Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

Курсовой - Разработка технологического процесса изготовления толстоплёночной ГИС / 7 Разработка технической документации на маршрут структуры и его нормирование

.doc
Скачиваний:
35
Добавлен:
02.05.2014
Размер:
155.14 Кб
Скачать

7 Разработка технической документации на маршрут структуры

Операция

Материал

Оборудование

Режимы

1

Контроль входного материала

Высокогли

ноземная керамика 22ХС

2

Разрезать в размер

Лазерная установка

3

Контроль размеров полученных подложек.

4

Шлейфование

Эмульсия

Dirasol 916

Шлейфовальный станок phoenix alpha & beta

Шероховатость 10 мкм.

Неплоскосность

0.5 мм на 25 мм

5

Контроль шероховатости и неплоскостности (Микроскоп ММУ-3).

6

Полирование

Эмульсия

Dirasol 916

Вибрационная полировальная машина vibromet® 2

шероховатость

3 мкм

Неплоскосность

0.2 мм на 25 мм

7

Контроль шероховатости и неплоскостности (Микроскоп ММУ-3).

8

Начистить

Ультразвуковая установка

Шероховатость

1 мкм

неплоскостность 0.1 мм на 25 мм

9

Контроль шероховатости и неплоскостности (Микроскоп ММУ-3).

10

Изготовить фотошаблоны

Полиэтилен, специальная краска

Печатная установка

11

Контроль точности соответствия с оригиналом с помощью ЭВМ.

12

Изготовление трафаретов для резистивных, проводящих паст, и контактных площадок

Бериллие

вая бронза

Установка лазерной резки LPKF SL 600 HS

D = 250 меш

d= 0.06

Точность позиционирования - ±1 мкм

Размер отверстия апертуры - ±0,00762мм.

13

Контроль размера отверстия апертуры, точности позиционирования, количества и диаметров отверстий (Микроскоп ММУ-3).

14

Изготовление трафаретов для защиты от нежелательно

го нанесения покрытия

Бериллие

вая бронза

Установка лазерной резки LPKF SL 600 HS

D = 250 меш

d= 0.06

15

Контроль размера отверстия апертуры, точности позиционирования, количества и диаметров отверстий (Микроскоп ММУ-3).

16

Изготовление трафаретов для диэлектричес

ких паст

Бериллие

вая бронза

Установка лазерной резки LPKF SL 600 HS

D = 165 меш

d= 0.1

17

Контроль размера отверстия апертуры, точности позиционирования, количества и диаметров отверстий (Микроскоп ММУ-3).

18

Изготовление ракеля

Резина

19

Контроль формы и жесткости.

20

Диспергирова

ние

21

Контроль отсутствия комочков и осадков.

22

Обезжирива

ние подложки

Раствори

тель

ванна

23

Контроль жирности подложки.

24

Промыть

вода

ванна

25

Контроль чистоты поверхности (Микроскоп ММУ-3)

26

Просушить

Сушильный шкаф

T= 5 мин

t= 50 0C

27

Контроль температуры и времени сушки.

28

Установка трафарета

Установка трафарет

ной печати

ПЦ-4048

L=0.2мм

29

Контроль расстояния трафарета от подложки, угла наклона.

30

Нанесение нижней обкладки конденсатора С1 и прилегающих проводников

Проводни

ковая паста

ПП-1

Установка трафарет

ной печати

ПЦ-4048

Р=10 Н

31

Контроль давления нанесения.

32

Сушка

Сушильный шкаф

T= 5 мин

t= 50 0C

33

Контроль температуры и времени сушки.

34

Вжигание паст

Конвейерная печь с кварцевым муфелемСК-10/16.6-5

1я зона t=250 0C

2я зона t=900 0C

35

Контроль температуры вжигания.

36

Установка трафарета

Установка трафарет

ной печати

ПЦ-4048

L=0.2мм

37

Контроль расстояния трафарета от подложки, угла наклона.

