Блок термічного випаровування

На установці ВУП-4 можна випаровувати метали, діелектричні та напівпровідникові речовини з випарників спеціальної конструкції.Розігрів випарників до необхідної температури проводиться за допомогою електричного струму, що пропускається через випарник. Як випарники застосовуються циліндричні та конічні вольфрамові спіралі й молібденові човники. Струм від сітки випарники отримують через вимикач “испаритель”, автотрансформатор, силовий понижувальний трансформатор та перемикач, ручка якого виведена на стінку стола.Перемикачем напруга напруга подається на один із випарників,які закріплюються на масивних мідних клемах. Всіх клем чотири, дві з них заземлені на корпус, а дві інші під’єднані до перемикача, що має три положення: 0 – нейтральне, 1 – випарник № 1, 2 – випарник № 2.

За допомогою автотрансформатора можна здійснювати плавне регулювання напруги, що подається на випарник. Низьковольтний трансформатор дає змогу при цьому довести значення струму через випарник до 50 А. Індикатором значення струму є вимірювальний прилад “накал испарителя”, що під’єднаний за схемою вольтметра до виходу низьковольтного трансформатора. Регульована напруга 0÷12 В трансформатора виведена також на передню панель стола до спеціальних гнізд.

Хід виконання роботи

1. Підготувати установку ВУП-4 для напилення.

2. Розрахувати необхідну наважку речовини і помістити у випаровувач.

3. Підготувати підкладку і вставити її в держак для підкладок.

4. Користуючись описом послідовності включення насосів, одержати в установці вакуум 1.3⋅10-2 Па.

5. Одержати декілька тонкоплівкових зразків для структурних і фізичних досліджень.

Список літератури

1. Векшинський А.С. Новый метод исследования в металлографии. М., Изд-во АН СССР, 1944.

2. Данилин Б.С. Вакуумное нанесение тонких пленок. М., “Энергия”, 1967.

3. Метфессель С. Тонкие пленки, их изготовление и измерение. М.-Л.,

Госенергоиздат, 1963.

4. Физика тонких пленок. Под общей редакцией Г.Хасса и Р.Э.Туна. М., “Мир”, т.1, 1967; т.2, 1967; т.5, 1972.

5. Хирс Д., Паунд И. Испарение и конденсация. М.,”Металлургия”,1966.

6. Холлэнд Л. Нанесение тонких пленок в вакууме. М.-Л., Госэнергоиздат, 1963.

Контрольні запитання

1. Принцип роботи форвакуумного і дифузійного насосів.

2. На якому фізичному явищі грунтується робота сорбційних насосів?

3. Як впливає температура підкладки на швидкість конденсації і структуру плівок?

4. Що таке гомо- і гетероепітаксія?

5. Які є механізми конденсації?

6. Як приблизно розрахувати масу наважки, щоб одержати плівку певної товщини?

7. Яка послідовність включення вакуумної установки ВУП-4?

8. Для чого застосовують дискретне і вибухове випаровування?

9. Якими методами можна нагріти речовину до випаровування? Дати загальну характеристику кожного методу.