Добавил:
Upload Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

Лебедев А.И. Физика полупроводниковых приборов

.pdf
Скачиваний:
752
Добавлен:
28.03.2015
Размер:
41.31 Mб
Скачать

382

Гл. 7. Опгпоэлектронные приборы

 

 

 

 

поглощение

 

10:

 

 

1

 

1

 

 

 

 

1 0

5 -

 

 

в полосе

 

 

 

 

 

 

 

 

 

край

 

 

 

 

 

1

 

/

 

 

 

 

 

 

остаточных лучей

 

 

 

 

1

 

/

 

 

 

 

 

 

собственного

 

 

 

 

 

 

 

1

 

/

 

 

 

 

1

 

 

 

 

 

-

ю4

 

 

1/

 

плазменная

 

переходы

 

 

 

 

 

 

 

ft

 

иежэои*

 

 

 

 

 

 

 

 

 

из d-зоны

 

 

 

 

 

 

I

 

 

 

; ные пе- щ

область

 

2

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

о

 

 

 

 

 

* ю3

' реходы

 

 

 

 

С

 

 

 

 

 

«

ю2

4 , 4 , 4 край

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

-

собственного

 

 

 

 

 

 

 

иногофонное

 

 

I

 

поглощения

 

б

 

 

 

 

 

поглощение

 

 

1

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

1

1

|

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

10

20

30

40

50

10

0

 

 

5

10

15

20

25

 

 

длина волны, мкм

 

 

 

 

 

 

 

энергия фотона,

эВ

 

Рис. 7.1. Спектры поглощения полупроводника в инфракрасной (а) и ультрафиолетовой (б) областях спектра

Известно, что при поглощении излучения тела нагреваются. Если телом является полупроводник, сопротивление которого сильно зависит от температуры, то поглощение излучения будет приводить к изменению сопротивления образца, которое можно легко зарегистрировать. Болометры — тепловые приемники излучения, работа которых основана на измерении изменений сопротивления [262], — конструируются так, чтобы они практически полностью поглощали падающее на них излучение и поэтому они имеют практически постоянную чувствительность во всем диапазоне электромагнитного спектра. Недостатками болометров являются их низкая чувствительность и высокая инерционность (0,01-0,1 с).

Поглощение электромагнитного излучения в области соб-

ственного поглощения (huj ^ Ед, см. рис. 7.1 б) сопровождается возбуждением электронно-дырочных пар и появлением неравновесных электронов и дырок. Наблюдаемое при поглощении света изменение проводимости полупроводника называют явлением фотопроводимости (фоторезистивным эффектом), Фотопроводимость, возникающую при поглощении света в области соб-

ственного

поглощения,

называют собственной

фотопроводи-

мостью.

В отличие от

болометрического эффекта, фотоотклик

в эффекте фотопроводимости обычно является быстрым и определяется временем жизни неравновесных носителей в полупроводнике 1).

') Вопрос о кинетике фотопроводимости в полупроводниках с несколькими примесными уровнями, когда могут проявляться эффекты прилипания носителей, будет рассмотрен нами на с. 391.

7.1. Приемники

излучения

383

При энергиях кванта Ьи » Ед

в поглощении начинают

про-

являться электронные переходы из глубоко лежащих валентных зон или даже с остовных оболочек составляющих полупроводник

носителей часто оказывается настолько высокой, что при своем движении в образце эти носители начинают сами ионизовать полупроводник, вызывая появление целого каскада вторичных

электронно-дырочных

пар. Поэтому квантовый выход

фотоио-

низации г], то есть

число электрон но-дырочных пар,

возбуж-

даемых одним квантом электромагнитного излучения, в случае квантов высокой энергии может заметно превышать единицу. В этом случае квантовый выход может быть оценен с помощью эмпирической формулы 77 « TIOJ/3E9 [108]. Механизмы поглощения излучения в рентгеновской области спектра будут более

подробно рассмотрены нами в п. 7.1.7.

В области спектра hw < Eg (см. рис. 7 . la) энергия кванта меньше энергетического зазора между краем валентной зоны и зоной проводимости полупроводника и поэтому ее недостаточно, чтобы создать электронно-дырочную пару. Электронные переходы в этой области спектра возможны либо между энергетическим уровнем в запрещенной зоне и одной из разрешен-

ных зон (примесное поглощение), либо внутри одной из зон

{поглощение на свободных носителях). Примесное поглощение, при котором в одной из разрешенных зон появляются неравновесные носители, также приводит к увеличению проводимости образца (фотопроводимости); в данном случае, поскольку неравновесные носители возникают в результате примесного поглощения, фотопроводимость называют примесной фотопроводимостью.

