2.3 Конструктивные особенности станка 16в4р.

Станок 16В4Р (Рис 13) разработан фирмой SPEED FAM Corp (США) и предназначен для полирования круглых заготовок из аллюминия, применяемых в производстве устройств записи-считывания (“винчестеров”). Основной причиной, определяющей невозможность прямого использования оборудования данного типа в производстве пластин кремния является то, что станки не снабжены системой водоохлаждения полировальных столов. Т.к. при проведении процессов

ХМП необходимо поддерживать с достаточно высокой точностью температуру в зоне полирования и при этом процесс ХМП является экзотермическим, т.е. проходит с выделением тепла, то отсутствие системы отвода тепла будет приводить к неконтролируемому росту температуры и в конечном итоге к неравномерному съему и травлению поверхности обрабатываемых пластин кремния.

Основные технические характеристики станка:

1. Параметры обрабатываемых пластин, мм:

максимальный диаметр 350;

максимальная толщина 30.

2. Параметры верхней и нижней плит станка:

внешний диаметр, мм 1030;

внутренний диаметр, мм 223;

толщина, мм 30;

максимальный собственный вес, кг 315.

3. Параметры внутреннего венца (внешнее зацепление):

модуль 12;

число зубьев 96;

диаметр делительной окружности, мм 203.2;

механизм вертикального перемещения отсутст.

4. Параметры внешнего венца (внутреннее зацепление):

Модуль 12;

Число зубьев 496;

Диаметр делительной окружности, мм 1049.2;

Механизм вертикального перемещения имеется.

5. Параметры сепараторов и правильных колец:

модуль 12;

число зубьев 200;

диаметр делительной окружности, мм 423.34;

количество гнезд в сепараторе, шт

для пластин 200 и 300 1;

для пластин 150 3;

для пластин 100 6;

максимальный объем загрузки сепараторов и правильных колец, шт 4.

6. Диапазон скоростей вращения нижней плиты,

об/мин 4-52.

7. Направление вращения:

нижней плиты против часовой стрелки;

верхней плиты по часовой стрелке;

внешнего венца против часовой стрелки;

внутреннего венца против часовой стрелки,

8. Торцевое биение нижней плиты, мкм:

30-40.

9. Уклон нижней плиты, мм/мм, не более:

0.02/1000.

10. Параметры напряжения питания:

номинал, В 220;

частота, Гц 50;

количество фаз 3.

11. Параметры воды для гидросистемы:

деионизованная вода.

12. Параметры сжатого воздуха на входе пневмосистемы:

давление, кг/см² 5-6;

расход, нл/мин 25;

максимальное давление воздуха, кг/см² 9.

13. Габариты (длина х ширина х высота), мм:

2250 х 1530 х 2820.

14. Вес, нетто, кг 4600.

35