Добавил:
Upload Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

Лебедев А.И. Физика полупроводниковых приборов

.pdf
Скачиваний:
597
Добавлен:
28.03.2015
Размер:
41.31 Mб
Скачать

472

 

 

Список литературы

 

 

229.Shockley

W. / /

Bell

Syst. Techn. J. 1954. V.33.

P. 799;

Shock-

ley W. -

US

Patent

2,794,917 (1957), приоритет

от 27

января

1953 г.

 

 

 

 

 

230. Read W.Т. - US Patent 2,899,652 (1959), приоритет от 24 июня 1954 г.; Read W.Т. 11 Bell Syst. Techn. J. 1958. V. 37. P. 401.

231. Тагер А. С., Вальд-Перлов B.M. Лавинно-пролетные диоды и их применение в технике СВЧ. — М.: Сов. радио, 1968. - 480 с.

232. Тагер А.С., Мельников A.M., Кобельков Г.П., Цебиев A.M. —

Диплом на открытие № 24, приоритет от 27 октября 1959 г.

233. Gilden M.t Hines М.Е. / /

IEEE Trans. Electron Devices. 1966

 

V. ED-13. P. 169.

 

 

 

 

 

234. Misawa T. / /

IEEE Trans. Electron Devices. 1966. V. ED-13. P. 137.

235.

Misawa T. / /

IEEE Trans. Electron Devices. 1967. V. ED-14. P. 795.

236.

Mishra J.K., Panda A.K.,

Dash G.N. //

IEEE Trans, Electron De-

 

vices. 1997. V. ED-44. P. 2143,

 

 

 

237. Scharfetter D.L., Gummel H.K, / /

IEEE Trans. Electron

Devices.

 

1969. V. ED-16. P. 64.

 

 

 

 

238.

Seidel Т.Е. -

US

Patent

3,466,512

(1969), приоритет от

29 мая

 

1967 г.

 

 

 

 

 

 

239. Шухостанов А.К. Лавинно-пролетные

диоды. Физика, техноло-

 

гия, применение. -

М.: Радио и связь,

1997. - 208 с.

 

240.

Vassilevski К. V., Zorenko А. V.,Zekentes К. / / Electron. Lett. 2001.

 

 

V. 37. P. 466.

 

 

241.

Yuan L., Cooper J.A.,

Melloch M.R.,

WebbK.J. 11 IEEE Electron

 

 

Device Lett. 2001. V. 22. P. 266.

 

242.

 

Culshaw B. // Electron. Lett., V. 10. P. 143 (1974).

243.

Ino M., Jshibashi Т.,

Ohmori M. Ц

Electron. Lett. 1976. V. 12.

 

 

P. 148.

 

 

244.

Riiegg H. W. / / IEEE

Trans. Electron Devices. 1968. V. ED-15.

P.577.

245.Wright G.Т. // Electron. Lett. 1968. V. 4. P. 543.

246.

ColemanD.J., Sze S.M. / /

Bell Syst. Techn. J. 1971. V. 50. P. 1695.

247.

Sze S.M., Coleman D.J.,

Loya A. // Solid-State Electron. 1971.

V.14. P. 1209.

248.Chu J.L., Persky G., Sze S.M. / / J. Appl. Phys. 1972. V. 43. P. 3510.

249.

Weller K.P. / /

RCA Review. 1971.

V. 32. P. 372.

250.

Sjolund A. //

Solid-State Electron.

1973. V. 16. P. 559.

251.

Prager H. J., Chang К.K. N.. Weisbrod S. // Proc. IEEE. 1967. V. 55.

P.586.

252.Кэррол Дж. СВЧ-генераторы на горячих электронах. — М.: Мир,

1972. - 382 с.

253.Аладинский В.К. // ФТП. 1968. Т. 2. С. 617.

254.Nishizawa J., Okabe Т., Okamoto К. - US Patent 3,602,840 (1971),

приоритет от 31 июля 1969 г.

 

473 Список

литературы

255.

