Добавил:
Upload Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

Лебедев А.И. Физика полупроводниковых приборов

.pdf
Скачиваний:
752
Добавлен:
28.03.2015
Размер:
41.31 Mб
Скачать

462

Приложение

Та б л и ц а 2. Некоторые физические свойства полупроводников, используемых при производстве полупроводниковых приборов

( Т = 300 К) [306]

Материал

 

fl, CM2 / B - c

Е

 

Парам, решетки,

 

 

 

 

 

 

 

я

 

 

 

эВ*

Pn

 

 

 

А

 

 

 

Полупроводники с решеткой типа алмаза

 

С

5,47 (0

2800

2100

5,7

3,567

Si

1,12(0

1450

500

11.7

5,431

Ge

0,661 (0

3900

1900

16,2

5,658

 

 

Полупроводники с решеткой сфалерита

 

GaAs

1,424 (d)

9200

400

13,2

5,653

InAs

0,354 (d)

33000

450

15,1

6,058

AlAs

2,15(0

280

200

10,1

5,660

GaP

2,27 (0

160

140

11,1

5,451

InP

1 >34 {d)

5000

150

12,5

5,869

AIP

2,45 (0

9,8

5,464

 

 

 

 

 

 

 

AlSb

1,61(0

900

400

12,0

6,136

GaSb

0,726 {d)

2500

680

15,7

6,096

InSb

0,17 (d)

77000

850

16,8

6,479

ZnS

3,68 (d)

165

10-15

8.1

5,410

ZnSe

2,70 (d)

600

30

9,1

5,668

ZnTe

2,28 {d)

330

100

9,7-10,1

6,104

CdTe

1,49 (d)

1050

60

10,4

6,481

 

 

Полупроводники с решеткой вюрцита

 

GaN

3,39 (d)

440

200

(9,5,

10,4)

(3,189, 5,178)

A1N

6,2 {d)

300

14

8,5-9,1

(3,112, 4,982)

SiC

(4H)

3,23 (0

850

120

 

(3,073,

10,053)

 

 

 

 

 

 

 

 

SiC

(6H)

2,86 (0

400

100

(9,7,

10,0)

(3,081,

15,117)

CdS

2,55 (d)

330

50

(8,7,

9,5)

(4,137,

6,716)

CdSe

1.75(d)

900

50

(9,3,

10,2)

(4,300,

7,011)

ZnO

3.36(d)

150

 

(7,8,

8,8)

(3,250,

5,207)

 

 

Полупроводники с решеткой каменной соли

 

PbS

0.41(d)

600

700

170

5,936

PbSe

0,29 (d)

1000

1000

250

6,124

РЫе

0,32 (d)

1700

840

400

6,460

*Символ в скобках означает: d — прямозонный, i

непрямозонный полу-

проводник.

 

 

 

 

 

 

 

Список литературы

1. Бонч-Бруевич

 

В. Л.,

Калашников

С. Г. Физика

полупроводников.

 

Изд. 2-е. -

М.: Наука,

1990. - 688 с.

 

 

 

 

2.

Пикус Г.Е. Основы теории полупроводниковых

приборов. — М.:

 

Наука,

1965. -

448 с.

 

 

 

 

 

 

3.

Shockley W. / /

Bell Syst. Techn. J.

1949. V. 28. P. 435.

 

 

4.

Shockley W., Read W.T. / / Phys. Rev. 1952. V. 87, P. 835.

 

5.

Hall R.N. / /

Phys. Rev.

1952. V. 87. P. 387.

 

 

 

6.

Sah СЛ., Noyce R.N.. Shockley

W. //

Proc.

IRE.

1957.

V. 45.

 

P. 1228.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

7. Гаман

В. И.

Физика

полупроводниковых приборов.

Томск:

 

Изд-во НТЛ, 2000. -

426 с.

 

П.М.,

Лейдерман

А.Ю.

8 .

Адирович

Э.И.,

Карагеоргий-Алкалаев

 

Токи двойной инжекции в полупроводниках. — М.: Сов. радио,

 

1978. -

320 с.

 

 

 

 

 

 

 

 

9.Стафеев В.И. // ЖТФ. 1958. Т. 28. С. 1631.

10.Милне А. Примеси с глубокими уровнями в полупроводниках.

Пер, с англ, — М.: Мир, 1977. — 564 с.

11. Блихер А. Физика силовых биполярных и полевых транзисторов. Пер. с англ, — Л.: Энергоатомиздат, 1986. — 248 с.

