Заключение:

В данной работе проведены расчеты вакуумной системы установки магнетронного нанесения покрытия, провела анализ устройства вакуумной системы.

Приведена принципиальная схема всей установки с указанием основных элементов.

Произведены расчеты минимальной скорости откачки. По результатам расчетов произведен выбор насосов турбомолекулярного и пластинчато-роторного нососов.

Были определены конструктивные размеры элементов вакуумной системы.

Приводится расчет герметичности фланцевого соединения.

В курсовом проекте приводится чертеж основных блоков установки в вакуумной камере.