Nishizawa J., Motoya К. - US Patent 4,745,374 (1988), приоритет

 

от 17 июня 1986 г.

 

256.

Gribnikov Z.S., Vagidov N.Z.,

Mitin V. V., Haddad G.I. / / J. Appl.

 

Phys. 2003. V. 93. P. 5435.

 

257., HvEisele. Haddad G.I // IEEE Trans. Microwave Theory Techn. 1995. V. 43. P. 210.

258. Plotka P., Nishizawa J., Kurabayashi Т., Makabe H. / / IEEE Trans.

Electron Devices. 2003. V. 50. P. 867.

259. Kesan V.P., Neikirk D.P., Blakey P. A. et al. 11 IEEE Trans. Elec-

tron Devices. 1988. V. 35. P. 405.

260. Javalagi S., Reddy V., Gullapalli K., Neikirk D. // Electron, Lett.

1992. V. 28. P. 1699.

261. Мосс Т., Баррел Г., Эллис Б. Полупроводниковая оптоэлектроника. Пер. с англ. — М.: Мир, 1976, — 432 с.

262.Хадсон Р. Инфракрасные системы. Пер. с англ. — М.: Мир, 1972. - 536 с.

263.Аут И., ГенцовД., Герман К. Фотоэлектрические явления. Пер. с нем. - М.: Мир, 1980, - 208 с.

264.Narrow-Gap Semiconductors. Springer Tracts in Modern Physics. Vol. 98. Contributiobs by R.Dornhaus, G. Nimtz, B.Schllcht. -

Springer

Verlag,

Berlin-Heidelberg-New York-Tokyo,

1983. -

309 p.

 

 

 

 

 

 

 

 

265. Kazanskii

A.G.,

Richards P.L., Halter E.E. / /

Appl.

Phys.

Lett.

1977. V.31. P. 496.

 

 

 

 

 

266. Petrolf M.D.,

Stapelbroek M.G. -

US Patent

4,568,960 (1986),

приоритет от 23 октября 1980 г.

 

 

 

 

 

267. Watson DM.,

Guptill M. Т., Huffman J.E. et al. 11 J. Appl. Phys.

1993. V. 74. P. 4199.

 

 

 

 

 

268. Cardozo B.L.,

Haller E.E., Reichertz L.A., Beeman J. W. / /

Appl.

Phys. Lett. 2003. V. 83. P. 3990.

 

 

 

 

 

269. Haller E.E., Beeman J. W. 11 Proc. FIR, Submm, and mm

Detector

Technology Workshop (Monterey, Apr. 2002),

NASA/CP-211408.

2003. paper 2-06.

 

 

 

 

 

 

270. Petroff M.D.,

Stapelbroek M.G., Kleinhans W.A. //

Appl.

Phys.

Lett. 1987. V. 51. P. 406.

 

 

 

 

 

271. Levine B.F. / /

J. Appl. Phys. 1993 V. 74. №8, Rl.

 

 

 

272. Coon D.D., Karunasiri R.P.G. / /

Appl. Phys.

Lett.

1984.

V. 45

P.649.

273.Levine B.F., Bethea C.G., ChoiK.K. at al. //Appl. Phys. Lett. 1988

V.53. P. 231.

274.Levine B.F., Bethea C.G., Hasnain G. et al. // Appl. Phys. Lett

1988. V. 53. P, 296,

275. Gunapala S.D., LevineB.F., ChandN.// J. Appl. Phys. 1991. V 70

P. 305.

474 Список литературы

276.

Воробьев Л. Е., Данилов С. И., Зегря Г. Г. и др. Фотоэлектрические

 

явления в полупроводниках

и размерно-квантовых структурах. -

 

СПб.: Наука, 2001. -

248 с.

Segev М. / / Appl. Phys. Lett. 1997.

277.

Berryman K.W., Lyon S.A.,

 

V. 70. P. 1861.

 

 

278.

