
Лебедев А.И. Физика полупроводниковых приборов
.pdf7.1. Приемники |
излучения |
383 |
При энергиях кванта Ьи » Ед |
в поглощении начинают |
про- |
являться электронные переходы из глубоко лежащих валентных зон или даже с остовных оболочек составляющих полупроводник
носителей часто оказывается настолько высокой, что при своем движении в образце эти носители начинают сами ионизовать полупроводник, вызывая появление целого каскада вторичных
электронно-дырочных |
пар. Поэтому квантовый выход |
фотоио- |
низации г], то есть |
число электрон но-дырочных пар, |
возбуж- |
даемых одним квантом электромагнитного излучения, в случае квантов высокой энергии может заметно превышать единицу. В этом случае квантовый выход может быть оценен с помощью эмпирической формулы 77 « TIOJ/3E9 [108]. Механизмы поглощения излучения в рентгеновской области спектра будут более
подробно рассмотрены нами в п. 7.1.7.
В области спектра hw < Eg (см. рис. 7 . la) энергия кванта меньше энергетического зазора между краем валентной зоны и зоной проводимости полупроводника и поэтому ее недостаточно, чтобы создать электронно-дырочную пару. Электронные переходы в этой области спектра возможны либо между энергетическим уровнем в запрещенной зоне и одной из разрешен-
ных зон (примесное поглощение), либо внутри одной из зон
{поглощение на свободных носителях). Примесное поглощение, при котором в одной из разрешенных зон появляются неравновесные носители, также приводит к увеличению проводимости образца (фотопроводимости); в данном случае, поскольку неравновесные носители возникают в результате примесного поглощения, фотопроводимость называют примесной фотопроводимостью.
Поглощение света на свободных носителях, при котором энергия квантов идет на разогрев носителей в разрешенных зонах, также может проявляться в изменении проводимости образца, поскольку подвижность носителей зависит от их энергии. Так как концентрация носителей заряда в полупроводнике при этом остается неизменной, а изменение проводимости целиком обусловлено изменением подвижности, этот механизм фотопроводимости часто называют р-фото проводимостью [263]. Хотя величина этого эффекта невелика, он может быть использован для регистрации СВЧ излучения и излучения в дальней инфракрасной области спектра, поскольку он является единственным нетепловым (а, следовательно, быстрым по времени отклика) способом регистрации излучения. Характерное время отклика
384 Гл. 7. Опгпоэлектронные приборы
^-фотопроводимости равно времени релаксации энергии в полупроводнике,
Поглощение в полосе остаточных лучей (на оптических фононах) и многофононное поглощение (см. рис. 7.1а) происходит с прямой передачей энергии электромагнитной волны колебаниям решетки и не сопровождается ни возбуждением неравновесных носителей, ни разогревом носителей. Поэтому эти механизмы поглощения могут приводить только к болометрическому эффекту (см. выше).
7.1.2. Фотоприемники, основанные на явлении фотопро-
водимости. |
Фотоприемник, основанный на |
явлении |
фотопро- |
|||||||
водимости, |
— |
фотосопротивление |
(фоторезистор) |
|
— |
пред- |
||||
ставляет собой |
пластинку или тонкую |
пленку |
полупроводника, |
|||||||
|
свет |
на |
противоположных |
краях |
||||||
|
которой |
созданы |
омические |
|||||||
|
|
|
контакты |
(см. |
|
рис. 7.2). |
||||
|
|
|
При |
освещении |
|
пластинки |
||||
|
|
|
светом |
в |
полупроводнике |
|||||
|
|
|
в |
|
результате |
примесного |
||||
|
|
|
или |
собственного |
поглоще- |
|||||
|
|
|
ния |
возбуждаются |
нерав- |
|||||
Рнс. 7.2. Схема включения образца по- |
новесные |
носители заряда. |
||||||||
лупроводника в электрическую цепь для |
В |
|
резул ьтате |
увеличен и я |
||||||
наблюдения |
фотопроводимости |
концентрации |
свободных |
|||||||
носителей проводимость образца |
возрастает |
и |
это |
может |
быть |
зарегистрировано с помощью схемы, показанной на рис. 7.2.