12. Davies L. W. // Nature. 1962. V. 194, № 4830. P. 762.

13.Hall R.N. // Proc. IRE. 1952. V.40. 1512.

14.Зи С. Физика полупроводниковых приборов. В 2-х томах. 2-е изд.

Пер. с англ. — М.: Мир, 1984.

15.

Pearsall Т.P., CapassoF., Nahory R.E. et al. / / Solid-State

Elec-

 

tron. 1978. V. 21. P. 297.

 

16.Lee C.A., Logan R.A., Batdorf R.L. et al. // Phys. Rev. A

1964.

 

V. 134. P. 761.

 

17.

Shockley W. // Czech. J. Phys. 1961. V. Bll. P.81.

 

18.Baraff G.A. // Phys. Rev. 1962. V. 128. P. 2507.

19.Miller S.L. 11 Phys. Rev. 1955. V. 99. P. 1234.

20.McKay K.G. / / Phys. Rev. 1954. V. 94. P. 877.

21.Miller S.L. / / Phys. Rev. 1957. V. 105. P. 1246.

22. ChynowethA. G., McKay K. G. / / Phys. Rev. 1956. V. 102. P. 369.

23. Ландау Л.Д., Лифшиц Е.М.

Квантовая механика. Нерелятивист-

ская теория. — М.: Наука,

1989. — 768 с.

24.ChynowethA. G., McKay К. G. Ц Phys. Rev. 1957. V. 106. P. 418.

25.Zener С. / / Proc. Roy. Soc. (London), A 1934. V. 145. P. 523.

464

 

Список

литературы

26. Хоровиц П., Хилл

У. Искусство схемотехники. В 3-х тт. Пер. с

 

англ. - М.: Мир,

1993.

 

27.

Esaki L. // Phys. Rev. 1958. V. 109, P. 603.

28.

Fowler R. H., Nordheim L. II

Proc. Roy, Soc. (London). A 1928.

 

V. 119. P. 173.

 

 

29.

Houston W.V. // Phys. Rev. 1940. V. 57. P. 184.

30.Келдыш Л.В. // ЖЭТФ. 1957. Т. 33. С. 994.

31.Price P.J., Radcliffe J.M. // IBM J. Res. Develop. 1959. V. 3. P. 364.

32.Kane E.O. // J. Phys. Chem. Solids. 1960. V. 12. P. 181.

33. Kane E. O. / / J. Appl. Phys. 1961, V. 32. P. 83.

34.

Иванчик И. И. / /

ФТТ . 1961. Т. 3. С.

103.

 

 

 

35.

Бонч-Бруевич

В.Д.,

Серебренников П.С. //

Радиотехн. и

элек-

 

трон. 1961. Т. 6. С. 2041.

 

 

 

 

 

36.

Серебренников П.С. //

Радиотехн. и электрон,

1962. V. 7. Р. 536,

37.

Бонч-Бруевич

B.JI.,

Серебренников П.С. //

Радиотехн. и

элек-

 

трон. 1963, Т. 8. С, 1002.

 

 

 

 

 

38.

Туннельные

диоды

и их применение

в схемах переключения

 

и в устройствах

СВЧ

диапазона

/

Пер,

с

англ. (под

ред.

А. А.Визеля). — М.: Сов. радио, 1965. — 184 с.

39.Ансельм A.M. Введение в теорию полупроводников. — М.: Наука,

1978. - 616 с.

40.Туннельные явления в твердых телах / (Сб. под ред. Э. Бурштейна и С. Лундквиста). Пер. с англ. — М.: Мир, 1973. — 421 с.

41.Brockhouse B.N., Iyengar Р.К. // Phys. Rev. 1958. V. 111. P. 747.

42.Holonyak N.. Lesk I.A., Hall R.N. et al. // Phys. Rev. Lett. 1959.

V. 3. P. 167.

Kinder L.R., Wong T.M., Meservey R. 11 Phys. Rev.

43. Moodera IS.,

Lett. 1995. V. 74. P. 3273.

44. Pearton S.l,

Overberg M.E., Thaler G.T. et al. 11Phys. Stat. Solidi

(a). 2003. V. 195. P. 222.

45.lansen R. / / J. Phys. D. 2003. V. 36. R289.

46.Yajima Т., Esaki L. // J. Phys. Soc. Jap. 1958. V. 13. P. 1281.