Liu Н С. / /

Opto-Electron. Rev. 2003. V. II. № 1.

279.

Ryzhii V. / /

Semicond. Sci. Technol. 1996. V. 11. P. 759.

280.

Bandara S. V., Gunapala S.D., Liu J.K. et al. 11 Appl. Phys. Letl.

 

1998. V. 72. P. 2427.

 

 

281.

Mii Y.J., Karunasiri R.P.G.,

Wang K.L. et al. 11 Appl. Phys. Lett.

 

1990. V. 56. P. 1986.

W.Z., Matsik S.G. et al. // Appl. Phys. Lett.

282.

Perera A.G. U., Shen

 

1998. V. 72. P. 1596.

 

Liu H.C. et al. 11 Appl. Phys. Lett.

283. Perera A.G. U., Matsik S.G.,

2000. V. 77. P. 741.

284. Ehret S., Schneider H., Fleissner J., Koidl P. 11 Appl. Phys. Lett.

1997. V. 71. P. 641.

285.PereraA. G. V., Yuan H. X., Francombe M.H. / / J. Appl. Phys. 1995.

V.77. P. 915.

286.Perera A.G. V., Matsik S. G., Yaldiz B. et al. II Appl. Phys. Lett.

2001. V. 78. P. 2241.

287. Лайнс M., Гласс А. Сегнетоэлектрики и родственные им материалы. Пер. с англ. — М.: Мир, 1981. — 736 с.

288. Kato К. / / IEEE Trans. Microwave Theory Techn. 1999. V. 47.

P. 1265.

289.CampbellJ.C., Demiguel S., Ma F. et al. 11 IEEE J. on Selected

Topics in Quantum Electronics. 2004. V. 10. P. 777.

290. Васильев A.M., Ландсман А.П. Полупроводниковые фотопреобразователи. — M.: Сов. радио, 1971. — 246 с.

291. Chapin D.M., Fuller C.S., Pearson G.L. // J. Appl. Phys. 1954.

V.25. P. 676.

292.Reynolds D.C., Leies G., Antes L.L., Marburger R.E. 11 Phys. Rev.

1954. V. 96. P. 533.

 

293. Алфёров Ж.И., Андреев B.M., Румянцев В.Д. / /

ФТП. 2004.

Т. 38. С. 937.

 

294. GreenМ.А., Emery К., King D.L. et al. // Progr. in

Photovoltaics:

Res. and Appl. 2003. V. 11. P. 347.

 

295.Pietruszko S.M. 11 Opto-Electron. Rev. 2004. V. 12, №7.

296.Вавилов В. С., Крюкова И. В., Чукичев М. В. // ФТТ. 1964. Т. 6.

С.2634.

297. Barnham К, Marques J.L., Hassard J., O'Brien P. // Appl. Phys.

Lett. 2000. V. 76. P. 1197.

298. M.van Sark W.G.J. H., Meijerink A., Schropp R.E. I. etal. // ФТП.

2004. T. 38. C. 1000.

299. Momm H., Дэвис Э. Электронные процессы в некристаллических веществах. Изд. 2-е. В 2-х тт. Пер. с англ. — М.: Мир, 1982.

475 Список литературы

300.Pell Е.М. / / J. Appl. Phys. 1960. V. 31. P. 291.

301.Акимов Ю.К., Игнатьев О.В., Калинин А.И., Кушнирук В.Ф.

Полупроводниковые детекторы в экспериментальной физике. — М.: Энергоатомиздат, 1989. — 344 с.

302. Панков Ж. Оптические процессы в полупроводниках. Пер. с англ. - М.: Мир, 1973. - 456 с.

303.van Roosbroeck W., Shockley W. / / Phys. Rev. 1954. V. 94. P. 1558.

304.Берг А., Дин П. Светодиоды. Пер. с англ. — М.: Мир, 1979. —

688 с.

305.

Data in Science and Technology. Semiconductors other than

group

 

I V elements and III-V compounds. — Springer Verlag, Berlin,

1992.

