Курсовой - Разработка технологического процесса изготовления толстоплёночной ГИС / 7 Разработка технической документации на маршрут структуры и его нормирование
.doc7 Разработка технической документации на маршрут структуры
№ |
Операция |
Материал |
Оборудование |
Режимы |
1 |
Контроль входного материала
|
Высокогли ноземная керамика 22ХС |
|
|
2 |
Разрезать в размер |
|
Лазерная установка |
|
3 |
Контроль размеров полученных подложек. |
|||
4 |
Шлейфование |
Эмульсия Dirasol 916 |
Шлейфовальный станок phoenix alpha & beta |
Шероховатость 10 мкм. Неплоскосность 0.5 мм на 25 мм |
5 |
Контроль шероховатости и неплоскостности (Микроскоп ММУ-3). |
|||
6 |
Полирование |
Эмульсия Dirasol 916 |
Вибрационная полировальная машина vibromet® 2 |
шероховатость 3 мкм Неплоскосность 0.2 мм на 25 мм |
7 |
Контроль шероховатости и неплоскостности (Микроскоп ММУ-3). |
|||
8 |
Начистить |
|
Ультразвуковая установка |
Шероховатость 1 мкм неплоскостность 0.1 мм на 25 мм |
9 |
Контроль шероховатости и неплоскостности (Микроскоп ММУ-3). |
|||
10 |
Изготовить фотошаблоны |
Полиэтилен, специальная краска |
Печатная установка |
|
11 |
Контроль точности соответствия с оригиналом с помощью ЭВМ. |
|||
12 |
Изготовление трафаретов для резистивных, проводящих паст, и контактных площадок |
Бериллие вая бронза |
Установка лазерной резки LPKF SL 600 HS |
D = 250 меш d= 0.06 Точность позиционирования - ±1 мкм Размер отверстия апертуры - ±0,00762мм.
|
13 |
Контроль размера отверстия апертуры, точности позиционирования, количества и диаметров отверстий (Микроскоп ММУ-3). |
|||
14 |
Изготовление трафаретов для защиты от нежелательно го нанесения покрытия |
Бериллие вая бронза |
Установка лазерной резки LPKF SL 600 HS |
D = 250 меш d= 0.06
|
15 |
Контроль размера отверстия апертуры, точности позиционирования, количества и диаметров отверстий (Микроскоп ММУ-3). |
|||
16 |
Изготовление трафаретов для диэлектричес ких паст |
Бериллие вая бронза |
Установка лазерной резки LPKF SL 600 HS |
D = 165 меш d= 0.1
|
17 |
Контроль размера отверстия апертуры, точности позиционирования, количества и диаметров отверстий (Микроскоп ММУ-3). |
|||
18 |
Изготовление ракеля |
Резина |
|
|
19 |
Контроль формы и жесткости. |
|||
20 |
Диспергирова ние |
|
|
|
21 |
Контроль отсутствия комочков и осадков. |
|||
22 |
Обезжирива ние подложки |
Раствори тель |
ванна |
|
23 |
Контроль жирности подложки. |
|||
24 |
Промыть |
вода |
ванна |
|
25 |
Контроль чистоты поверхности (Микроскоп ММУ-3) |
|||
26 |
Просушить |
|
Сушильный шкаф |
T= 5 мин t= 50 0C |
27 |
Контроль температуры и времени сушки. |
|||
28 |
Установка трафарета |
|
Установка трафарет ной печати ПЦ-4048 |
L=0.2мм |
29 |
Контроль расстояния трафарета от подложки, угла наклона. |
|||
30 |
Нанесение нижней обкладки конденсатора С1 и прилегающих проводников |
Проводни ковая паста ПП-1 |
Установка трафарет ной печати ПЦ-4048 |
Р=10 Н |
31 |
Контроль давления нанесения. |
|||
32 |
Сушка |
|
Сушильный шкаф |
T= 5 мин t= 50 0C |
33 |
Контроль температуры и времени сушки. |
|||
34 |
Вжигание паст |
|
Конвейерная печь с кварцевым муфелемСК-10/16.6-5 |
1я зона t=250 0C 2я зона t=900 0C |
35 |
Контроль температуры вжигания. |
|||
36 |
Установка трафарета |
|
Установка трафарет ной печати ПЦ-4048 |
L=0.2мм |
37 |
Контроль расстояния трафарета от подложки, угла наклона. |
|||
38 |
Нанесение диэлектрика конденсато ра С1 |
Диэлектри ческая изоляционная паста ПК-12 |
Установка трафарет ной печати ПЦ-4048 |