Найдем условия получения максимального сигнала фотоотклика в схеме, приведенной на рис. 7.2. Падение напряжения на фоторезисторе, очевидно, равно
Лоб2— |
= Е |
1 |
(7.2) |
U = EnЯобт, + Дн |
" 1 + СГ Ян ' |
|
|
где Яобр — сопротивление образца, |
о = |
1/ЯобР — его |
проводимость, |
а Ян — сопротивление нагрузки. Если при освещении образца его проводимость возрастает на величину До*, то отношение изменения напряжения на образце к вызвавшему его малому изменению проводимости составит
Аа = ( 1 + ^ Д я ) 2 ' (7.3)
Условие оптимального согласования фотосопротивления с нагрузкой, при котором отношение AU/Aa максимально, можно найти, приравняв нулю производную выражения (7.3) по R„. Нетрудно убедиться, что
386 |
Гл. 7. Опгпоэлектронные |
приборы |
|
|
Решение уравнения (7.5) будем искать в виде |
|
|||
6п(х) |
= Ае'ах |
-f Be~x?L* |
+ Cex?L\ |
(7.7) |
где L n = \ J D n r n — диффузионная длина электронов. Подставляя это решение в (7.5) и учитывая (7.4) и (7.6), находим:
Л = / 0 ( 1 - Д ) ? о г В | д = е - * - в ^
1 — a2L\ |
' |
|
tdlbn_t-dlL^ |
(7.8) |
|
|
_ g—d/Lп |
|
|
С = |
АаЬп |
|
|
|
•d/Ln _ e~djLn ' |
|
|
В предельных случаях (а) очень сильного {ad, aLn |
1) и (б) |
очень слабого (ad, aLn <t£ 1) поглощения распределение |
носите- |
лей по глубине имеет следующий вид: |
|
|
|
, . d — х |
|
5п(х) |
PS J0 (l - R)T}Tn |
ch |
(7.9) |
|
L n |
„U ( d _ \ ' |
—ах
6п(х) « Iq(\ — R) rjarn е
Видно, что характерная длина, на которой концентрация неравновесных носителей изменяется в е раз, составляет L n в случае
(а) и 1/а в случае (б).
При собственном поглощении, когда свет возбуждает носители обоих знаков, для расчета пространственного распределения неравновесных носителей необходимо совместно решить уравне-
ния непрерывности для электронов и дырок, в которых |
следу- |
ет учесть существование электрического поля (поля Дембера), |
|
возникающего из-за различия коэффициентов диффузии |
двух |
типов носителей. Эта задача |
по сути уже рассматривалась нами |
||
в п. 1.2.1 и мы знаем, что |
ее |
решение при тп = тр формально |
|
сводится к решению уравнения |
(7.5), в котором вместо Dn стоит |
||
коэффициент амбиполярной диффузии Da |
(1.25). Это позволяет |
||
использовать полученные выше решения |
(с заменой Dn на Da) |
||
и в случае собственного поглощения при тп — Тр. |
|||
Теперь, зная профиль распределения концентраций носи- |
|||
телей по глубине образца, |
несложно рассчитать его полную |
390 |
Гл. 7. Опгпоэлектронные приборы |
фотоприемника надо стремиться уменьшать его объем (используя при этом фокусировку падающего излучения), а сам полупроводник должен характеризоваться большим временем жизни неравновесных носителей и проводимостью, близкой к собственной.
Наряду с вольт-ваттовой чувствительностью иногда вводится понятие чувствительности по току, которая определяется как отношение вольт-ваттовой чувствительности к сопротивлению образца. Путем несложных преобразований формулу (7.16) можно переписать в виде
|
, |
_ |
g(l — Щ"П |
Тп |
Тр |
(7,17) |
|
Добр |
|
2 Ъш |
^прол.п |
^прол.р |
|
1 |
|
|
||||
где tnpon.i = |
12/(щЕ„/2) |
— время пролета |
г-того типа носителей |
через образец.