306. Landolt - Bornstein Numerical Data and Functional Relationships in

 

Science and Technology. N e w Series. Group III. Vol. 22a. — Springer

 

Verlag, Berlin, 1987.

 

307.

Streubel K., Under N.. Wirth R., JaegerA. 11 IEEE J. on Selected

 

Topics in Quantum Electronics. 2002. V. 8. P. 321.

 

308.

Krames M.R., Ochiai-Holcomb M., Hofler G.E. et al. 11 Appl. Phys.

 

Lett. 1999. V. 75. P. 2365.

 

309.

Narukawa J., Narita J., Sakamoto T. et al. // Jap. J. Appl. Phys.

 

2006. V. 45. L1084.

 

310.

Eason D.B., Yu Z., Hughes W.C. et al. // Appl. Phys. Lett.

1995.

 

V. 66. P. 115.

 

311. Алфёров Ж. И., Андреев В.М., Гарбузов Д.З. и др. / / Письма в

ЖТФ. 1977. Т.З. С. 657.

312. Mueller-Mach RMueller

G O., Krames M.R., Trottier Т. / / IEEE

J. on Selected Topics in Quantum Electronics. 2002. V. 8. P. 339.

313. Tang C.W., VanSlyke S.A. / / Appi. Phys. Lett. 1987. V. 51. P. 913.

314. Юрре Т.А., Рудая ЛИ,

Климова Н.В., Шаманин В В. // ФТП.

2003. Т. 37. С. 835.

 

315. Adachi С., Baldo М.A.,

Thompson М.Е., Forrest S.R. 11 J. Appl.

Phys. 2001. V. 90. P. 5048.

316. Baldo M.A., Lamansky S., Burrows P.E. et al. / / Appl. Phys. Lett.

1999. V. 75. P. 4.

317.Einstein A. / / Phys. Zs. 1917. V. 18. P. 121.

318.Басов Н.Г., Вул Б.М., Попов Ю.М. 11 ЖЭТФ. 1959. Т. 37. С. 587;

Басов Н.Г., Крохин О.Н., Попов Ю.М. // УФН. I960.

Т. 72.

С. 161; Басов Н.Г., Крохин О.Н., Попов Ю.М. / / ЖЭТФ.

1961.

Т.40. С. 1879.

319.Hall R.N., Fenner G.E., Kingsley J.D. et al. // Phys. Rev. Lett.

1962. V. 9. P. 366.

320.Nathan M.I., Dumke W. P., Burns G. et al. // Appl. Phys. Lett. 1962.

V.1. P. 62.

321.Quisi T.M., Rediker R.H., Keyes R.J. et al. // Appl. Phys. Lett.

1962. V. 1. P. 91.

322. Елисеев П. Г. 11 Квантов, электрон. 2002. Т. 32. С. 1085.

476

 

 

Список литературы

 

323.

Елисеев

П. Г. Введение в физику

инжекционных

лазеров. — М.:

 

Наука,

1983. -

294 с.

 

 

324.

Lasher G., Stern F. // Phys. Rev. 1964. V. A133. P. 553.

325.

Алфёров

Ж. И., Казаринов Р.Ф, -

Авт. свид. №

181737 (1975),

 

приоритет от 30 марта 1963 г.

 

 

326.

Кroeтег И. // Proc. IEEE. 1963. V. 51. P. 1782.

 

327.

Кейси

XПаниш

М. Лазеры на гетероструктурах. В 2-х тт. Пер.

сангл. — М.: Мир, 1981,

328.Алфёров Ж. И., Андреев В,М., ГарбузовД.З. и др. // ФТП. 1970.

Т. 4. С. 1826,

329.Hayashi I., Panish М.В„ Foy P. W., Sumski S. // Appl. Phys. Lett.

1970. V, 17. P. 109,

330. Lockwood H.F., Kressel H., Sommers H.S., Hawrylo F.Z. // Appl. Phys. Lett. 1970. V. 17, P. 499; Kressel H., Lockwood H.F., Hawry-

lo F.Z. //Appl, Phys, Lett, 1971. V. 18. P. 43.