38

Нанесение диэлектрика конденсато

ра С1

Диэлектри

ческая изоляционная паста

ПК-12

Установка трафарет

ной печати

ПЦ-4048

Р=10 Н

39

Контроль давления нанесения.

40

Сушка

Сушильный шкаф

T= 5 мин

t= 50 0C

41

Контроль температуры и времени сушки

42

Вжигание диэлектрика конденсатора С1

Конвейерная печь с кварцевым муфелемСК-10/16.6-5

1я зона t=250 0C

2я зона t=900 0C

43

Контроль температуры вжигания.

44

Установка трафарета

Установка трафарет

ной печати

ПЦ-4048

L=0.2мм

45

Контроль расстояния трафарета от подложки, угла наклона.

46

Нанесение верхней обкладки конденсатора С1 и проводников

Проводни

ковая паста

ПП-2

Установка трафарет

ной печати

ПЦ-4048

Р=10 Н

47

Контроль давления нанесения.

48

Сушка

Сушильный шкаф

T= 5 мин

t= 50 0C

49

Контроль температуры и времени сушки.

50

Вжигание паст

Конвейерная печь с кварцевым муфелемСК-10/16.6-5

1я зона t=250 0C

2я зона t=900 0C

51

Контроль температуры вжигания.

52

Установка трафарета

Установка трафаретной печати

ПЦ-4048

L=0.2мм

53

Контроль расстояния трафарета от подложки, угла наклона.

54

Нанесение пасты для золотой контактной площадки VD1, VT1, VT2

Паста ПП-3

Установка трафаретной печати

ПЦ-4048

Р=10 Н

55

Контроль давления нанесения.

56

Сушка

Сушильный шкаф

T= 5 мин

t= 50 0C

57

Контроль температуры и времени сушки.

58

Вжигание паст

Конвейерная печь с кварцевым муфелемСК-10/16.6-5

1я зона t=250 0C

2я зона t=900 0C

59

Контроль температуры вжигания.

60

Установка трафарета

Установка трафарет

ной печати

ПЦ-4048

L=0.2мм

61

Контроль расстояния трафарета от подложки, угла наклона.

62

Нанесение паст резисторов R1, R2, R3, R4

Резистивная паста ПП-1

Установка трафаретной печати

ПЦ-4048

Р=10 Н

63

Контроль давления нанесения.

64

Сушка

Сушильный шкаф

T= 5 мин

t= 50 0C

65

Контроль температуры и времени сушки.

66

Вжигание резисторов

Конвейерная печь с кварцевым муфелемСК-10/16.6-5

1я зона t=250 0C

2я зона t=900 0C

67

Контроль температуры вжигания.

68

Подгонка резисторов

Автоматизирован

ная

лазерная установка «Кварц-5»

Точность = + 0.1%

69

Контроль точности подгонки.

70

Установка трафарета

Установка трафаретной печати

ПЦ-4048

71

Контроль расстояния трафарета от подложки, угла наклона.

72

Нанесение полимерного покрытия

ПД-1

Установка трафарет

ной печати

ПЦ-4048

73

Контроль точности нанесения покрытия.

74

Сушка

Сушильный шкаф

T= 5 мин

t= 50 0C

75

Контроль температуры и времени сушки.

76

Монтаж VT1, VT2, VD1

Клей ГК-102

77

Контроль точности установки элементов на контактные площадки.

78

Установка в корпус

79

Контроль точности установки.

80

Установка и обжим выводов

Алюминиевая проволока

Гидравлический пресс

81

Контроль точности установки.

82

Пайка выводов

Алюминие

вая проволока

Установка для термокомпрессион

ной сварки

T= 3с

t= 200 0C

83

Контроль температуры и времени пайки.

84

Герметизация

Камера с защитной атмосферой

85

Испытание

вода

Тестер, испытатель

ный стенд, ванна

86

Контроль режимов работы микросхемы, ее надежности, характеристик, герметичности.

87

Маркировать

88

Контроль правильности маркировки.

89

Упаковать

картон

Упаковочный автомат

90

Контроль качества упаковки, количества микросхем.