Добавил:
Upload Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

Лебедев А.И. Физика полупроводниковых приборов

.pdf
Скачиваний:
752
Добавлен:
28.03.2015
Размер:
41.31 Mб
Скачать

412

Гл. 7. Опгпоэлектронные приборы

электронов

и дырок сильно различаются, в этом случае вклад

в шум-фактор вносит лишь флуктуация величины М для одного типа носителей. Если же коэффициенты ударной ионизации электронов и дырок близки и оба типа носителей дают сравнимый вклад в умножение носителей, то флуктуация числа рождаемых электронами носителей умножается на флуктуацию числа рождаемых дырками носителей, что и вызывает большую относительную флуктуацию величины М (шум-фактор оказывается существенно выше). Поэтому для получения высокого отношения сигнал/шум в лавинных фотодиодах их стремятся изготовить из полупроводников с сильно различающимися ап и схр. На с. 120 мы уже обсуждали, как использование сверхрешеток может помочь изменить отношение а п / о > .

Для получения низкого значения F необходим не только соответствующий выбор полупроводника, но и правильная конструкция лавинного фотодиода. Расчеты показывают, что если

в область сильного поля инжектируются только электроны, то

шум-фактор равен [14]

^г-^МО-г)- (7-зо)

Из этой формулы следует, что для получения низкого шумфактора необходимо, чтобы а р / а п было много меньше 1. Аналогичное (7.30) выражение с заменой отношения а р / а п на а п / а р может быть записано для случая, когда в область сильного поля инжектируются только дырки. Поэтому если для изготовления лавинного фотодиода выбран полупроводник с а п » а р , то для получения наименьшего значения F фоточувствительная область фотодиода должна располагаться так, чтобы в область умножения поступали электроны. В случае а п < а р такими носителями должны быть дырки.

В последнее время при разработке сверхбыстродействующих лавинных фотодиодов разработчики столкнулись с трудностью получения высокой квантовой эффективности в таких диодах. Дело в том, что для создания приборов с полосой пропускания более 20 ГГц необходимо, чтобы толщина фоточувствительной области не превышала ~0,5 мкм. Даже при использовании прямозонных полупроводников, для которых характерен высокий

коэффициент поглощения

света, при

одном проходе света

через структуру доля

поглощенных

квантов оказывается

небольшой. Чтобы преодолеть этот недостаток, была

предложена

конструкция лавинных фотодиодов с оптическим

резонатором.

7.1. Приемники излучения

413

Д ля получения высокого коэффициента отражения

( ^ 9 5 % )

«зеркал» этого резонатора, их изготавливают в виде многослойной структуры из различных полупроводников (например, SiojGeo.s/Si). Два таких зеркала заставляют падающее излучение многократно пройти через поглощающий слой и тем самым

позволяют увеличить

квантовую эффективность

фотодиода.

О различных подходах

и достижениях в создании

современных

быстродействующих лавинных фотодиодов можно

прочитать в

обзорах [288, 289].

 

V,

В

 

12,30

12,41

12,46

12,50

М

Рис. 7.13. Зависимость мощности сигнала и шума на выходе лавинного фотодиода от коэффициента умножения М и выбор оптимальных условий для получения наибольшего отношения сигнал/шум. На верхней шкале указано напряжение смещения на фотодиоде, необходимое для получения заданного коэффициента умножения [263]

Преимущества, которые дает использование лавинных фотодиодов, могут быть легко поняты из анализа экспериментальной кривой, показанной на рис. 7.13. Поскольку лавинные фотодиоды обычно используются для регистрации быстропротекающих процессов, то для получения высокого быстродействия их подключают к усилителям с низким входным сопротивлением (для получения низких значений постоянной времени заряда барьерной емкости р-п-перехода). В этой ситуации, в соответствии с рис. 7.10, основным источником шума фотоприемного устройства становится шум усилителя (шум сопротивления нагрузки). Поэтому, чтобы увеличить отношение сигнал/шум, необходимо использовать внутреннее усиление сигнала в лавинном фотодиоде. Пока уровень шума лавинного умножения мал по сравнению с шумами усилителя, отношение сигнал/шум быстро возрастает с увеличением М . Когда шумы лавинного умножения

414 Гл. 7. Опгпоэлектронные приборы

становятся сравнимыми с шумами усилителя, отношение сигнал/шум проходит через максимум и при дальнейшем увеличе-

нии

М начинает падать, поскольку шумы лавинного

умноже-

ния

возрастают с увеличением М обычно быстрее, чем

сигнал.

