- •ТЕРМИНЫ И ОПРЕДЕЛЕНИЯ
- •5.2 СТРУКТУРА КРИСТАЛЛОВ
- •5.2.1 Кристаллическая решетка
- •5.2.1.1 Примитивная элементарная ячейка
- •5.2.1.3 Векторы и плоскости решетки. Индексы Вейса и Миллера.
- •5.2.1.4 Сингонии, решетки Браве, кристаллографические классы
- •5.2.1.5 Базис. Ячейки с базисом
- •5.2.1.6 Некоторые полезные примеры элементарных ячеек
- •5.2.1.7 Заключительные замечания
- •5.2.2 Обратное пространство, обратная решетка
- •5.2.2.1 Построение обратной решетки гранецентрированного куба
- •5.2.2.2 Заключение
- •5.2.3 Дифракция волн на кристаллической решетке
- •5.2.3.1 Излучения, используемые для дифракционных исследований
- •5.2.3.2 Дифракция волн
- •5.2.3.4 Некоторые моменты, существенные для дальнейшего
- •5.2.3.5 Построение Эвальда
- •5.2.3.6 Зона Бриллюэна
- •5.3 НЕКОТОРЫЕ СВЕДЕНИЯ ИЗ КВАНТОВОЙ МЕХАНИКИ
- •5.3.1 Волновая функция
- •5.3.2 Система и подсистема
- •5.3.3 Стационарное состояние
- •5.3.4 Электронная и ионная подсистемы в кристалле
- •5.4 ОДНОЭЛЕКТРОННАЯ ЗОННАЯ МОДЕЛЬ ТВЕРДОГО ТЕЛА
- •5.4.1 Основные характеристики электронных состояний
- •5.4.1.1 Волновая функция
- •5.4.1.2 Разрешенные и запрещенные энергетические зоны
- •5.4.1.4 Приведенная зонная схема кристалла, зона Бриллюэна
- •5.4.1.5 Квантование разрешенных состояний, число состояний, плотность состояний
- •5.4.1.6 Импульс и скорость электрона. Эффективная масса
- •5.4.1.7 Распределение Ферми, энергия Ферми
- •5.4.1.8 Дырки, дырочные состояния
- •5.4.2 Металлы, полупроводники, диэлектрики
- •5.5 КОЛЕБАНИЯ В КРИСТАЛЛАХ, ФОНОНЫ
- •5.5.1 Теплоемкость диэлектриков, квантование колебаний
- •5.5.2 Фононы, нормальные колебания, законы дисперсии
- •5.5.3 Акустические и оптические фононные ветви
- •5.5.4 Заключительные замечания
- •5.6 ЭЛЕКТРОННЫЕ СОСТОЯНИЯ В ПОЛУПРОВОДНИКАХ
- •5.6.1 Собственные состояния. Законы дисперсии
- •5.6.2 Энергетическая диаграмма полупроводника
- •5.6.3 Дефекты кристалла. Локальные состояния
- •5.6.3.1 Дефекты в объеме
- •5.6.3.2 Поверхностные состояния
- •5.6.4 Заключительные замечания
- •5.7 СТАТИСТИКА НОСИТЕЛЕЙ ЗАРЯДА В ПОЛУПРОВОДНИКАХ
- •5.7.1 Статистика электронов в собственном полупроводнике
- •5.7.1.1 Концентрация носителей
- •5.7.1.2 Средние энергия, скорость и волновой вектор носителей
- •5.7.1.3 Положение уровня Ферми в собственном полупроводнике
- •5.7.1.4 Закон действующих масс
- •5.7.1.5 Эффективная масса плотности состояний
- •5.7.2 Статистика электронов в примесном полупроводнике
- •5.7.2.1 Концентрация зарядов на простых локалных центрах
- •5.7.2.2 Полупроводник с одним типом примеси
- •5.7.2.3 Частично компенсированные полупроводники.
GaAs, то добавление непрямых, менее интенсивных, сказывается уже не столь существенно.