331. Dupuis R.D., Dapkus P.D., Holonyak N. et al. / / Appl. Phys. Lett.

1978. V. 32. P. 295.

332. Wang C.A., Walpole J.N., Missaggia L.J. et al. / / Appl. Phys. Lett.

1991. V. 58. P. 2208.

333. Faist J., Capasso F., Sivco D.L. et al. // Science. 1994. V. 264.

P.553.

334.Soda H., Iga K., Kitahara C., Suematsu Y. Ц Jap. J. Appl. Phys.

1979. V. 18. P. 2329.

335.Yang G.M., MacDougal M.H., Dapkus P.D. // Electron. Lett. 1995.

V.31. P. 886.

336.

Yang Y.J., Dziura T.G., Wang S. C. //

Appl. Phys. Lett.

1990. V, 56.

337.

P. 1839.

 

 

 

 

Electron. Lett. 2004. V. 40. P. 872.

Yan C.,

Ning

Y„ Qin L.

et

al. //

338.

Асрян

Л. В.,

Сурис

P. A.

11 ФТП. 2004. Т. 38. №3.

 

339.

Arakawa

Y,

Sakaki

H.

//

Appl,

Phys,

Lett,

1982. V.40. P. 939.

340.

Kapon £., Hwang D.M.,

Bhat R. / /

Phys.

Rev. Lett.

1989. V. 63.

P. 430.

341.Chou S. Т., Cheng K. Y„ Chou L.J., Hsieh K.C. // Appl. Phys. Lett.

1995. V. 66. P. 2220.

342. Goldstein L., Glas F., Marzin J. Y. et al. // Appl. Phys. Lett. 1985,

V.47. P. 1099.

343.Leonard D., Krishnamurthy M., Reaves C.M. et al. 11 Appl. Phys,

Lett. 1993. V.63, P. 3203.

344. Shchukin V.A., Ledentsov N.N., Kop'ev P.S., Bimberg D. // Phys,

Rev. Lett. 1995, V. 75. P. 2968.

345.Леденцов H.H., Устинов B.M., Щукин В.А. и др. // ФТП. 1998.

Т.32. С. 385.

346.Леденцов Н.Н., Устинов В.М., Егоров А.Ю. и др. // ФТП, 1994.

Т.28. С. 1483.

477 Список литературы

347. Kirstaedter N.. Ledentsov N.N., Grundmann M. et al. // Electron.

Lett. 1994. V. 30. P. 1416.

348. Алфёров Ж. И., Бимберг Д., Егоров А.Ю. и др. // УФН. 1995.

Т. 165. С. 224.

349. Вандышев Ю.В., Днепровский B.C., Климов В.И., Окоро-

ков Д. К. U Письма в ЖЭТФ. 1991. Т. 54. С. 441.

350.Eliseev P.G., Li H.r Stintz A. et al. 11Appl. Phys. Lett. 2000. V. 77.

P.262.

351.Максимов M.B., Шерняков Ю.М., Крыжановская H.B. и др. //

ФТП. 2004. Т. 38. С. 763.

352.Ckatten A.J., Barnham К. W.J., Buxton B.F. et al. I! ФТП. 2004.

T.38. C. 949.

353.Якимов А. И., Двуреченский А. В., Кириенко В. В. и др. // ФТП.

 

2004. Т. 38. С. 1265.

354.

УстиновВ.М. / /

ФТП. 2004. Т. 38. С. 963.

355.

WongH.-S.P / /

IBM J. Res. Develop. 2002. V.46. P. 133.

356.Osburn C.M., Kim I., Han S.K. et al. / / IBM J. Res. Develop. 2002.

V.46. P. 299.

