Будова і правила експлуатації вуп-4

ВУП-4 призначений для одержання тонких плівок методом термічного випаровування. Прилад складається із вакуумної та електричної стійок. У вакуумній стійці розміщенні вакуумна система, система напуску, розподільний щиток та електроживлення для термічного напилення. На стійці у верхній частині встановленний столик для вакуумного препарування (робочий об’єм). Справа від столику розташованні нахиленний і горизонтальний пульти керування. На похилому пульті встановленний індикатор напилення.

Всередині електричної стійки розташованні високовольтний випрямляч, який живить пристрій для іонного травлення, блок живлення нагрівача та охолоджувача. У верхній частині стійки змонтовані пульти керування.

Вакуумний пост ВУП-4 конструктивно оформлений у вигляді металевого зварного стола. У центрі на столі розташована кругла плита, на якій закріплені напилювальні пристрої.Через вакуумне ущільнення плита з’єднується зі скляним балоном, звідки за допомогою відкачувальних систем відкачується повітря і створюється необхідне розрідження. У задній частині стола – пульт керування та пристрої електроживлення вакуумного поста. Всередині стола (центральній частині) розташована вакуумна система приладу. Вона складається з розподільчого механізму, двох вакуумних насосів – попереднього та високого вакууму, вакууму трубопроводів, форвакуумного балона, вакуумної камери для суміші препаратів, засобів вимірювання вакууму. Всередині стола також розташовані понижувальні трансформатори для живлення термічних випарників, перемикачі та пускові реле механічного і парамасляного насосів. Стіл та електричні комунікації надійно заземлені.

Вакуумна система установки

Вакуумна система слугує для створення потрібного вакууму в робочому об’ємі. Вона складається з таких частин:

- робочий об’єм, в якому відбувається препарування об’єктів;

- високовакуумний насос з азотною і водяною пастками;

- насос попереднього вакууму;

- буферний балон;

- магнітні вентилі МВ1, МВ2, МВ3;

-термопарна манометрична лампа типу ПМТ-4М;

- іонізаційна лампа типу ПМИ-2.

Робочий об’єм (скляний балон) поста в процесі експлуатації потрібноперіодично сполучати з атмосферою і знову відкачувати до робочого розрідження. Необхідні для цього комутації у вакуумній системі проводяться за допомогою вакуумного розподільчого пристрою. Розподільчий пристрій – це система клапанів, що можуть відкриватися або зачинятися у певній послідовності і в певному наборі. Штурвал керування, що виведений на передню стінку стола, за допомогою карданної передачі з’єднується з розподільчим механізмом. Штурвал має чотири фіксовані положення, які відповідають повному робочому циклу вакуумної установки: повітря→форвакуум→високий вакуум→повітря. Кожному положенню відповідають наведені нижче комутації.

Положення “В” (Воздух). При такому положенні штурвала робочий об’єм з’єднується з атмосферою. Механічний насос проводить відкачування через форбалон із паромасляного насоса. Відкачна система від’єднана від робочого об’єму. Положення “ПВ” (Предварительный вакуум). Механічний насос під’єднується до робочого об’єму. Форбалон і паромасляний насос відключені від механічного насосу і робочого об’єму. Положення “ВВ” (високий вакуум). Відкачування робочого об’єму ведеться паромасляним насосом. Механічний насос відкачує форбалони. Положення “О”. Механічний насос від’єднується від форбалона, проводить відкачку в холостому режимі, система “робочий об’єм – паромасляний насос - форбалон” ізольована. Положення “О” необхідне для зупинки форвакуумного (механічного) насоса. Якщо зупинка буде довгою, обов’язково слід напустити повітря у механічний насос за допомогою додаткового крана.

З’єднання вакуумної камери для сушіння препаратів з механічним насосом проводиться окремим краном, що розташований у задній частині стола. При цьому штурвал вакуумного розподільчого механізму має перебувати у положенні “О”.

Вимірювання вакууму в робочому об’ємі та в комунікаційних трубопроводах здійснюється за допомогою термомонометричних ламп ПМИ-2 та ПМТ-4М.