Оптимальным коэффициентом умножения МОПТ считают такое значение, при котором мощности шумов усилителя и лавинного фотодиода становятся равными (см. рис. 7.13). Лавинные фотодиоды изготавливаются не только из Si, но и из других полупроводников (Ge, GaAs, InAs, InSb, Hgi_x Cdx Te).

7.1.6. Преобразователи солнечной энергии (солнечные

элементы).

В связи с ростом потребления энергии и огра-

ниченностью

запасов традиционных сжигаемых видов топлива

в настоящее

время ведется поиск альтернативных источников

энергии, среди которых важное место занимает ее практически неистощимый и экологически абсолютно безопасный источник — Солнце. Согласно существующим прогнозам, одним из основных преобразователей солнечной энергии со временем могут стать солнечные батареи, которые позволяют с высокой эффективностью преобразовывать свет непосредственно в электрический ток и при этом не требуют больших эксплуатационных расхо-

дов [290].

Принципиальная возможность прямого преобразования света в электрический ток была впервые продемонстрирована в 1839 г. Беккерелем, который наблюдал возникновение фото-ЭДС при освещении покрытой хлоридом серебра платиновой проволоки, помещенной в разбавленный раствор азотной кислоты. В 1876 г. Адаме и Дэй наблюдали появление фото-ЭДС при освещении контакта селена с платиной, а первый

солнечный элемент на основе барьера A u - S e был создан

Фриттсом

в

1883 г. К 1914 г. на селеновых элементах с барьерным

слоем из

окиси меди была получена эффективность преобразования

около 1 %.

В

1940 г. Рассел Ол, работавший в Bell Laboratories, создал первый

солнечный элемент на р-п-переходе из кремния. Современная эра

полупроводниковых солнечных элементов началась в 1954 г., когда Чапен, Фуллер и Пирсон из той же лаборатории на неглубоком диффу-

зионном р-п-переходе, созданном

на поверхности кремния,

получили

к.п.д. преобразования

6 % [291].

В том же 1954 г. были

созданы

и первые солнечные

элементы на

основе барьеров Ш о т т к и

к CdS с

эффективностью преобразования 6 % [292]. В 1958 г. были запущены

первые

космические с п у т н и к и «Спутник-3» (СССР) и «Авангард-1»

( С Ш А ) ,

питание

которых производилось от кремниевых солнечных

батарей.

К 1960

г. к.п.д. кремниевых элементов достиг 14%.

Распределение энергии солнечного излучения по спектру показано на рис. 7.14. Кривая, обозначенная АМО, соответствует спектру излучения Солнца за пределами земной атмосферы.

7.1. Приемники излучения

415

2400

ж

 

N

1600

S

t-

 

CQ

 

J3

 

t-

 

и

 

о

 

S

 

со

800

5

и

 

я

 

о

 

н

 

я

 

X

 

 

о

0,2

0,8

1.4

2,0

2,6

длина волны, мкм

Рис. 7.14. Распределение солнечной энергии по спектру при различной толщине «воздушной массы». Заштрихованная область отвечает области видимого излучения [14]

При прохождении солнечного света через атмосферу его энергия немного ослабляется за счет поглощения излучения парами воды в инфракрасной области, поглощению ультрафиолетового излучения озоном и рассеянию света находящимися в атмосфере частицами пыли и аэрозолями. Изменение интенсивности солнечного излучения при прохождении атмосферы характеризуется «толщиной воздушной массой» (AM), которая численно равна секансу угла между положением Солнца и зенитом. Приведенные на рис. 7.14 спектры AMI и АМ2 отвечают спектральному распределению энергии Солнца, находящегося в зените и под углом 30° к горизонту. Полная мощность солнечного излучения при AMI составляет 92,5 мВт/см2, при АМ2 — 69,1 мВт/см2 .

Фотовольта ические приемники, рассмотренные нами в п. 7.1.4, идеально подходят для создания фотоэлектрических преобразователей солнечной энергии в электрический ток. Однако при этом в конструкцию этих приборов требуется ввести изменения, необходимые для получения высокого к.п.д.

Поскольку свет, проникающий в полупроводник, создает там электронно-дырочные пары, которые разделяются электрическим полем р-п-перехода и создают фотоэлектрический ток, вольт-амперную характеристику фотоэлектрического преобразователя можно представить как вольт-амперную характеристику р-n-перехода, смещенную по оси ординат на величину

416

Гл. 7. Опгпоэлектронные приборы

фотоэлектрического тока (см. рис. 7 . 1 5 ) ! ) :

I = I s ехр

- 1 - I i .