Итак, возможны два принципиально различных типа зонной структуры полупроводников. Положения экстремумов зон либо совпадают в k-пространстве, либо нет. Первые называются ПРЯМОЗОННЫМИ, вторые
МНОГОДОЛИННЫМИ.
В многодолинных полупроводниках поверхности постоянной энергии – эллипсоиды, т.е. эффективные массы для движения электронов близ дна с-зоны в различных направлениях различаются. В Si – примерно в пять раз, в Ge – почти в двадцать!
Экстремумы валентных зон расположены в центре зоны Бриллюэна. Но они здесь вырождены и при отклонении от центра, при увеличении энергии дырок (на рисунках отсчитывается вниз от экстремума) расщепляются на две, существенно различающихся по крутизне зависимости Е(p), т.е. и по эффективной массе, и по плотности состояний. В более "плоской" зоне больше плотность состояний и концентрация дырок, но у них больше эффективная масса и подвижность.
а)
kx
kz |
б) |
k 110 |
в) |
107 |
k 001 |
|
k 111 |
||||||
|
ky |
k 111 |
|
|
|
k 110 |
|
|
|
|
|
107 |
|
|
|
|
|
|
|
k 001 |
k 011 |
|
Рис. 5.6.4. Изоэнергетические поверхности в v-зоне Si.
а – v-зона легких дырок; б – v-зона тяжелых дырок, слева — для большей, справа — для меньшей энергии; в – сечения поверхностей тяжелых дырок плоскостью, содержащей ось z и диагональ xy.
Следует раздельно рассматривать зоны легких (с более крутым законом дисперсии) и тяжелых дырок. Их эффективные массы различаются в Si – втрое, в Ge – почти в семь раз. Формы изоэнергетических поверхностей Si представлены на рис. 5.6.4.
5.6.2Энергетическая диаграмма полупроводника
Определившись в параметрах собственных состояний, мы можем в дальнейшем не возвращаться лишний раз к законам дисперсии, но использовать усредненные характеристики при расчетах энергетического распределения и параметров носителей. В первую очередь нам нужно
88
будет знать величины приведенных масс и (или) подвижность и плотность состояний. Но кроме того при наличии любого внешнего воздействия важно и распределение его влияния по глубине образца. Поэтому энергетическую структуру будет удобнее изображать так, как показано на рис. 5.6.5.
E |
E |
|
E |
0 |
|
|
|
|
AЕс |
с-зона |
Dc |
|
ФT |
Eg |
F |
|
Фph Ev |
|
|
k |
|
x |
|
|
|
v-зона |
Dv |
|
|
|
|
а |
б |
|
в |
Рис. 5.6.5. Упрощенное изображение энергетической диаграммы полупроводника: а – в k-пространстве; б – в координатном пространстве; в – зависимость плотности состояний в зонах Dc и Dv от энергии.
Здесь показаны 3 варианта отображения основных параметров струкуры. Во всех случаях нас будут интересовать только состояния близ потолка валентной зоны и дна зоны проводимости. Отображение зависимости E(k) показывает относительное расположение экстремумов v- и с-зон, а также – стуктуру v-зоны. В данном случае она состоит из двух подзон с разными эффективными массами.
В бльшинстве случаев мы будем рассматривать тепловое возбуждение носителей, так что зависимость E(k) будет не принципиальна, но принципиален ход потенциала в пространстве. Тогда удобна схема рис. 5.6.5б, где показана поверхность кристалла и основные энергетические параметры:
–потенциальная энергия электронов в вакууме принята за ноль,
–Ec и Ev – энергии краев зон,
–F – уровень Ферми,
–Еg – ширина запрещенной зоны,
–А – величина сродства кристалла к электрону,
–Фph и ФT – фото- и термоэлектрическая работы выхода.
На рис. 5.6.5в отображена та же шкала энергий электронов, но по оси абсцисс отложены плотности состояний.
89