соединений (а) и контактной площадки (б) ИМС