1.Введение.
Развитие научно-технического прогресса, важнейшими направлениями которого являются создание и освоение принципиально новой техники и технологии, автоматизация и механизация производства привело к необходимости всесторонней интенсификации экономики. В частности, развития вакуумной техники, оказывающей определяющее влияние на создание и производство изделий все более широко используемой во многих отраслях промышленности. Вследствие этого к вакуумному оборудованию предъявляются повышенные требования, разнообразный и меняющийся диапазон значений которых обуславливает необходимость модернизации и разработки новых конструкций его элементной базы.
2.Анализ вакуумных систем.
Вакуумная система представляет собой совокупность средств откачки, соединительных вакуумпроводов, ловушек, запорно-регулирующей арматуры, манометрических преобразователей и других элементов, необходимых для создания и поддержания требуемой степени разрежения в объеме может быть выполнено вакуумной системой, если будет обеспечена достаточная герметичность, прочность и устойчивость элементов, хороший доступ к внутренним узлам отдельных элементов (разборность их конструкций).
Среди большого разнообразия вакуумных систем, используемых в производстве и научных исследованиях, можно выделить несколько типовых, предназначенных для получения низкого(давление 105…102 Па), среднего(давление 102…10−1 Па),высокого(давление 10−1…10−5 Па) и сверхвысокого вакуума(давление 10−5 Па и ниже).
Все многообразие существующих вакуумных систем можно классифицировать:
-
по величине создаваемых предельных разрежений на вакуумные системы низкого, высокого и сверхвысокого вакуума;
-
по виду основных средств откачки на вакуумные системы с диффузионными, турбомолекулярными, магниторазрядными и другими насосами;
-
по виду материалов, используемых для изготовления основных элементов, на металлические и стеклянные вакуумные системы;
-
по распределению давления в системе на динамические и статические вакуумные системы.
Динамическая вакуумная система характеризуется неравномерным распределением давления в различных ее частях, причем перепад давления тем больше, чем дальше от средств откачки расположен данный элемент системы. Примером такой системы может служить практически любая промышленная или экспериментальная вакуумная установка.
Для статической вакуумной системы характерно равномерное распределение давления во всех ее элементах. Типичным примером статической системы является отпаянный электровакуумный прибор с собственными средствами измерения давления. Условия статической системы можно получить и в динамической системе, если отсечь ее от средств откачки и выдержать до установления равновесного давления.
2.1 Схема вакуумной системы.
Рис. 1. Схема вакуумной системы
Описание: 1 – вакуумная камера; 2 – затвор; 3 – высоковакуумный насос; 4 – низковакуумный насос; 5,6 – клапаны;7 – низковакуумный датчик; 8- высоковакуумный датчик.