В связи с формулой (7.17) |
следует обратить внимание на |
одну особенность фотопроводимости полупроводников, содержа- |
|
щих уровни прилипания. Рассмотрим в качестве примера фото- |
|
сопротивления из CdS. Дырки, возникающие при собственном |
|
поглощении света в этих кристаллах, быстро захватываются на |
|
акцепторные уровни прилипания |
(связанные с примесью Си ИЛИ |
с вакансиями кадмия) и могут |
удерживаться на них в течение |
достаточно долгого ( ~ 1 0 - 2 с) времени. В то же время |
возникаю- |
щие при поглощении света электроны не захватываясь |
движутся |
к положительному контакту и через характерное время tnpon уходят из образца. Поскольку после их ухода электронейтральность образца нарушается, то для ее поддержания с другого контакта в образец входят новые электроны, которые за то же время пролетают по образцу и уходят в контакт. Такое движение электронов продолжается до тех пор, пока дырки не будут выброшены с уровней прилипания и не рекомбинируют с электронами. Таким
образом, среднее число |
носителей, дающее вклад |
в фототок |
при поглощении одного |
фотона, в этих кристаллах |
оказывается |
значительно больше единицы. Отношение г/Ьп р о л , характеризующее величину этого эффекта, называется коэффициентом
усиления фототока и в рассмотренном нами примере может
достигать значений порядка 105 [263]. Коэффициент усиления фототока не следует путать с квантовым выходом фотоионизации г}, который в рассмотренном случае остается близким к единице. Из формулы (7.17) следует, что усиление фототока дополнительно увеличивает вольт-ваттовую чувствительность фотоприемника.
7.1. Приемники |
излучения |
391 |
Быстродействие фотоприемников. Быстродействие фотоприемников определяется тем, насколько быстро электрический сигнал на выходе приемника может следовать за изменением интенсивности падающего излучения. Его обычно характеризуют постоянной времени, с которой сигнал на выходе приемника спадает после выключения освещения. Поскольку изменение концентрации неравновесных носителей в полупроводнике при этом определяется процессами рекомбинации, то время релаксации сигнала фотопроводимости часто отождествляют с временем жизни неравновесных носителей заряда.
На самом деле вопрос о кинетике затухания сигнала фотопроводимости не так прост. Равенство времени релаксации фотопроводимости и времени жизни выполняется только тогда, когда генерация и рекомбинация неравновесных носителей идет по одному и тому же каналу. Примерами могут служить примесный полупроводник, в котором возбужденный светом электрон через некоторое время захватывается на тот же примесный центр, или Hgi-sCdxTe, в котором неравновесные электроны и дырки, возбуждаемые при межзонных переходах, рекомбинируют друг с другом путем Оже-рекомбинации (с передачей энергии третьей частице).
В полупроводниках, содержащих глубокие уровни в запрещенной зоне, часто наблюдается явление прилипания носителей, о котором мы уже говорили в предыдущем разделе. В этом случае для описания фотопроводимости необходимо ввести два характерных времени — время жизни фотопроводимос- ми Тфп> которое равно среднему времени, которое возбужденный носитель проводит в разрешенной зоне и в течение которого он участвует в проводимости, и время релаксации фотопроводимости ТреЛ, которое равно времени восстановления равновесного заполнения уровней в запрещенной зоне. Существенное различие этих времен связано с тем, что перед рекомбинацией возбужденный носитель много времени проводит на уровнях прилипания, выбрасываясь с которых и снова захватываясь на которые, он лишь в течение очень небольшой доли времени своего существования участвует в проводимости образца. Описанная особенность явления фотопроводимости в полупроводниках с уровнями прилипания позволяет заключить, что найденные из измерений фотопроводимости значения Тфп лишь в редких случаях могут интерпретироваться как время жизни неравновесных носителей.