47. Chynoweth A G., Feldmann W.L., Logan R.A. // Phys. Rev. 1961.

V. 121. P. 684.

48.Туннельные диоды (физические основы работы). — М.: Наука,

1966. - 142 с.

49.Ван дер Зил А. Шум. Источники, описание, измерение. Пер. с англ. — М.: Сов. радио, 1973. — 229 с.

50.Burrus С. А. Ц J. Appl. Phys. 1961, V. 32. P. 1031.

51.

Kartovsky I / /

Solid-State Electron.

1967. V. 10. P. 1109.

52.

Handbook on

Semiconductors. Vol.

4. / Device Physics (ed. by

 

C.Hilsum). -

North-Holland Publishing Co., 1981. - 970 p.

53.Braun F. // Ann. Phys. Chem. 1874. V. 153. P. 556.

54.Schottky W. U Naturwiss. 1938. V. 26. P. 843.

55. Mott N.F. II Proc. Cambr. PhiJos. Soc. 1938. V. 34. P. 568.

465 Список литературы

56. Родерик Э.Х. Контакты металл-полупроводник. Пер. с англ. —

М. : Радио и связь, 1982. — 208 с.

57.Милне А., ФойхтД. Гетеропереходы и переходы металл-полупро-

 

водник. Пер. с англ. — М . : М и р , 1975. — 432 с.

58

. Технология

С Б И С . / Под

ред. С. Зи. Пер. с англ. В 2-х кн. — М . :

 

М и р , 1986.

 

 

59

. Bardeen J. // Phys. Rev.

1947. V . 71. P. 717.

60

. Гамм И: / /

Ж Э Т Ф . 1933. Т . 3. Р. 34.

61

. Benzer S. //

Phys. Rev. 1947. V . 71. P. 141.

62. Де Грааф X. Использование поликристаллического

кремния

в

технологии изготовления интегральных схем. В сб.: Поликристал-

лические полупроводники. Физические свойства и применения

/

Под ред. Г. Харбеке. Пер. с англ. — М . : М и р . 1989. —

244 с.

 

63. Shockley W. И Phys. Rev. 1939. V . 56. P. 317.

 

 

64.Bethe H.A. / / M I T Radiat. Lab. Report. 1942. 43-12.

65.Давыдов Б. // Ж Э Т Ф . 1939. V . 9 . P. 451.

66.Heine V. // Phys. Rev. 1965. V . 138. A1689 .

67.

Crowell C.R., Sze S.M. / /

Solid-State Electron. 1966.

V . 9 . P.

1035.

68.

Padovani F.A., Stratton

R. // Solid-State Electron.

1966.

V . 9.

 

P. 695 .

 

 

 

69. Шур M. С.

Современные приборы на основе арсенида галлия. Пер.

 

с англ . -

М . : М и р , 1991.

- 632 с.

 

70.

Stall RWood

С.Е.С., Board К., Eastman L.F. // Electron.

Lett.

 

1979. V . 15. P. 800.

 

 

71.

Shockley W. -

U S Patent

2,569,347 (1951), приоритет от 26

июня

 

1948 г.

 

 

 

 

72.Губанов А.И. // ЖТФ. 1950. Т. 20. С. 1287; ЖТФ. 1951. Т.21.

С. 304; Ж Т Ф . 1952. Т . 22. С. 729.

73.ИоффеА.В. Ц Ж Т Ф . 1948. Т . 18. № 1 С . 4 9 8 .

74.Крёмер Г. Критический обзор теории гетеропереходов. В сб.:

Молекулярно-лучевая эпитаксия

и

гетероструктуры /

Под ред.

Л . Ч е н г а и К . П л о г а . Пер. с англ.

М . : М и р , 1989. —

274 с.

75. Harrison W.A., Kraut Е.А., Waldrop J.R., GrantR. W. / / Phys. Rev.

B. 1978. V . 18. P. 4402.

76.Kroemer H. / / Proc. IRE . 1957. V . 4 5 . P. 1535.

77.Воробьев JI. E., Ивченко Е.Л., Фирсов Д. А., Шалыгин В. А. Оп-

 

тические свойства наноструктур. — СПб.: Наука, 2001. — 188 с.

78

. Андронов А.А.,

НефедовИМ., Соснин А.В. Ц Ф Т П . 2003. Т . 37.

 

C . 3 7 8 .

 

79

. Келдыш Л.В. //

Ф Т Т . 1962. Т . 4. С. 2265.

80. Шик А.Я. И Ф Т П . 1974. Т . 8. С. 1841.