(7.31)

Здесь I — ток на выходе преобразователя, I i — фототок, получаемый от фотопреобразователя в режиме короткого замыкания и определяемый долей поглощенной полупроводником солнечной энергии, а 1а — ток насыщения р-п-перехода (см. (1.31)), Напряжение холостого хода на выходе фотопреобразователя может быть найдено из (7.31), если положить / = 0:

(7.32)

Площадь заштрихованного прямоугольника на рис. 7.15 показывает, какую полезную мощность электрической энергии можно получить от такого преобразователя. Эта мощность может быть рассчитана из условия максимума произведения V • I, в котором V и I связаны уравнением (7.31). Нетрудно показать, что напряжение и ток на выходе преобразователя, отвечающие максимальной выходной мощности, являются решениями следующего трансцендентного уравнения:

Выходная мощность фотопреобразователя при оптимальной нагрузке может достигать 80% от произведения VxxIL (отношение

VmIm/VxxlL называется фактором заполнения).

Изменение температуры оказывает заметное влияние на к.п.д. солнечных элементов. С одной стороны, с ростом температуры диффузионные длины возрастают, что увеличивает эффективность собирания носителей и увеличивает 1ь• С другой стороны, увеличение температуры вызывает экспоненциально быстрое возрастание тока насыщения (см, п. 1.2.1), в результате чего, в соответствии с уравнением (7.32), напряжение холостого хода уменьшается. Эксперимент показывает, что второй фактор преобладает, и в солнечных элементах из Si и GaAs к.п.д. преобразования уменьшается с ростом температуры со скоростью «0,4%/град.

') Мы используем эту формулу полагая, что при высоком прямом смещении вольт-амперная характеристика р-п-перехода уже определяется током инжекции.

7.1. Приемники излучения

417

Чтобы определить, из ка-

 

120

 

 

 

 

 

 

кого

 

полупроводника

наи-

 

80

 

 

 

 

 

более

выгодно

изготавли-

 

 

 

 

 

 

вать

 

преобразователи

сол-

 

40

 

 

 

 

 

 

нечной

энергии,

необходи-

 

 

 

 

 

 

VXK

<

 

 

 

 

 

 

мо рассчитать

теоретический

0

 

 

4

 

/

к.п.д.

преобразователя

как

s

 

 

4

t

 

 

 

 

 

 

*

,

* * *

 

функцию ширины

запрещен-

 

- 4 0

 

 

»

 

 

ной

 

зоны

полупроводника

 

 

 

II

»

* •

 

 

 

80

 

 

 

 

 

Ед.

 

Ясно,

что

чем

боль-

 

 

\

 

 

 

ше

Еду

тем

меньше

бу-

 

 

1

"

 

 

 

 

- 1 2 0

 

 

«

'

дет плотность тока насыще-

 

 

 

 

 

 

 

- 0 , 8

- 0 , 4

0

 

0,4

0,8 1.2

ния

 

Js

и

тем

выше

бу-

 

 

 

 

V, В

 

 

дет

 

Уж- С другой сто-

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

роны,

плотность

фототока

Рис. 7.15. Вольт-амперная

характери-

JL

уменьшается

с ростом

стика освещенного солнечного элемен-

Ед,

 

так

 

как

доля

кван-

та. Площадь

заштрихованного прямо-

 

 

угольника равна максимальной выход-

тов

 

в

спектре

солнечного

 

ной мощности, которую можно полу-

излучения,

которые могут со-

 

чить от данного

преобразователя.

здавать электронно-дырочные пары, уменьшается при сдвиге края собственного поглощения в коротковолновую область. Считая, что ток насыщения р-п-перехода описывается уравнением (1.31), для известного распределения энергии в спектре излучения Солнца можно рассчитать зависимость теоретического к.п.д. преобразователя солнечной энергии от ширины запрещенной зоны полупроводника. Эта зависимость, рассчитанная для элемента, работающего при 300 К при освещении солнечным излучением через воздушную массу толщиной АМ1,5, показана на рис. 7.16 [14]. Видно, что для изготовления солнечных элементов наиболее подходят полупроводники с шириной запрещенной зоны в интервале 1-1,6 эВ. Максимальная теоретическая эффективность преобразования, равная 31%, достигается при Ед =

-1,35 эВ.

Концентрация солнечного излучения с помощью зеркальных или линзовых оптических систем позволяет за счет увеличения напряжения холостого хода увеличить к.п.д. преобразователя теоретически до 3 7 % (см. рис. 7.16).

Дальнейшее повышение к.п.д. возможно при использовании

каскадных фотопреобразователей, изготовленных из освещаемых

«насквозь» последовательно включенных р-n-переходов из нескольких полупроводников с разной шириной запрещенной зоны (см. рис. 7.17).

