О г л а в л е н и е

Предисловие . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3

Введение . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5

Глава 1. Механические свойства и переработка полимеров в изделия . . . . . . . . . 8

1.1. Деформационные характеристики полимеров

и их связь со строением макромолекул . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . -

1.1.1. Температурные характеристики полимеров. Методы

определения температурных границ физических

состояний полимеров . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12

1.1.2. Деформация полимерных тел в

высокоэластическом состоянии . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16

1.1.3. Деформационные характеристики аморфных и

аморфно-кристаллических полимеров в

стеклообразном состоянии . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22

1.2. Прочностные свойства полимерных тел . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 25

1.2.1. Общая характеристика процессов разрушениря

полимерных тел. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 26

1.2.2. Зависимость прочности от различных факторов.

Ориентированное состояние полимеров. . . . . . . . . . . . . . . . . 28

1.3. Краткие сведения о переработке полимеров в изделия. . . . . . . . . . 35

Глава 2. Полимеры в микроэлектронике. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 44

2.1. Полимерные резисты. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . -

2.1.1. Процессы микролитографии, основанные на

позитивных резистах. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 52

2.1.1.1. Позитивные резисты на основе феноло-

формальдегидных смол. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . -

2.1.1.2. Позитивные резисты на основе фотодеградируемых полимеров . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 54

2.1.1.3. Позитивные резисты, основанные на принципе

химического усиления изображения . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 57

2.1.2. Негативные резисты . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 64

2.2. Использование полимеров в других разделах

микроэлектроники . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 68

Глава 3. Полимерные сорбенты и носители . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 71

3.1. Классификация полимерных носителей . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 72

3.2. Синтез полимерных носителей . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 81

3.2.1. Синтез носителей с формированием их

микроструктуры в процессе полимеризации . . . . . . . . . . . . . . . . . . 82

3.2.2. Введение функциональных групп в полимерную

матрицу . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 85

3.2.3. Получение носителей сшивкой сформированных макромолекул . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 88

3.3. Некоторые примеры использования полимерных

носителей в практике . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . -

3.3.1. Синтез пептидов на полимерных носителях . . . . . . . . . . . . . 89

3.3.2. Полимерные реагенты в синтезе пептидов . . . . . . . . . . . . . . . 93

3.3.3. Полимерные реагенты в органическом синтезе . . . . . . . . . . . 94

3.3.4. Другие примеры использования полимерных

носителей . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 95