81.Силин А. П. // УФН. 1985. Т. 147. С. 485.

82.Esaki L., Tsu R. Ц I B M J. Res. Develop. 1970. V . 14. P. 61.

83. Херман M. — Полупроводниковые сверхрешетки. Пер. с англ. — М . : М и р , 1989. - 240 с.

466 Список литературы

84. Ю П., Кардана М. Основы физики полупроводников. — М . : Физматлит, 2002. - 560 с.

85. Pfeiffer L., West К. W., Stormer Н. L., Baldwin К. W. / / Appl. Phys.

Lett. 1989. V . 55. P. 1888.

86. Dingle R.,

Stormer H.L.,

Gossard A.C.,

Wiegmann W. 11 Appl.

 

Phys. Lett.

1978. V . 3 3 . P. 665.

 

 

87.

Шур

M.C.

Физика полупроводниковых

приборов. В 2-х

томах.

 

Пер. с англ. — М . : М и р , 1992.

 

 

88

. ПожелаЮ. Физика быстродействующих

транзисторов. —

Виль-

 

нюс: Мокслас, 1989. — 264 с.

 

 

89

. Davis R.H., Hosack Н.Н. / /

J. Appl. Phys.

1963. V. 34. Pt. 1. P. 864.

90

. Иогансен Л.В. / /

Ж Э Т Ф .

1963. Т . 45. С. 207; Ж Э Т Ф . 1964. Т . 47.

 

С. 270.

 

 

 

 

 

91

. Бом

Д. Квантовая теория. Пер. с англ. —

М . : Физматлит, 1961. —

 

728 с.

 

 

 

 

 

92

. Tsu R., Esaki L. / /

Appl . Phys. Lett. 1973. V . 22. P. 562.

 

93

. Sollner T.C.L.G.,

Goodhue W.D., Tannenwald P.E. et al. / /

Appl.

Phys. Lett. 1983. V. 43. P. 588.

94. Brown E.R., Soderstrom J R., Parker C D. el al. / / Appl. Phys. Lett.

1991. V . 58. P. 2291.

95. Broekaert T.P.E., Lee W., Fonstad C.G. / / Appl. Phys. Lett. 1988.

V. 53. P. 1545.

96. Brown E.R., Sollner T.C.L.G., Parker C.D. et al. 11 Appl . Phys.

Lett. 1989. V. 55. P. 1777.

97. Chin R., Holonyak N., Stillman G.E. et al. / /

Electron. Lett. 1980.

V. 16. P. 467.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

98. Берман Л. С. Введение

в физику

варикапов. —

JT.: Наука, 1968. —

180 с.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

99. Chattopadhyay G., Schlecht Е.,

Ward IS.

et

al. / /

IEEE

Trans.

Microwave Theory Techn. 2004. V . 52. P. 1538.

 

 

 

 

 

100. Kollberg E., Rydberg А. / /

Electron. Lett. 1989. V. 25.

P. 1696,

 

101 .Milique

X,

Maestrini A.,

Lheurette E. et

at.

11 I E E E - M T T

Int.

Microwave Symposium (Anaheim, 1999).

 

 

 

 

 

 

102. НосовЮ. P. Физические основы работы полупроводникового

диода

в импульсном режиме. —

М . : Наука, 1968. —

263 с.

 

 

 

103. Еремин С.А., Мокеев

O.K., Носов

Ю.Р. Полупроводниковые

ди-

оды с накоплением заряда и их применение. —

М . : Сов.

радио,

1966, -

152 с.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

104. Moll J.L., Krakauer S.t

Shen R. / /

Proc. IRE.

1962. V. 50. P. 43.

105. РожковА.В.,

Козлов В. A.

/ / Ф Т П . 2003. Т. 37.

С. 1477.

 

 

106.Williams R. / / J. Appl. Phys. 1966. V. 37. P. 3411.

107.Lang D. V. 11J. Appl. Phys. 1974. V. 45. P. 3023.

108. Вавилов В. С., Кекелидзе Н. П., СмирновЛ. С. Действие излучений

на полупроводники. — М . : Наука, 1988, — 192 с.

467 Список литературы

109.Bardeen J., Brattain W.H. // Phys. Rev. 1948. V. 74. P. 230; Brat-

tain W.H., Bardeen J. / / Phys. Rev. 1948. V. 74. P. 231; BardeenJ.,

Brattain W.H. - US Patent 2524035 (1950), приоритет от 17 июня

1948 г.

