Скачиваний:
22
Добавлен:
02.05.2014
Размер:
26.62 Кб
Скачать

Министерство образования Республики Беларусь

Минский государственный политехнический колледж

Специальность 2-41-01-02-32 «Микроэлектроника»

Предмет: «Технология производства полупроводниковых

приборов и изделий микроэлектроники»

Курсовой проект

Разработка технологического процесса изготовления толстоплёночной ГИС

Пояснительная записка

КП 10В3.23.00.00.000 ПЗ

Разработал М.М.Тихон

Руководитель Т. Ф. Деревянко