Поглощение света на свободных носителях, при котором энергия квантов идет на разогрев носителей в разрешенных зонах, также может проявляться в изменении проводимости образца, поскольку подвижность носителей зависит от их энергии. Так как концентрация носителей заряда в полупроводнике при этом остается неизменной, а изменение проводимости целиком обусловлено изменением подвижности, этот механизм фотопроводимости часто называют р-фото проводимостью [263]. Хотя величина этого эффекта невелика, он может быть использован для регистрации СВЧ излучения и излучения в дальней инфракрасной области спектра, поскольку он является единственным нетепловым (а, следовательно, быстрым по времени отклика) способом регистрации излучения. Характерное время отклика

384 Гл. 7. Опгпоэлектронные приборы

^-фотопроводимости равно времени релаксации энергии в полупроводнике,

Поглощение в полосе остаточных лучей (на оптических фононах) и многофононное поглощение (см. рис. 7.1а) происходит с прямой передачей энергии электромагнитной волны колебаниям решетки и не сопровождается ни возбуждением неравновесных носителей, ни разогревом носителей. Поэтому эти механизмы поглощения могут приводить только к болометрическому эффекту (см. выше).

7.1.2. Фотоприемники, основанные на явлении фотопро-

водимости.

Фотоприемник, основанный на

явлении

фотопро-

водимости,

фотосопротивление

(фоторезистор)

 

пред-

ставляет собой

пластинку или тонкую

пленку

полупроводника,

 

свет

на

противоположных

краях

 

которой

созданы

омические

 

 

 

контакты

(см.

 

рис. 7.2).

 

 

 

При

освещении

 

пластинки

 

 

 

светом

в

полупроводнике

 

 

 

в

 

результате

примесного

 

 

 

или

собственного

поглоще-

 

 

 

ния

возбуждаются

нерав-

Рнс. 7.2. Схема включения образца по-

новесные

носители заряда.

лупроводника в электрическую цепь для

В

 

резул ьтате

увеличен и я

наблюдения

фотопроводимости

концентрации

свободных

носителей проводимость образца

возрастает

и

это

может

быть

зарегистрировано с помощью схемы, показанной на рис. 7.2.

Найдем условия получения максимального сигнала фотоотклика в схеме, приведенной на рис. 7.2. Падение напряжения на фоторезисторе, очевидно, равно

Лоб2

= Е

1

(7.2)

U = EnЯобт, + Дн

" 1 + СГ Ян '

 

где Яобр — сопротивление образца,

о =

1/ЯобР — его

проводимость,

а Ян — сопротивление нагрузки. Если при освещении образца его проводимость возрастает на величину До*, то отношение изменения напряжения на образце к вызвавшему его малому изменению проводимости составит

Аа = ( 1 + ^ Д я ) 2 ' (7.3)

Условие оптимального согласования фотосопротивления с нагрузкой, при котором отношение AU/Aa максимально, можно найти, приравняв нулю производную выражения (7.3) по R„. Нетрудно убедиться, что

7.1. Приемники излучения

385

оптимальное согласование достигается при R„ = Я^р, при котором AU/Aa = -EnRy,/4. Из последней формулы следует, что в условиях оптимального согласования напряжение сигнала на выходе схемы связано с изменением проводимости образца уравнением

'4 <70

где через оо обозначена темновая проводимость образца.

Задача создания максимально чувствительного фотоприемника состоит в нахождении такой геометрии прибора и выборе параметров полупроводника, при которых при заданном потоке излучения получается максимальное отношение Д<т/<7о- Чтобы найти эти условия, рассчитаем распределение возбуждаемых светом неравновесных носителей в объеме полупроводника.

Если на интересующей нас длине волны коэффициент поглощения в полупроводнике равен а, то темп объемной генерации в пластинке полупроводника (см. рис. 7.2) на глубине х равен произведению квантового выхода фотоионизации i) на отнесенное к единице длины число поглощенных квантов:

G(x) = rj •

= /о(1 " R)vae-°*.

(7-4)

При выводе этой формулы из

(7.1) мы учли,

что падающий

на поверхность полупроводника

поток квантов

плотностью IQ

(в квантах на квадратный сантиметр в секунду) частично отражается от границы раздела (R — коэффициент отражения). Поскольку в образце излучение поглощается неоднородно,

для расчета пространствнянопг распр^де'лннин^'й^р'авййъ'еигуых^писителей нам надо решить уравнение непрерывности (1.21).