 

 

 

110. Shockley W., Sparks M , Teal G.K. //

Phys. Rev.

1951.

V. 83.

P. 151.

 

 

 

111. Lanyon H. P.D., Tuft R.A. / / IEEE Trans. Electron

Devices.

1979.

V. ED-26. P. 1014.

 

 

 

112. Cazarre A., TasselliJ., Marty A. et al. //

Electron. Lett. 1985. V. 21.

P. 1124.

113.Early J. M. U Proc. IRE. 1952. V.40. P. 1401.

114.Schafft HA. // Proc. IEEE. 1967. V. 55. P. 1272.

115.Daw A.N., MitraR.N., Choudhury N.K.D. //Solid-State Electron.

1967. V. 10. P. 359.

116. Knepper R. W., Gaur S.P., Chang F.-Y., Srinivasan G.R. // IBM J.

Res. Develop. 1985. V.29. P. 218.

117. Kirk С.T. // IRE Trans. Electron Devices. 1962. V. ED-9. P. 164. Ш. Hafez W., Lai J.-W., Feng M. / / IEEE Electron Device Lett. 2003.

V. 24. P. 436.

119.Hafez W., Feng M. 11 Appl. Phys. Lett. 2005. V. 86. P. 152101.

120. Hafez W., Lai J.-W., Feng M. //

IEEE Electron Device Lett.

2003.

 

V. 24. P. 292.

Pitts O.J., Watkins S.P. / /

 

121. Dvorak M.W., Bolognesi C.R.,

IEEE

 

Electron

Device Lett. 2001. V. 22. P. 361.

 

122.

Lee Q. -

P h . D , Thesis, Univ.

of California, Santa Barbara,

June

 

1999.

 

 

 

123.

Chen Y.K., Levi A.F.L, Nottenburg R.N. et al. / / Appl. Phys.

Lett.

1989. V. 55. P. 1789.

124.Martin D.D., Stratton R. // Solid-State Electron. 1966. V. 9. P. 237.

125.Rieh J.S., Jagannathan В., Chen H., Schonenberg K.T. et al. //

IEDM Tech. Digest. 2002. P. 771.

 

 

126. Dunn IS., Ahlgren D.C., DvCoolbaugh D. et al. //

IBM J. Res.

Develop. 2003. V. 47. P. 101.

 

 

127. Борблик В. Л., Грибников З.С. //

ФТП. Т. 22. С. 1537.

128. Heiblum М., Flschetti М. V. / / I B M

J. Res. Develop.

1990. V. 34.

P. 530.

129.Mead C.A. 11 Proc. IRE. 1960. V . 48. P. 359.

130.Heiblum M., Anderson I.M., Knoedler C.M. 11 Appl. Phys. Lett.

 

1986, V. 49. P. 207.

 

 

 

131.

Титце У., Шенк К. Полупроводниковая схемотехника. Пер.

с

 

нем, -

М . : М и р , 1983. -

512 с.

 

 

132.

Васильев Д. В., ВитолъМ.Р., Горшенков Ю.Г. и др. Радиотехни-

 

ческие цепи и сигналы, —

М . : Радио и связь,

1982. — 528 с.

 

133. Букингем М. Ш у м ы в электронных приборах

и системах. Пер,

с

 

англ. -

М . : М и р , 1986. -

398 с.

 

 

468

Список литературы

134.Van Vliet К.М. / / Proc. IRE. 1958. V.46. P. 1004.

135.Ржаное А. В. Электронные процессы на поверхности полупровод-

ников. — М.: Наука, 1971. — 480 с.

136.Аналоговые и цифровые интегральные схемы / Под ред. С.В.Якубовского. — М.: Сов. радио, 1979. — 336с.

137.Kilby J.S. - US Patent 3,138,743 (1964), приоритет от 6 февраля

1959 г.

138. Noyce R.N. - US Patent 2,981,877 (1961), приооитет от 30 июля 1959 г.

139.Моро У. Микролитография. В 2-х ч. Пер с англ. — М.: Мир, 1990.

140.Shaw J.M., Gelorme J.D., LaBianca N.C. et al. // IBM J. Res.

Develop. 1997. V.41. P. 81.

141. Сугано Т., Икома Т., Такэцси Ё. Введение в микроэлектронику. Пер. с яп. - М.: Мир, 1988. 320с.

142. Березин А.С., Мочалкина О. Р. Технология и конструирование интегральных микросхем. — М.: Радио и связь, 1983. — 232 с.