Каждая из секций такого преобразователя

осуществляет фотоэлектри-

ческое преобразование определенного

участка спектра излучения

14 А.И. Лебедев

 

418

Гл. 7. Опгпоэлектронные приборы

&

t* В4

Рис. 7.16. Теоретический к.п.д. солнечных элементов, изготовленных из разных полупроводников, при естественном освещении (с=1) и 1000-кратной концентрации солнечного излучения (с = 1000). Толщина воздушной массы равна AMI,5» Т = 300 К [14]

 

верхний контакт

Солнца,

при

этом

ЭДС

по-

 

просветляющее

 

следовательно

 

включенных

 

 

покрытие

 

 

 

каскадов

суммируется.

Д л я

n-AUnP

 

 

 

 

третии

электрического

соединения

n^GalnP

 

элемент

отдельных

каскадов

исполь-

p-G&InP

 

второй

зуются

 

туннельные

р - п - п е -

p-AlOalnP

 

реходы. Теоретический к.п.д.

 

туннельный

/т-f-GaAs

 

переход

преобразования для

двухкас-

я+-ОаА$

 

 

 

кадного

 

солнечного

элемента

я-GaInP

 

второй

составляет

50 %,

трехкаскад-

n-GaAe

 

элемент

ного —

5 6 %

[14]. В настоящее

 

 

 

p-GaAs

 

первый

время на двух- и трехкас-

p-G&InP

 

кадных

 

монолитных

солнеч-

/H-GftAs

 

туннельный

ных элементах со струк-

 

переход

/i+-GaA$

 

первый

турами

 

Ino,5Gao(5P/GaAs

и

л-AlGaAi

 

Irio.44Gao,56P/Ino,o8Gao,92 A s / G e

 

элемент

 

получены

к. л. д.

преобразо-

л-Ge

 

нижний

 

вания

30,3%

и

32,0%

при

подложка p-Ge

 

 

контакт

 

нормальном

 

(неконцентриро-

 

 

 

 

 

Рис. 7.17, Устройство

трехкаскадного фо-

ванном) освещении [293, 294].

В условиях

 

концентрирован-

топреобразователя

[293]

 

 

 

ного освещения

на

структуре

 

 

 

 

I n G a P / G a A s / G e в

июле

2003

года

достигнут к.п.д, преобразования

36,9% [295], а в декабре 2006

г. эта цифра возросла до 40,7

%.

 

7.1. Приемники излучения

419

Максимальный к.п.д. преобразования, полученный на однокаскадных солнечных элементах, в условиях нормального освещения (AMI,5), в настоящее время составляет 24,7% для монокристаллического Si и 25,1% для GaAs [293, 294], что оказывается несколько ниже теоретического значения. Связано это с тем, что вольт-амперные характеристики реальных р - п - переходов отличаются от идеальных. Во-первых, как мы отмечали в п. 1.2.2, в полупроводниках с Е д > 1 эВ существенное влияние на вольт-амперные характеристики начинает оказывать рекомбинация в области пространственного заряда. Из-за этого напряжение холостого хода фотопреобразователя оказывается ниже, чем в идеальном случае, а сама вольт-амперная характеристика — более пологой, что дополнительно снижает величину напряжения Vm в режиме оптимальной нагрузки. Во-вторых, при большом токе нагрузки напряжение на выходе элемента дополнительно уменьшается из-за падения напряжения на сопротивлении контактов.

Конструкция простейшего солнечного

элемента

на основе

р-п-перехода показана на рис. 7.18. Для

получения

высокого

напряжения холостого хода (которое не может превышать кон-

тактную разность потенциалов <f>k, см. п.

1.1) и для обеспечения

 

 

2 см

лицевой

 

 

 

контакт

 

 

 

контактная

 

 

 

гребенка

 

 

Q

 

просветляющее

 

свет

р-гг-лереход

покрытие

М

М

 

 

 

 

0,25 мкм

0,5 мм г

р-Si, 1 Омсм

 

i

 

 

тыловой

 

 

 

 

 

 

контакт

Рис. 7.18, Устройство простейшего

кремниевого

солнечного элемента с р - л

переходом и лицевым контактом в виде контактной гребенки к сильно легиро ванному поверхностному слою

низкого сопротивления лицевого контакта поверхностный слой всегда легируется сильно. Контактная гребенка, создаваемая на поверхности солнечного элемента и обычно затеняющая 5—10% поверхности элемента, должна занимать как можно