Рассмотрим сначала случай стационарного (не зависящего от времени) монополярного возбуждения электронов (примесная фотопроводимость). В этом случае уравнение непрерывности сводится к следующему дифференциальному уравнению:

at

тп +

ах£ =

(7.5)

В простейшем (идеализированном) случае, когда поверхностной рекомбинацией носителей можно пренебречь, граничные условия на обеих поверхностях пластины (х = 0 и х = d) имеют

в и д

а/х

\

 

 

 

 

 

А ^

= 0.

(7.6)

 

ах

 

 

13 А.И. Лебедев

386

Гл. 7. Опгпоэлектронные

приборы

 

Решение уравнения (7.5) будем искать в виде

 

6п(х)

= Ае'ах

-f Be~x?L*

+ Cex?L\

(7.7)

где L n = \ J D n r n — диффузионная длина электронов. Подставляя это решение в (7.5) и учитывая (7.4) и (7.6), находим:

Л = / 0 ( 1 - Д ) ? о г В | д = е - * - в ^

1 — a2L\

'

 

tdlbn_t-dlL^

(7.8)

 

 

_ g—d/Lп

 

С =

АаЬп

 

 

•d/Ln _ e~djLn '

 

 

В предельных случаях (а) очень сильного {ad, aLn

1) и (б)

очень слабого (ad, aLn <t£ 1) поглощения распределение

носите-

лей по глубине имеет следующий вид:

 

 

 

, . d — х

 

5п(х)

PS J0 (l - R)T}Tn

ch

(7.9)

 

L n

„U ( d _ \ '

—ах

6п(х) « Iq(\ — R) rjarn е

Видно, что характерная длина, на которой концентрация неравновесных носителей изменяется в е раз, составляет L n в случае

(а) и 1/а в случае (б).

При собственном поглощении, когда свет возбуждает носители обоих знаков, для расчета пространственного распределения неравновесных носителей необходимо совместно решить уравне-

ния непрерывности для электронов и дырок, в которых

следу-

ет учесть существование электрического поля (поля Дембера),

возникающего из-за различия коэффициентов диффузии

двух

типов носителей. Эта задача

по сути уже рассматривалась нами

в п. 1.2.1 и мы знаем, что

ее

решение при тп = тр формально

сводится к решению уравнения

(7.5), в котором вместо Dn стоит

коэффициент амбиполярной диффузии Da

(1.25). Это позволяет

использовать полученные выше решения

(с заменой Dn на Da)

и в случае собственного поглощения при тп — Тр.

Теперь, зная профиль распределения концентраций носи-

телей по глубине образца,

несложно рассчитать его полную

7.1. Приемники

излучения

387

проводимость:

 

W

р(х) dx

 

 

a = q

I Р>Пn(z) dx +

 

 

 

 

 

 

 

.Wd

W

d

 

 

6п(х) dx 4- Др w

<5р(я) dx

=

о + МрРо) г~ + 9 i

Мп

 

 

 

 

О

(7.10)

 

 

 

 

 

где W

— ширина пластинки,

 

I — ее длина, a d — ее толщина.

Первое слагаемое представляет собой темновую проводимость образца сто, а второе слагаемое — изменение проводимости Дет, вызванное освещением.

Интегрирование второго слагаемого в уравнении (7.10) для двух предельных случаев сильного собственного и слабого примесного поглощения приводит к следующим выражениям:

W

R )

Аа = д(мпГп 4- VptP) — *о0 ~

 

(7.11)

W

d

Смысл дополнительного сомножителя, который появляется в случае слабо поглощаемого излучения, вполне понятен: это — доля фотонов, поглощенных в образце.

Теперь, вычисляя Дет/сто, для двух рассматриваемых случаев находим:

Д ет / 0 ( 1 - R)rj рптп + МрТр

d

РпПО + VpPQ

(7.12)

 

 

Дет

 

 

<JQ

Ппа

п 0

Из этих уравнений

следует, что для

достижения максималь-

ной чувствительности фотосопротивлений, работающих в области собственного поглощения, необходимо уменьшать толщину пластинки до величины порядка 1 / а и изготавливать ее из материала с проводимостью, близкой к собственной (то есть максимально уменьшать OQ). Фотосопротивления на основе примесной фотопроводимости также следует изготавливать из высокоомных

полупроводников, но так как Д<т/<7о н е зависит от

d, то выбор

толщины этих фото приемников определяется другими

факторами

13;

388

Гл. 7. Опгпоэлектронные приборы

(например, уровнем шума). В обоих случаях время жизни неравновесных носителей должно быть максимально высоким.