143. Пичугин И. Г., Таиров Ю.М. Технология полупроводниковых приборов. — М.: Высшая школа, 1984. — 288 с.

144. Риссел X., Руге И. Ионная имплантация. Пер. с нем. М., Наука, 1983, 360 с.

145. Ohl R. - US

Patent 2,750,541 (1956), приоритет от 31 января

1950 г.; Ohl R. / / Bell Syst, Techn. J. 1952. V.31. P. 104.

146. Бредов M.M.,

Комарова Р.Ф., Регель A. P. / / ДАН СССР. 1954.

Т. 99. С 69.

147.Cussins W.D. / / Proc. Phys. Soc. 1955. V. B68. P. 213.

148.Shockley W. - US Patent 2,787,564 (1957), приоритет от 28 октяб-

ря 1954 г.

149.Alvager Т., Hansen N.J. 11 Rev. Sci. Instrum . 1962. V . 33. P. 567.

150.Гусев B.M., Титов В. В., Гусева М.И., Куринный В. И. // ФТТ.

1965. Т. 7. С. 2077.

 

151. King W.J., Burrill J.Т., Harrison S. et al. / / Nucl .

Instr. Methods.

1965. V. 38. P. 178.

 

152. Двуреченский А. В., Качурин Г. А., Нидаев E.B.,

Смирнов Jl. С.

Импульсный о т ж и г полупроводниковых материалов. — М . : Наука, 1982. - 208 с.

153.

ConradJ.R., Radtke J.L., Dodd R.A. et al. 11 J. Appl. Phys. 1987,

 

V . 62. P. 4591.

 

 

154.

Chu P.K.

/ / Ptasma Phys. Control. Fusion. 2003. V. 45. P. 555.

155.

Случинская И. А. Основы материаловедения

и технологии полу-

 

проводников. - М . : М И Ф И , 2002. - 378 с.

 

 

156.

ФерриД., Эйкерс Л., Гринич Э. Электроника

ультрабольших ин-

 

тегральных схем. Пер. с англ. — М . : М и р , 1991. —

328 с,

157. Шагурин И. И., Петросянц К.О. Проектирование

цифровых мик-

 

росхем на элементах инжекционной логики. — М.: Радио и связь,

 

1984. -

231 с.

 

 

469 Список литературы

158. Washio К., Kondo М., Ohue Е. et al. / / I EDM Tech. Digest. 1999.

P.557.

159.Moll J.L., Tanenbaum M., Goldey J.M., Holonyak N. 11 Proc. IRE.

1956. V. 44. P. 1174.

160. Блихер А. Физика тиристоров. Пер. с англ. — Л.: Энергоиздат, 1981. - 264 с.

161. Евсеев Ю. А. Полупроводниковые приборы для мощных высоковольтных преобразовательных устройств. М.: Энергия, 1978. —

192с.

162.Герлах В. Тиристоры. Пер. с нем. М.: Энергоатомиздат, 1985. —

327с.

163.Воронин П. А. Силовые полупроводниковые ключи. Семейства, ха-

рактеристики, применение. — М.: Додэка-ХХ1, 2001. — 384 с.

164.Aldrich R. W.r Holonyak N. // J. Appl. Phys. 1959. V. 30. P. 1819.

165.Легирование полупроводников методом ядерных реакций / Под

ред. Л.С. Смирнова. — Новосибирск: Наука, 1981. — 182 с.

166.

Cleland/. W., Lark-Horovitz К., Pigg J.С. // Phys. Rev. 1950. V. 78.

 

P. 814.

167.

Gentry F.E., Scace R.I., Flowers J.K. Ц Proc. IEEE. 1965. V. 53.

P.355.

168.Lilienfeld J. E. - US Patent 1,745,175 (1930), приоритет от 8 октяб-

ря 1926 г.; Lilienfeld IE. - US Patent 1,900,018 (1933), приоритет от 28 марта 1928 г.

169.Shockley W., Pearson G.L. / / Phys. Rev. 1948. V. 74. P. 232.

170.Kahng D., Alalia M.M. // Solid-State Device Research Conf., Pitts-

burg, June 1960; Kahng D. - US Patent 3,102,230 (1963),

приори-

тет от 31 мая 1960 г.; Alalia M.M. - US Patent 3,056,888

(1962),

приоритет от 17 августа 1960 г.

 

171.Dacey G.C., Ross LM. Ц Proc. IRE. 1953. V.41. P.970.

