Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

Электродинамика высокочастотных разрядов емкостного типа. Учебное пособие

.pdf
Скачиваний:
0
Добавлен:
08.09.2026
Размер:
2 Мб
Скачать
☆
ния мощности плазмотрона подбирают соответствующую величину
121
расхода плазмообразующего газа.
С целью устранения явления шунтирования токоведущего канала разряда на стенки разрядной камеры возможно также выполнение раз­рядной камеры в виде чередующихся металлических и диэлектрических секций. Однако в этом случае возможность регулирования характери­стик разряда будет ограничена.
Более широкими возможностями в регулировании параметрами разряда обладает конструкция ВЧ факельного плазмотрона, предложен­ная автора
ми в работе [117]. Данный плазмотрон представляет собой корпус (рис. 6.8), внутри которого коаксиально с зазором установлена разрядная камера с центральным стержневым электродом, выполненная в виде чередующихся металлических и диэлектрических секций.
R
p
C
p
L
p
C
g
L
g
Рис. 6.8. Схема секционированного факельного плазмотрона
При этом в упомянутом зазоре установлены конденсаторы пере­менной емкости в количестве, равном количеству металлических сек­ций разрядной камеры, каждый из которых подключен между соответ­ствующей металлической секцией разрядной камеры и корпусом.
Плазмотрон такого типа позволяет регулировать мощность разряда в широких пределах как за счет изменения емкостной связи факел­«земля», так и путем изменения расхода плазмообразующего газа.
Недостатком такого
плазмотрона является низкий КПД, так как включение дополнительных емкостей между разрядной камерой и за­земленным корпусом уменьшает величину емкости факел–«земля» и, как это видно из рис. 6.8, на котором изображена простейшая электри­ческая схема плазмотрона в виде цепи Неймана, приводит, соответ-
ственно, к увеличению сопротивления для токов смещения. В этом слу-

g
L
g
L
g
122
чае комплексное сопротивление для токов смещения будет иметь вид

zRj L L
CC
ωω
pg
ω

pg
11
.
Уменьшение модуля комплексного сопротивления для тока смеще­ния, а следовательно, и увеличение КПД плазмотрона возможно по­средством компенсации емкостей регулировочных конденсаторов до­полнительными индуктивностями
.
Таким образом, повышение КПД плазмотрона достигается тем, что в зазоре между корпусом и разрядной камерой последовательно каждым регулировочным конденсатором устанавливается компенсирующая ка­тушка индуктивности, величина индуктивности которой определяется
как
CCCC L

