4.Выбор элементов вакуумной системы.

Вакуумная система от турбомолекулярного насоса до вакуумной камеры имеет два элемента: клапан и манометрический преобразователь.

В качестве клапана выбираем равнопроходный КВУМ – 40Л, с диаметром условного прохода D_y = 40.

Вакуумные клапаны с электромагнитным приводом типа КВУМ-40 предназначены для герметичного перекрытия вакуумных систем в диапазоне давлений от 1х10²⁵ до 1,07х10⁵ Па (7,5х10⁷⁸ до 800 мм рт.ст.) на трубопроводах для воздуха и неагрессивных газов.     Температура окружающей среды от 1 до 40°С. Под действием возникающего магнитного поля катушки якорь втягивается, преодолевая усилие пружины, и поднимает заслонку. Клапан закрывается пружиной при прекращении подачи тока в цепь катушки электромагнита. Открытие и закрытие клапана дистанционное.

Технические характеристики

Табл.3

Проводимость (теоретическая) в молекулярном режиме, л/с, не менее	470
Диаметр условного прохода	40
Наибольшая величина натекания л Па/с , не более	1х10-7
Потребляемый ток, в открытом состоянии А, не более	0,35
Время открывания (закрывания) с, не более	0,8
Габаритные размеры (высота/длина/ширина) мм, не более	450/200/102
Масса, кг, не более	10
Средний ресурс до капитального ремонта, цикл, не менее	60000
Продолжительность включения, %	100

В качестве манометрического преобразователя выбираем ПММ -32-1

Преобразователь манометрический ПММ-32-1 предназначен для преобразования сигнала давления в электрический сигнал в диапазоне от 1х10^-7 до 10,3 Па (от 7,5х10^-10 до 1х10^-1  мм.рт.ст.).Преобразователь представляет собой магнитный электроразрядный датчик с холодным катодом инверсно-магнетронного типа.

Преобразователь применяется в качестве датчика в вакуумметрах ВМБ-8, ВМЦБ-12 и ВМБ-14 в режимах электропитания этих вакуумметров.

Рабочий режим преобразователя:

- напряжение на аноде (2500±60)В;

- балластное сопротивление в цепи анод преобразователя-выпрямитель (1,1 ±0,01) МОм;

- катод соединен со входом усилителя постоянного тока и находится под нулевым потенциалом;

- магнитная индукция в центре зазора магнитной системы (катода) (0,11 ±0,005) Тл. В процессе эксплуатации допускается снижение магнитной индукции в центре зазора магнита до 0,1 Тл.

При применении преобразователя в комплекте вакуумметров, в которых использованы анодные напряжения и балластные сопротивления, отличающиеся от вышеприведенных, отсчет давления производится по градуировочным характеристикам этих вакуумметров.

Сопротивление изоляции преобразователя:

- между вводом катода (коллектор ионов) и корпусом не менее 1х10¹⁰ Ом;

- между вводом анода и корпусом не менее 1х10¹¹ Ом.

Относительная погрешность измерения давления преобразователем при температуре от 10 до 35°С находится в пределах от минус 25 до + 50% в диапазоне 1,0х10^-7 до 1,3х10^-1 Па (от 7,5х10^-3 до 1х10^-3 мм.рт.ст.) и от минус 40 до + 80% в диапазоне 1,3х10^-1 до 1,3 Па (от 1х10^-3 до 1х10^-2 мм.рт.ст.).

При работе при повышенных температурах (до 200°С) погрешность измерения в диапазоне от 1,3х10^-5 до 1,3х10^-1 Па (от 1х10^-7 до 1х10^-3 мм.рт.ст.) находится в пределах от минус 50 до + 100%, в диапазонах от 1,3х10^-7 до 1,3х10^-5 Па (от 1х10^-9 до 1х10^-7 мм.рт.ст.) и от 1,3х10^-1 до 1,3 Па (от 1х10^-3 до 1х10^-2 мм.рт.ст.) погрешность не нормируется.

Рабочее положение преобразователя - любое.

Предельно допустимые значения обезгаживания:

- температура прогрева преобразователя не более 350°С ± 10СС;

- давление в вакуумной системе при прогреве не более 1,3х10^-2 Па (1х10^-4 мм.рт.ст.).

Преобразователь к вакуумной установке присоединяется фланцевым соединением Ду50 7.150.004 с медной прокладкой.

Вакуумная система от пластинчато-роторного насоса до вакуумной

камеры имеет шесть элементов: два колена, два клапана, тройник и манометрический преобразователь.

В качестве клапана выбираем КВУМ, с диаметром условного прохода D_y = 40. Вакуумные клапаны с электромагнитным приводом типа КВУМ-40 предназначены для герметичного перекрытия вакуумных систем в диапазоне давлений от 1х10^-5 до 1,07х10⁵ Па (7,5х10^-8 до 800 мм рт.ст.) на трубопроводах для воздуха и неагрессивных газов.     Температура окружающей среды от 1 до 40°С. Под действием возникающего магнитного поля катушки якорь втягивается, преодолевая усилие пружины и поднимает заслонкую Клапан закрывается пружиной при прекращении подачи тока в цепь катушки электромагнита. Открытие и закрытие клапана дистанционное. Клапаны КВУМ-40 работают совместно с устройством управления клапаном УУК-1.

Технические характеристики

Табл.4

Проводимость (теоретическая) в молекулярном режиме, л/с, не менее	14,2
Диаметр условного прохода	25
Наибольшая величина натекания л Па/с , не более	1х10-7
Потребляемый ток, в открытом состоянии А, не более	0,35
Время открывания (закрывания) с, не более	0,1
Габаритные размеры (высота/длина/ширина) мм, не более	185/85/26,2
Масса, кг, не более	1,9
Средний ресурс до капитального ремонта, цикл, не менее	60000
Продолжительность включения, %	100

В качестве манометрического преобразователя выбираем VSP62MV Вакуумметр низкого и среднего вакуума VSP62MV предназначен для измерения абсолютного давления в диапазоне от 1 атм до 1х10^-4 мбар (торр), и основан на новом, запатентованном принципе измерения вакуумного давления. Эти улучшения, хорошо зарекомендовавшего себя при измерении вакуума с помощью вакуумного датчика Пирани, привели к увеличению

диапазона измерения и более высокой точности измерений. Температурно-компенсированный вакуумметр VSP62MV отличает высокая повторяемость результатов измерений, надежный металлический корпус, небольшие размеры. Вакуумный датчик имеет логарифмический выходной сигнал 0-10В прямого тока.