- •5. Проводящие материалы
- •7.Проводящая разводка ис на основе меди.
- •16.Формирование примеси в монокристаллическом кремнии.
- •17.Микродефекты монокристаллического кремния.
- •27. Применение мкр Si
- •28. Получение мкр Si
- •29. Свойства мкр Si
- •30.Применение гетероструктур на основе эпитаксиальных слоев Si-Ge.
- •31.Формирование эритксиальных слоев SiGe.
- •32.Проблемы кремниевой оптоэлектроники.
- •33.Светоизлучающие структуры на основе Si легированного эрбием.
- •34.Методы получения кремния легированного эрбием.
- •35. Люминисценция в системе Si-эрбий
- •41. Свойства SiC
- •42. Получение SiC
- •43. Применение Проводников a3b5.
- •44. Свойства п/п типа a3b5.
- •45. Свойства и получение монокристаллов GaAs.
- •46. Свойства GaN
- •47. Получение GaN
- •48. Применение полупроводников типа a2b6
- •50. Применение термоэлектрических Материалов
- •51 Термоэлектрические материалы
- •52. Cовременные Тенденции в области термоэлектричества.
- •53 Классификация диэлектрических материалов
- •54 Стекла.
- •55. Строение стекол.
- •57 Функции пассивных диэлектриков в микроэлектронике.
- •59. Свойства Керамических материалов.
- •60.Технология керамических материалов.
- •63. Ксерогель и аэроргель
- •69.Применение проводящих полимерных пленок в микроэлектронике.
53 Классификация диэлектрических материалов
Диэлектрики - вещества, плохо проводящие электрический ток. Термин "диэлектрик" введен Фарадеем для обозначения веществ, в которые проникает электрическое поле.
Электропроводность диэлектриков по сравнению с металлами очень мала. Их удельное электрическое сопротивление р > 108-109 Ωсм. Основным электрическим свойством диэлектриков является способность к поляризации, в них возможно существование электростатического поля.
К диэлектрикам относят вещества, у которых ширина запрещенной зоны Ем > 3 эВ. Электроны под действием обычных (не слишком сильных) электрических полей преодолеть ее не могут. Действие электрического поля сводится к перераспределению электронной плотности, что приводит к поляризации.
Механизмы поляризации диэлектриков различны и зависят от характера химических связей. В ионных кристаллах (например NaCl) поляризация является результатом сдвига ионов друг относительно друга (ионная поляризация) и деформации электронных оболочек отдельных ионов (электронная поляризация). В кристаллах с ковалентной связью (например алмаз) поляризация обусловлена смещением электронов, осуществляющих химическую связь.
По функциям, выполняемым в приборах электронной техники, диэлектрики можно разделить на пассивные и активные.
Пассивные - это электроизоляционные и конденсаторные материалы. Электроизоляционные диэлектрики используют для создания электрической изоляции, которая окружает токоведущие части электрических устройств и отделяет друг от друга элементы схем, находящиеся под различными электрическими потенциалами.
Пассивные неорганические диэлектрики, применяемые в микроэлектронике, представляют собой очень большой класс материалов, который можно разделить на стекловидные диэлектрики, керамику, монокристаллические диэлектрические материалы.
Активные диэлектрики - это материалы, свойствами которых можно управлять в широком диапазоне с помощью внешних энергетических воздействий и использовать эти воздействия для создания функциональных элементов электроники. Таким внешним воздействием может быть электрическое поле, механическое усилие, излучение, тепло.
К числу активных диэлектриков относят свгнето-, пьеэо- и пироэлек-трики; электреты; материалы для квантовой электроники; жидкие кристаллы; электро-, магнито- и акустооптические материалы; диэлектрические кристаллы с нелинейными оптическими свойствами и др. По строению и свойствам их можно подразделить на кристаллические и аморфные, полярные и неполярные диэлектрики.
Активные диэлектрики позволяют осуществить генерацию, усиление, модуляцию электрических и оптических сигналов, запоминание или преобразование информации. Резкой границы, однако, между активными и пассивными диэлектриками не существует. Один и тот же материал в различных условиях эксплуатации может выполнять либо пассивные функции изолятора или конденсатора, либо активные функции управляющего или преобразующего элемента.
Стекловидные диэлектрические материалы
Среди пассивных диэлектриков наиболее важными в практическом отношении являются стекловидные диэлектрические материалы: стекло, ситаллы, ситаллоцементы и композиционные материалы на основе стеклянной матрицы и неорганического наполнителя.