14*

420

Гл. 7. Опгпоэлектронные приборы

меньшую площадь, обеспечивая при этом достаточно низкое сопротивление контакта. Поверхностный легированный слой намеренно делается очень тонким (0,1-0,5 мкм), чтобы элемент сохранял высокую эффективность преобразования и в коротковолновой части спектра излучения Солнца, которое поглощается в очень тонком слое полупроводника (сильно легированный слой характеризуется невысоким временем жизни и поэтому носители, рождаемые вблизи поверхности полупроводника, наиболее сильно подвержены поверхностной рекомбинации). Для уменьшения отражения света от границы раздела кремний-воздух на поверхности солнечных фотопреобразователей создается просветляющее покрытие (из SiC>2, Si3N4, ТагОб) или поверхности элемента придается рифленая форма. В последнем случае геометрия бороздок на поверхности подбирается так, чтобы поток света, отраженный от поверхности элемента, вновь направлялся на солнечный элемент; это обеспечивает более полное поглощение света [14].

Отдельный кремниевый солнечный элемент площадью 2 см2

развивает напряжение холостого хода V^x = 0,5-0,6

В

и имеет

ток короткого замыкания 30-80 мА при освещении

AM 1,5;

последовательно-параллельное соединение таких

элементов

в солнечную батарею позволяет получить от нее существенно ббльшие напряжение и ток.

При использовании солнечных элементов в условиях космоса особое значение приобретает вопрос об их радиационной стойкости. Дело в том, что облучение этих элементов частицами высоких энергий приводит к рождению в полупроводнике радиационных дефектов. Влияние этих дефектов на время жизни можно с хорошей точностью описать уравнением

-

= 1 + КФ,

(7.34)

г

т0

 

где г и то — время жизни в облученном и необлученном материале, Ф — поглощенная доза радиации, а К — константа, зависящая от вида частиц, Уменьшение времени жизни приводит к уменьшению диффузионной длины (то есть уменьшению эффективности собирания электронно-дырочных пар) и увеличению тока насыщения и тока рекомбинации в области пространственного заряда. Оба эти фактора вызывают уменьшение выходной мощности солнечных элементов (их деградацию).

В работе [296] было показано, что повысить радиационную стойкость кремниевых р-п-переходов можно дополнительно легируя кристалл примесью лития, которая легко диффундирует

7.1. Приемники излучения

421

в Si и образует комплексы с радиационными дефектами. Эффективно нейтрализуя эти дефекты, литий препятствует деградации времени жизни. Для уменьшения повреждаемости солнечных батарей, работающих в условиях космоса, поверхность элементов дополнительно защищается с помощью специального покрытия.

Альтернативным вариантом солнечных элементов, пригодных для использования в условиях космоса, являются солнечные элементы из GaAs и гетероструктур AlGaAs/GaAs. Более высокая радиационная стойкость этих элементов по сравнению с кремнием, связанная с более высоким коэффициентом поглощения в прямозонных полупроводниках и возможности за счет этого уменьшить эффективную толщину активной области прибора, позволила, в частности, использовать такие солнечные элементы для питания орбитальной станции «Мир», проработавшей в космосе около 15 лет [293].

Для увеличения к.п.д. кремниевых солнечных элементов, чувствительность которых быстро уменьшается в синей области спектра, в 70-е годы была предложена конструкция так называе-

мого люминесцентного

концентратора. Идея этого устройства

довольно проста: если на поверхность солнечного элемента нанести слой хорошо люминесцирующего органического красителя, который поглощал бы синее и ультрафиолетовое излучение и переизлучал бы свет в области, в которой чувствительность элемента заметно выше, то удалось бы более эффективно преобразовывать эту коротковолновую часть солнечного излучения в электрический ток. Однако реализации этой идеи мешала недостаточная светостойкость органических красителей. В 2000 г. авторы работы [297] предложили использовать в люминесцентных концентраторах полупроводниковые квантовые точки. Преимуществом квантовых точек по сравнению с органическими красителями является их стабильность, возможность перестройки энергии излучения подбором размера точек, большая разность энергий поглощенного и излученного квантов. Квантовые точки CdSe/CdS вполне подходят для этой цели, так как их квантовый выход люминесценции превышает 80%. Первые работы по использованию люминесцентных концентраторов из квантовых точек позволили получить относительное увеличение к.п.д. солнечного элемента на 6 - 8 % , а максимальное ожидаемое увеличение составляет 20 - 30% [298].

Ш и р о к о м у использованию фотоэлектрических преобразователей солнечной энергии препятствует их сравнительно высокая стоимость.