I

Предметный указатель

i

^-фотопроводимость,

383

 

— диодов, 132

 

 

 

 

^-параметры

транзистора,

— диодов Ганна, 345

 

 

 

179-181

 

 

 

 

— диодов Шоттки, 92, 97

 

р-п-переход

 

 

 

 

— лавинно-пролетных

диодов,

— плавный,

17, 123

 

 

366

 

 

 

 

 

 

— резкий, 15, 122

 

 

— лавинных фотодиодов, 410

— сверхрезкий,

125

 

 

— резонансно-туннельных

дио-

В1В-фотоприемники, 394

 

дов, 118

 

 

 

 

 

DLTS-спектроскопия, 135-139

— светодиодов, 430

 

 

 

HIWIP-фотоприемники, 401

— тиристоров, 231

 

 

 

IGBT, 266

 

 

 

 

— транзисторов,

114,

145,

165,

MODFET, 299

 

 

 

171,

174,

188, 260,

261

 

QWIP-фотоприемники, 397

 

— туннельно-пролетных

диодов,

Амбиполярная диффузия, 23

378

 

 

 

 

 

 

— коэффициент, 23, 36, 43

— туннельных диодов,

79,

118,

Амбиполярный дрейф, 23

 

133

 

 

 

 

 

 

База

 

 

 

 

 

— фотодиодов, 408

 

 

 

— диода, 16, 33, 60

 

 

— фоторезисторов, 391, 400

— транзистора,

141,

151,

154,

Варакторы, 125,

135

 

 

 

168, 176

 

 

 

 

— HBV, 126

 

 

 

 

 

Баллистический

перенос,

174,

Варизонные

структуры,

102,

262,

378

 

 

 

 

107,

108,

170,

173, 264

 

Барьер Шоттки, 54, 83, 85, 86,

Варикапы, 125, 350

 

 

 

89, 95, 99, 123, 189, 240, 294,

Вольт-ваттовая чувствитель-

296, 299, 300, 308, 318, 326,

ность, 389, 398

 

 

 

368, 405, 408, 414, 424

 

Время жизни, 21, 22, 28, 39, 83,

— высота, 85-89, 93, 102, 300

129, 132, 135, 152, 183, 189,

— емкость,

123

 

 

 

222, 233, 382, 388, 390, 391,

— определение высоты, 92

 

398, 403, 420

 

 

 

 

Барьерная емкость,

106,

119,

— излучательное, 430

 

 

 

121-124, 136, 167, 226, 408,

— определение,

128,

130

 

413

 

 

 

 

 

— фотопроводимости, 391

 

Биполярные

транзисторы,

Время пролета, 38, 48, 167, 261 г

140-214

 

 

 

 

390, 408

 

 

 

 

 

— с изолированным

затвором

Время релаксации

 

 

 

(IGBT), 266

 

 

 

— импульса, 21,

117,

118, 262

Болометры,

382

 

 

 

-энергии, 21, 262, 336, 345,

 

 

 

 

 

 

346, 366,

384

 

 

 

 

Предметный указатель

479

Встроенный заряд в окисле, 54,

с

барьером Ш о т т к и ,

8 3 - 9 9 ,

228,

241,

 

246,

247,

269,

270,

 

 

133,

189

 

 

 

 

272

 

 

 

 

 

 

 

с

накоплением заряда,

Встроенный

 

потенциал,

13,

89,

 

 

133-135

 

 

 

 

297

 

 

 

 

 

 

 

с проколом, 368

 

 

Вторичный пробой, 58, 163, 164

с тонкой базой, 25, 33, 99, 132

Вынужденное излучение,

446

светодиоды, 4 3 2 - 4 4 5

 

Высота

барьера Ш о т т к и ,

8 5 - 8 9 ,

со структурой р - г - п ,

39 - 44,

93,

102,

300

 

 

 

 

 

 

133,

359,

376,

406,

422

Генерационно-рекомбинационный

сплавные,

101

 

 

 

шум, 183,

402

 

 

 

 

точечные,

98

 

 

 