Р=10 Н |
39 |
Контроль давления нанесения. |
|||
40 |
Сушка |
|
Сушильный шкаф |
T= 5 мин t= 50 0C |
41 |
Контроль температуры и времени сушки |
|||
42 |
Вжигание диэлектрика конденсатора С1 |
|
Конвейерная печь с кварцевым муфелемСК-10/16.6-5 |
1я зона t=250 0C 2я зона t=900 0C |
43 |
Контроль температуры вжигания. |
|||
44 |
Установка трафарета |
|
Установка трафарет ной печати ПЦ-4048 |
L=0.2мм |
45 |
Контроль расстояния трафарета от подложки, угла наклона. |
|||
46 |
Нанесение верхней обкладки конденсатора С1 и проводников |
Проводни ковая паста ПП-2 |
Установка трафарет ной печати ПЦ-4048 |
Р=10 Н |
47 |
Контроль давления нанесения. |
|||
48 |
Сушка |
|
Сушильный шкаф |
T= 5 мин t= 50 0C |
49 |
Контроль температуры и времени сушки. |
|||
50
|
Вжигание паст |
|
Конвейерная печь с кварцевым муфелемСК-10/16.6-5 |
1я зона t=250 0C 2я зона t=900 0C |
51 |
Контроль температуры вжигания. |
|||
52 |
Установка трафарета |
|
Установка трафаретной печати ПЦ-4048 |
L=0.2мм |
53 |
Контроль расстояния трафарета от подложки, угла наклона. |
|||
54 |
Нанесение пасты для золотой контактной площадки VD1, VT1, VT2 |
Паста ПП-3 |
Установка трафаретной печати ПЦ-4048 |
Р=10 Н |
55 |
Контроль давления нанесения. |
|||
56 |
Сушка |
|
Сушильный шкаф |
T= 5 мин t= 50 0C |
57 |
Контроль температуры и времени сушки. |
|||
58 |
Вжигание паст |
|
Конвейерная печь с кварцевым муфелемСК-10/16.6-5 |
1я зона t=250 0C 2я зона t=900 0C |
59 |
Контроль температуры вжигания. |
|||
60 |
Установка трафарета |
|
Установка трафарет ной печати ПЦ-4048 |
L=0.2мм |
61 |
Контроль расстояния трафарета от подложки, угла наклона. |
|||
62 |
Нанесение паст резисторов R1, R2, R3, R4 |
Резистивная паста ПП-1 |
Установка трафаретной печати ПЦ-4048 |
Р=10 Н |
63 |
Контроль давления нанесения. |
|||
64 |
Сушка |
|
Сушильный шкаф |
T= 5 мин t= 50 0C |
65 |
Контроль температуры и времени сушки. |
|||
66 |
Вжигание резисторов |
|
Конвейерная печь с кварцевым муфелемСК-10/16.6-5 |
1я зона t=250 0C 2я зона t=900 0C |
67 |
Контроль температуры вжигания. |
|||
68 |
Подгонка резисторов |
|
Автоматизирован ная лазерная установка «Кварц-5» |
Точность = + 0.1% |
69 |
Контроль точности подгонки. |
|||
70 |
Установка трафарета |
|
Установка трафаретной печати ПЦ-4048 |
|
71 |
Контроль расстояния трафарета от подложки, угла наклона. |
|||
72 |
Нанесение полимерного покрытия |
ПД-1 |
Установка трафарет ной печати ПЦ-4048 |
|
73 |
Контроль точности нанесения покрытия. |
|||
74 |
Сушка |
|
Сушильный шкаф |
T= 5 мин t= 50 0C |
75 |
Контроль температуры и времени сушки. |
|||
76 |
Монтаж VT1, VT2, VD1 |
Клей ГК-102 |
|
|
77 |
Контроль точности установки элементов на контактные площадки. |
|||
78 |
Установка в корпус |
|
|
|
79 |
Контроль точности установки. |
|||
80 |
Установка и обжим выводов |
Алюминиевая проволока |
Гидравлический пресс |
|
81 |
Контроль точности установки. |
|||
82 |
Пайка выводов |
Алюминие вая проволока |
Установка для термокомпрессион ной сварки |
T= 3с t= 200 0C |
83 |
Контроль температуры и времени пайки. |
|||
84 |
Герметизация |
|
Камера с защитной атмосферой |
|
85 |
Испытание |
вода |
Тестер, испытатель ный стенд, ванна |
|
86 |
Контроль режимов работы микросхемы, ее надежности, характеристик, герметичности. |
|||
87 |
Маркировать |
|
|
|
88 |
Контроль правильности маркировки. |
|||
89 |
Упаковать |
картон |
Упаковочный автомат |
|
90 |
Контроль качества упаковки, количества микросхем. |