Добавил:
Upload Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:
ПЗ ПСО.doc
Скачиваний:
3
Добавлен:
28.10.2018
Размер:
584.19 Кб
Скачать

Заключение:

В данной работе проведены расчеты вакуумной системы установки магнетронного нанесения покрытия, провела анализ устройства вакуумной системы.

Приведена принципиальная схема всей установки с указанием основных элементов.

Произведены расчеты минимальной скорости откачки. По результатам расчетов произведен выбор насосов турбомолекулярного и пластинчато-роторного нососов.

Были определены конструктивные размеры элементов вакуумной системы.

Приводится расчет герметичности фланцевого соединения.

В курсовом проекте приводится чертеж основных блоков установки в вакуумной камере.

Тут вы можете оставить комментарий к выбранному абзацу или сообщить об ошибке.

Оставленные комментарии видны всем.

Соседние файлы в предмете [НЕСОРТИРОВАННОЕ]