Гетеропереходы, 83, 102-110,

— туннельно-пролетные, 378

126, 152, 153, 156, 170, 298,

туннельные, 6 2 - 8 1 ,

117, 133

300, 302, 361, 364, 401, 437,

 

получение, 76

 

440, 443, 449

 

умножительные, 126

Глубокие уровни, 28, 29, 36, 74,

Диоды Ганна, 333-361

 

132, 135, 189, 223, 314, 391

— гибридный режим, 350

Горячие носители, 47, 120, 174,

— режим ОНОЗ, 352

 

176, 258, 285 - 288, 293, 336

— режим выделения

гармоник,

Дебаевская длина

экранирова-

 

353

 

 

 

ния, 16, 40, 152

 

— режим пролета домена, 349

Деградация

 

— режим пролета

обогащенного

— ЛИЗМОП-структур, 287

 

слоя, 346

 

 

— МОП-транзисторов, 248

— режим с гашением, 351

— барьеров Шоттки, 88

— режим с запаздыванием, 351

— контактов, 103, 206

Дифференциальное сопротивле-

— светодиодов, 436

 

 

ние

 

 

 

— солнечных элементов, 420,

— отрицательное,

64, 79, 112,

422

 

 

117,

118, 333, 355,

368

— тиристоров, 235

 

— стабилитрона, 61

 

— туннельных диодов, 78

Диффузионная длина, 19, 23, 25,

— ячеек РПЗУ, 288

 

30, 43, 127, 142, 143, 150,

Детекторы ядерных

излучений,

 

152, 218, 222, 386

 

423-428

 

— амбиполярная, 36, 41

Динисторы, 216

 

Диффузионная емкость, 126

Диоды

 

Диэлектрическая

проницае•

— QWITT, 379

 

 

мость, 14, 98, 105, 255, 278,

— Ганна, см. Диоды Ганна

 

461

 

 

 

— Рида, 356

 

Длина

свободного пробега, 47,

— инжекционно-пролетные, 368,

 

51, 57, 60, 90

 

 

376

 

Доменная неустойчивость, 341

— лавинно-пролетные, 355, 368

Домены электрические, 341, 349

— обращенные, 81-82

Дробовой шум, 182, 308, 330,

— опорные, 60

 

 

401

 

 

 

— резонансно-туннельные,

Емкостная спектроскопия, 123

115-120, 379

 

Емкость

 

 

480

Предметный указатель 480

— барьера Шоттки, 123 -барьерная, 106, 119, 121-124,

136, 167, 226, 408, 413

диффузионная, 126 Загонка примеси, 198, 204 Закон

Мотта, 38

сохранения импульса, 68, 428 Запаздывание

лавинное, 355, 362

пролетное, 355, 362

Затвор, 249

— плавающий, 285, 286, 289-292, 321, 330

Избыточные токи, 74-77, 117 Избыточный шум, 182, 309, 411 Излучательная рекомбинация,

428

— темп, 430 Изоляция

окисная. 205, 207, 271, 272

с помощью р-п-перехода, 207,

249

Изолланарный процесс, 208 Иммерсионная литография. 195 Инверсная населенность, 447 Инжекционно-пролетные диоды,

368, 376 Инжекционные лазеры, 445-460

— V C S E L , 455

квантово-каскадные, 454 Инжекция

в р-п-переходе, 20, 25, 449

в гетеропереходе, 107, 153, 156, 170

высокий уровень, 33, 39, 43,

222

Интегральные схемы

— п-МОП, 271-279

-И 2 Л , 200, 210-214

— КМОП, 279-285

-Т Т Л , 189, 209, 214

ТТЛШ, 190, 214

ЭСЛ, 214

Ионная имплантация, 89, 101, 198, 205, 212, 248, 258,

270-272, 279, 280, 282, 292, 299, 319, 367

— метод РШ, 201 Ионная литография, 196 Исток, 249

КМОП-структуры, 279-285, 325

— эффект защелкивания, 281 Каналирование, 198 Квазиуровень Ферми, 21, 30,

139, 447 Квантовые нити, 112, 456-458

Квантовые точки, 112, 291, 400, 421, 442, 456, 457, 459, 460 Квантовые ямы, 110, 299, 300,