172.Mead C.A. // Proc. IEEE. 1966. V. 54. P. 307.

173. Lee K., Choi J.-S., Sim 5.-P., Kim C.-K. / / IEEE Trans. Electron Devices. 1991. V. ED-38. P. 1905.

174.ThompsonS., Packan P., Bohr M. // Intel Technology J. 1998. № 3.

P.1.

175.Buchanan D.A. / / IBM J. Res. Develop. 1999. V. 43. P. 245.

176.Lucovsky G. Ц IBM J. Res. Develop. 1999. V. 43. P. 301.

177. Gusev E.P., Lu H.-C.,,Garfunkel E.L. et al. / / IBM J. Res. Develop.

1999. V. 43. P. 265.

178.

Kang L., Lee B.H., Qi W.-J.. et al. / /

IEEE Electron Device Lett.

 

2000. V. 21. P. 181.

 

 

 

 

 

179. Doyle В., Arghavani R.,

Barlage D. et

al. //

Intel

Technology

J.

 

2002. V. 6, № 2. P. 42.

 

 

 

 

 

180.

Thompson S., Alavi M.f

Hussein M. et al. //

Intel

Technology

J.

 

2002. V. 6, № 2. P. 5.

 

 

 

 

 

181.

Taur Y. 11 IBM J. Res. Develop. 2002. V. 46. P. 213.

 

 

470

Список литературы

182.Ruch J.G. И IEEE Trans. Electron Devices. 1972. V. ED-19. P. 652.

183.Abstreiter G., Brugger H., Wolf T. et al. // Phys. Rev. Lett. 1985.

V.54. P. 2441.

184.Ismail K, Nelson S.F., ChuJ.0., Meyerson B.S. // Appl. Phys. Lett.

1993. V.63. P. 660.

185. Rim K., Hoyt J.L., GibbonsIF. // IEEE Trans. Electron Devices.

2000. V. ED-47. P. 1406.

186. Lochtefeld A., Djomehri /./., Samudra G., Antoniadls D.A. // IBM

J. Res, Develop. 2002, V. 46. P. 347.

187.Dennard R.H. - US Patent 3,387,286 (1968), приоритет от 14 июля

1967 г.

188. AdlerE„ DeBrosseJ.К., GeisslerS.F. et al. // IBM J, Res. Develop.

1995. V. 39. P. 167.

189. Mandelman J. A., Dennard R.H., Bronner G.B. et al // IBM J. Res.

Develop. 2002. V, 46. P. 187.

190. WanlassF.M. - US Patent 3,356,858 (1967), приоритет от 18 июня

1963 г,

191. Izumi К., Doken М., Ariyoski И. // Electron. Lett. 1978. V. 14.

P. 593,

192.Shahidi G.G. // IBM J . Res. Develop. 2002. V. 46. P. 121.

193.Ning Т.Н. Ц IBM J. Res. Develop. 2002. V.46. P. 181.

194.Kahng D., Sze S.M. 11 Bell Syst. Techn. J. 1967. V.46. P. 1288; Kahng D. - US Patent 3,500,142 (1970), приоритет от 5 июня

 

1967 г.

 

 

195.

Frohman-Bentchkowsky D. // Appl. Phys. Lett. 1971. V. 18. P. 332;

 

Solid-State Electron. 1974. V. 17. P. 517.

 

 

196.

Bez R., Camerlenghi E., Modelli A., Visconti A. / /

Proc.

IEEE.

 

2003. V. 91. P. 489.

 

 

197.

Masuoka F., Asano M., Iwahashi H., Komuro T. //

IEDM

Techn.

Digest. 1984. P. 464.

198.deBlauwe J. // IEEE Trans. Nanotechnol. 2002. V. 1, P. 72.

199.Tiwari S., Rana F., Hanafi H. et al. // Appl. Phys. Lett. 1996. V, 68.

P.1377.

200.Dimitrakis P., Kapetanakis E., Tsoukalas D. et al. // Solid-State

 

Electron. 2004, V. 48. P. 1511.

 

 

201.

Banks G.J. // US Patent 5,218,569 (1993), приоритет от 8 февраля

 

1991 г.

 

Lincoln A. J.,

Pao H.C. et al. // IEDM-1967,

202.

R. Wegener H.A.,

 

Abstracts,

p. 58;

R. Wegener H.A. -

US Patent 3,590,337 (1971),

 

приоритет

от 14

октября 1968

г.;

Frohman-Bentchkowsky D. Ц

Proc, IEEE, 1970. V, 58. P. 1207.