Рассмотрим теперь влияние поверхностной рекомбинации, которая всегда существует в реальных полупроводниках. Учесть поверхностную рекомбинацию можно, записав граничные условия для уравнения (7.5) на верхней и нижней поверхностях образца следующим образом:

д

Д М

= 51(Мо),

= s2Sn(d),

(7.13)

 

дх

дх

 

 

где si и S2 — скорости поверхностной

рекомбинации

на соответ-

ствующих

поверхностях.

 

 

Мы не будем приводить здесь решение уравнения (7.5) с граничными условиями (7.13) из-за его громоздкости 1) и ограничимся качественным обсуждением происходящего. Изменение профиля распределения электронов с увеличением скорости поверхностной рекомбинации в толстом кристалле (d > L n ) показано на рис. 7.3.

0,5

0,4

d:

0,3

НА

С0,2

0,1

X, мм

Рис. 7.3. Распределение неравновесных носителей по глубине пластины из р-

Ge толщиной

1 мм

при возбуждении светом с двумя разными длинами волн

при трех скоростях

поверхностной

рекомбинации, s: 1, 4 — 0; 2, 5 — 2000; 3,

6 — 104

см/с.

а : 1-350

с м - 1 ; 4-6 — 500 с м - 1 . Ln = 400 мкм

Видно, что поверхностная рекомбинация уменьшает концентрацию неравновесных носителей не только вблизи поверхностей, но и во всем объеме образца.

В тонком (d <С L n ) образце влияние поверхностной рекомбинации на фотопроводимость в условиях объемного возбуждения (низкий коэффициент поглощения) может быть описано путем введения эффективного времени рекомбинации, величина

') Решение этого уравнения можно найти в работах [261, 263].

7.1. Приемники излучения

389

которого при равных скоростях рекомбинации на верхней и ниж-

ней

поверхностях

образца (s

=

s\

= S2) вычисляется по фор-

муле

[1]

,

 

,

 

9

 

 

 

=

~

+

d

(7-14)

 

 

Тэф

 

Тп

 

 

Этой же формулой можно воспользоваться и в случае сильного поглощения при условии, что 5 «С Ьпп [263]. Из этой формулы следует, что при учете поверхностной рекомбинации в тонких образцах эффективное время рекомбинации тЭф ~ d и, следовательно, поверхностная рекомбинация сильно уменьшает рас-

считываемые по формулам (7.12) значения A<J/<TQ.

В частности,

в случае сильно поглощаемого излучения

при

учете

поверхност-

ной рекомбинации отношение Аа/а^

перестает

зависеть от

толщины d. Поэтому при конструировании

фотоприемников,

работающих в области собственного поглощения, нет необходи-

мости создавать очень тонкую пластинку

и ее толщина обыч-

но выбирается равной нескольким Ln. Для

фотосопротивлений,

работающих в области примесного поглощения, для уменьше-

ния влияния поверхностной рекомбинации на А а / а о

толщину

пластинки необходимо даже увеличивать; оптимальная

толщина

таких фотоприемников выбирается из условия достижения максимального отношения сигнал/шум (см. п. 7.1.3).

Наиболее важными параметрами фотосопротивлений являются их вольт-ваттовая чувствительность, быстродействие и спектр фоточувствительности. Рассмотрим эти параметры более подробно.

Вольт-ваттовая чувствительность. Вольт-ваттовая чувствительность фотоприемника определяется как отношение сигнала фотопроводимости AU к мощности падающего на образец излучения Ро п х . Выражая Роггг через плотность потока квантов /о, их энергию hu и площадь чувствительной площадки образца WI, в условиях оптимального согласования фотосопротивления с нагрузкой получаем

AU =

A U

Е ,

1

Аа

 

 

Porrr

W l h b w

4 WIIQTUJ <TQ'

К

}

Подставляя в эту формулу выражение

для

Аа/о^ для

случая

собственного поглощения (формула

(7.12)), находим

 

 

s = К (1__R>J

4

V ш

рпп0 + fj,ppQ

где

V = Wdl — объем образца. Из этой

формулы следует,

что

для получения высокой вольт-ваттовой

чувствительности

390

Гл. 7. Опгпоэлектронные приборы

фотоприемника надо стремиться уменьшать его объем (используя при этом фокусировку падающего излучения), а сам полупроводник должен характеризоваться большим временем жизни неравновесных носителей и проводимостью, близкой к собственной.