397, 437, 457 Квантовый выход

люминесценции, 421, 432

светодиода, 435-437, 439

фотоионизации, 383, 385, 390 Коллектор, 141 Контакт

металл-полупроводник, 84

омический, 99-103

точечный, 80, 98

Контактная разность потенциалов, 13, 18, 25. 36, 41, 104, 123, 162, 170, 304, 419

Коэффициент

амбиполярной диффузии, 23, 36, 43, 386

вывода света. 438, 439

инжекции эмиттера, 150, 153. 155, 173, 221

качества, 59, 368

оптического ограничения. 448, 452, 458

переноса через базу, 154, 221

поглощения, 381, 385, 388. 392, 394, 395.412,430

собирания носителей, 143, 147

ударной ионизации, 47, 51, 120, 358. 361, 363, 410,411

умножения, 50. 220, 411

Предметный указатель

481

усиления транзистора, 142, 144, 148, 151, 152, 154. 155, 158, 176, 177

усиления фототока, 390

шума, 186, 302, 348, 361, 376 Критерий Крёмера, 341, 346, 349 Крутизна вольт-амперной харак-

теристики, 252, 254, 258

ЛИЗМОП-структуры, 248, 286 Лавинно-пролетные диоды, 355,

368 Лавинные фотодиоды, 53, 120,

410-414 Лавинный пробой, 45, 57, 160,

217, 230, 285, 355, 356, 364 Лазерный отжиг, 200 Лазеры, 446 Литография, 192 Люминесценция, 428 МНОП-структуры, 293

МОП-транзисторы, 240,

2 4 9 - 2 6 6, 308, 309, 320, 321

Максвелловское время релакса-

ции, 38, 98, 133, 353

— дифференциальное, 340 Максимальная рабочая темпера-

тура р-п-перехода, 25 Максимальная частота генера-

ции, 118, 168, 171, 172

Междолинное рассеяние, 172,

175, 338, 345, 346

Междолинный перенос, 333, 341 Меза-структура, 148, 354, 367 Микроплазмы, 55, 62 Мини-зона, 113, 399 Модель

Андерсона, 103

термоэлектронной эмиссии,

90

управления зарядом, 250 Напряжение

Эрли, 160

пороговое, 245, 248, 250, 256, 258, 269-271, 273, 286, 288

пробоя, 44, 59, 160, 161, 217, 265

— прокола, 162, 217, 369 Напряженный кремний, 263 Непараболичность, 67, 68, 338

Обедненный слой,

II, 13, 29, 85

-толщина,

15, 17, 18, 55,

89,

121,

136,

162,

167, 244,

294,

295, 297. 369, 424

 

Область безопасной работы,

164

Область

пространственного

за-

ряда, см^ Обедненный слой

Обнаружительная

способность,

403

 

 

 

 

Обращенные диоды, 81-82 Оже-рекомбинация, 39, 152, 222,

391, 426 Окисная изоляция, см^ Изоля-

ция окисная Омические контакты, 99-103

— гетеропереходные, 101 Оптотиристоры, 235, 432 Оптроны, 410, 432 Охранные кольца, 53, 99. 230 ПЗС, 311-331. 428

— с объемным каналом, 316-318 Плазменное легирование. 201 Плазменное травление, 202-203,

205, 209, 266 Плазмоны, 175

Планарная технология, 147, 191-209, 271, 456

Поверхностная рекомбинация, см. Рекомбинация поверхностная

Поверхностные состояния, 86, 99, 183, 239, 248, 309, 314-316

Поверхностный пробой. 54, 228 Поглощение света

в полосе остаточных лучей, 384

коэффициент, см. Коэффициент поглощения

на свободных носителях, 383, 401

примесное, 383

собственное, 382

Ifi Л И ПоЛоЛАО