203. Kahng D., Sundburg W.J., Boutin D.M., Ligenza J.R. 11 Bell Syst.

Techn. J. 1974. V. 53, P. 1723.

204.Shockley W. 11 Proc. IRE. 1952. V. 40. P. 1365.

205.Hooper W.W., Lehrer W.l. 11 Proc. IEEE. 1967, V. 55, P. 1237.

471 Список литературы

206.

Mimura Т., Hiyamizu S., Fujii Т., Nanbu К. //

Jap. J. Appl. Phys.

 

1980. V. 19. L225.

 

207.

Skealy J.R., Kaper V., Tilak V. et al. // J. Phys.: Condens. Matter.

 

2002. V. 14. P. 3499.

 

208.

Yamashita Y., Endoh A., Shinohara K. et al. / / IEEE Electron

 

Device Letters. 2002. V. 23. P. 573.

W. // Appl. Phys.

209.

Zeng A., Jackson M.K., van Hove M., DeRaedt

 

Lett. 1995. V. 67. P. 262.

 

210.ZuleegR., Hinkle V.O. // Proc. IEEE. 1964. V. 52. 1245; TesznerS., Gicquel R. Ц Proc. IEEE. 1964. V. 52. 1502; Nishizawa J., Terasa-

ki Т., Shibata J. 11 IEEE Trans. Electron Devices. 1975. V. ED-22.

P. 185.

211.Bozler C.O., Alley G.D. // Proc. IEEE. 1982. V, 70. P. 46.

212. Секен К.,

ТомпсетM. Приборы

с переносом

з а р я д а .

Пер. с ан-

гл. - М . : М и р , 1978. - 327 с.

 

 

 

213. Носов Ю.Р., Шилин В.А. Полупроводниковые

приборы

с зарядо-

вой связью . М., Сов. радио, 1976,

144 с; НосовЮ.Р., Шилин В.А.

О с н о в ы физики работы приборов с зарядовой с в я з ь ю . — М.: Нау-

ка, 1986. -

318 с.

 

 

 

214.Boyle W.S., Smith G.E. // Bell Syst. Techn. J . 1970. V. 49. P. 587.

215.Boyle W.S., Smith G.E. - US Patent 3,792,322 (1974), приоритет

от 19 апреля 1973 г.

 

 

216. Барб Д.Ф., Кэмпана С. — В сб.:

Достижения в технике передачи

и в о с п р о и з в е д е н и я

и з о б р а ж е н и й .

Т. 3. Под ред. Б.Кейзана. Пер.

с англ. -

М.: Мир,

1980. -

С. 180-305.

217. Пресс Ф. П. Ф о т о ч у в с т в и т е л ь н ы е

приборы с зарядовой связью. —

М . : Р а д и о

и связь,

1991. —

2 6 4 с.

218.

Левинштейн М.Е., Пожела Ю.К., Шур М.С. Эффект Ганна. —

 

М.: Сов. радио, 1975. - 288 с.

 

219.

Ridley В.К.,

Watkins Т.В. / / Proc. Phys. Soc. 1961. V. 78. P. 293.

220.

Hilsum C. / /

Proc. IRE. 1962. V. 50. P. 185.

221.

Gunn J.B. 11 Solid State Commun.

1963. V. 1. P. 88; Gunn J.B. //

 

IBM J. Res. Develop. 1964. V. 8.

P. 141; Gunn J.B. - US Patent

3,365,583 (1968), приоритет от 12 июня 1964 г.

222.Kroemer Н. / / Proc. IEEE. 1964. V. 52. P. 1736.

223.Alekseev E., Pavlidis D. 11 Solid-State Electron. 2000. V. 44. P. 941.

224. HauserJ.R., Glisson Т.Н., Littlejohn M.A. / / Solid-State Electron.

1979. V. 22. P. 487.

225. Бонч-Бруевич В.Л., Звягин И. П., Миронов А. Г. Доменная элек-

трическая неустойчивость в полупроводниках. — М.: Наука, 1972. - 414 с.

226.Copeland J. А. // Proc. IEEE. 1966. V. 54. P. 1479; CopelandJ. A. //

J.Appl. Phys. 1967. V. 38. P. 3096.

227.Eisele H. // Electron. Lett. 1998. V.34. P. 2412.

228.Llewellyn F.B., Bowen A.E. // Bell Syst. Techn. J. 1939. V. 18.

P.280.