Наряду с вольт-ваттовой чувствительностью иногда вводится понятие чувствительности по току, которая определяется как отношение вольт-ваттовой чувствительности к сопротивлению образца. Путем несложных преобразований формулу (7.16) можно переписать в виде

 

,

_

g(l — Щ"П

Тп

Тр

(7,17)

 

Добр

 

2 Ъш

^прол.п

^прол.р

1

 

 

где tnpon.i =

12/(щЕ„/2)

— время пролета

г-того типа носителей

через образец.

В связи с формулой (7.17)

следует обратить внимание на

одну особенность фотопроводимости полупроводников, содержа-

щих уровни прилипания. Рассмотрим в качестве примера фото-

сопротивления из CdS. Дырки, возникающие при собственном

поглощении света в этих кристаллах, быстро захватываются на

акцепторные уровни прилипания

(связанные с примесью Си ИЛИ

с вакансиями кадмия) и могут

удерживаться на них в течение

достаточно долгого ( ~ 1 0 - 2 с) времени. В то же время

возникаю-

щие при поглощении света электроны не захватываясь

движутся

к положительному контакту и через характерное время tnpon уходят из образца. Поскольку после их ухода электронейтральность образца нарушается, то для ее поддержания с другого контакта в образец входят новые электроны, которые за то же время пролетают по образцу и уходят в контакт. Такое движение электронов продолжается до тех пор, пока дырки не будут выброшены с уровней прилипания и не рекомбинируют с электронами. Таким

образом, среднее число

носителей, дающее вклад

в фототок

при поглощении одного

фотона, в этих кристаллах

оказывается

значительно больше единицы. Отношение г/Ьп р о л , характеризующее величину этого эффекта, называется коэффициентом

усиления фототока и в рассмотренном нами примере может

достигать значений порядка 105 [263]. Коэффициент усиления фототока не следует путать с квантовым выходом фотоионизации г}, который в рассмотренном случае остается близким к единице. Из формулы (7.17) следует, что усиление фототока дополнительно увеличивает вольт-ваттовую чувствительность фотоприемника.

7.1. Приемники

излучения

391

Быстродействие фотоприемников. Быстродействие фотоприемников определяется тем, насколько быстро электрический сигнал на выходе приемника может следовать за изменением интенсивности падающего излучения. Его обычно характеризуют постоянной времени, с которой сигнал на выходе приемника спадает после выключения освещения. Поскольку изменение концентрации неравновесных носителей в полупроводнике при этом определяется процессами рекомбинации, то время релаксации сигнала фотопроводимости часто отождествляют с временем жизни неравновесных носителей заряда.

На самом деле вопрос о кинетике затухания сигнала фотопроводимости не так прост. Равенство времени релаксации фотопроводимости и времени жизни выполняется только тогда, когда генерация и рекомбинация неравновесных носителей идет по одному и тому же каналу. Примерами могут служить примесный полупроводник, в котором возбужденный светом электрон через некоторое время захватывается на тот же примесный центр, или Hgi-sCdxTe, в котором неравновесные электроны и дырки, возбуждаемые при межзонных переходах, рекомбинируют друг с другом путем Оже-рекомбинации (с передачей энергии третьей частице).

В полупроводниках, содержащих глубокие уровни в запрещенной зоне, часто наблюдается явление прилипания носителей, о котором мы уже говорили в предыдущем разделе. В этом случае для описания фотопроводимости необходимо ввести два характерных времени — время жизни фотопроводимос- ми Тфп> которое равно среднему времени, которое возбужденный носитель проводит в разрешенной зоне и в течение которого он участвует в проводимости, и время релаксации фотопроводимости ТреЛ, которое равно времени восстановления равновесного заполнения уровней в запрещенной зоне. Существенное различие этих времен связано с тем, что перед рекомбинацией возбужденный носитель много времени проводит на уровнях прилипания, выбрасываясь с которых и снова захватываясь на которые, он лишь в течение очень небольшой доли времени своего существования участвует в проводимости образца. Описанная особенность явления фотопроводимости в полупроводниках с уровнями прилипания позволяет заключить, что найденные из измерений фотопроводимости значения Тфп лишь в редких случаях могут интерпретироваться как время жизни неравновесных носителей.