gppg p
2
гулировочного конденсатора до
. В этом случае уменьшение емкости ре-
C = 0 эквивалентно уменьшению до
нулевой величины диаметра разрядной камеры, что теоретически соот­ветствует 100 % КПД плазмотрона. Однако в реальной конструкции включение дополнительных катушек индуктивности создает условия для дополнительных потерь на излучение, что в свою очередь уменьша­ет КПД плазмотрона. При этом также присутствуют джоулевы потери в других конструктивных элементах плазмотрона. Однако, даже с учетом вышеуказанных потерь, КПД
плазмотрона при использовании компен-
сирующих катушек индуктивности может составлять 80…85 %.
≈
─
Рис. 6.9. Высокочастотный плазмотрон с электропитанием разряда
гибридной электромагнитной волной
Заметим, что вышеописанный секционированный плазмотрон поз-
123
воляет регулировать плотность источников диссипации электромагнит­ной энергии вдоль плазмоида разряда. Аналогичными свойствами обла­дает и предложенный нами [117] высокочастотный плазмотрон с элек­тропитанием разряда гибридной электромагнитной волной (рис. 6.9).
Среди используемых в настоящее время высокочастотных плаз­мотронов определенное место занимают плазмотроны на основе комби­нированных разрядов. Так, например, существует ряд плазмотронов на основе комбиниров
анных ВЧ емкостного (ВЧЕ), ВЧ факельного и ВЧ индукционного разрядов (ВЧИР). Данные конструкции плазмотронов позволяют в некоторых случаях более полно использовать преимуще­ства комбинируемых разрядов.
Заметим, что ВЧ-разряды емкостного типа, в том числе и ВЧФР, представляют собой сильно вытянутый плазменный шнур, горение ко­торого осуществляется за счет диссип
ации энергии распространяющей­ся вдоль разряда волны типа ТМ. В то же время в плазме ВЧ индукци­онного разряда присутствуют компоненты поля, соответствующие волне типа ТЕ. При наложении ВЧИР на ВЧФР изменение параметров плазмы в разрядной камере происходит лишь за счет процессов тепло­массопереноса, с позиции же электродинамического описания горение разрядов происходит практически независимо друг от друга.
С целью создания условий для распространения в плазме ВЧФР волны типа ТЕ нами предложено изменять характеристики поля, сило­вые линии которого направлены вдоль оси ВЧ факельного разряда. При этом в качестве источника ТЕ волны может быть использован индуктор для генер
ации ВЧИ разряда.
Таким образом, в замагниченной
плазме ВЧФР будут распростра­няться как волны ТМ-, так и ТЕ-типа. Изменяя вдоль разрядной камеры напряженность магнитного поля, мы можем изменять условия распро­странения возникающей при этом гибридной электромагнитной волны, увеличивая тем самым диссипацию электромагнитной энергии в разря­де и тем самым КПД плазмотрона.
6.6. Теоретическая оценка параметров и характеристик высокочастотного факельного плазмотрона
У высокочастотного факельного плазмотрона (ВЧФП) рабочим элемен­том является высокочастотный факельный разряд (ВЧФР). Известно, что ВЧФП может возбуждаться в металлических разрядных камерах. В ВЧФП электрическая энергия, поступающая от ВЧ-генератора, поглощается кана­лом ВЧФР. Поэтому при расчете ВЧФП надо решить вопрос о теплообмене
между газовым потоком и каналом ВЧФР. Теоретически ВЧФП можно опи-
E
E
lr
124
сать системой уравнений, включающих законы сохранения массы, импульса, энергии электромагнитного поля с учетом следующих допущений:
Канал ВЧФР обладает осевой симметрией и является несовер-
1.
шенным проводником, т. е.
ω 1, ω 1,
   
00
zr
E
, где
осевая и радиальная составляющие электромагнитного поля, димость канала ВЧФР,
– частота поля,
ω
– диэлектрические про-
,
0
– прово-
–
,
E
zr
ницаемости вакуума и плазмы.
2.
Уровень интегрального излучения не учитывается. Производные от вязкости по координатам не учитываются.
3.
Зависимостью коэффициентов переноса от давления можно
4.
пренебречь.
5.
Пинч-эффект не существен и в расчет не принимается.
6.
Соблюдается условие
 , где
– радиус и длина канала
,rl
ВЧФР.
С учетом этих допущений продольно-обдуваемым ВЧФР можно описать следующей системой уравнений:
1
2
Erv

zr
v
z
vg r
 
r
rzrrr

ErE

zz
iH iE
 

rrrr

00
 
rr r r

1
,
TT

; (6.48)

pv
1

 
z
; (6.49)

 
. (6.50)
z

При оценке некоторых параметров ВЧФР можно воспользоваться мо­делью одномерного статистического разряда, который горит в неподвиж­ном газе внутри металлической или диэлектрической трубы.
В рамках металлического цилиндра область ВЧФР можно разделить на две зоны:
1.
,kTT
0
да,
r
k
2.
k
меры,
Зона поглощения энергии от ВЧ-поля:
0,
rrT TT

0
kk
– газовая температура на границе и максимальная в канале разря-
– радиус канала ВЧФР.
Зона отвода энергии за счет теплопроводности на стенку:
,
Rrr
TTT
ст 0
R
– радиус разрядной камеры.
, где
– температура газа вблизи разрядной ка-
T
ст
, где
Такое представление возможно вследствие сильной зависимости проводимости плазмы от температуры. Уравнение энергии (6.48) отра­жает то, что поток электромагнитной энергии, поступающий в разряд,
за счет теплопроводности отводится через стенку разрядной камеры.
s
P
s
z

125
Интегрируя уравнение (6.48) между границей разряда и стенкой разряд­ной камеры, получаем
T
k
dT P R r
T
ст
ln 2

sk
, (6.51)
где
– удельная мощность разряда.
Без учета скин-эффекта [62] для первой зоны получим
T
где
k
2π 4π
PdTkTI, (6.52)
skk
0
– постоянная Больцмана; I – потенциал ионизации. С учетом
k
2
скин-эффекта находим
где
– толщина скин-слоя.
k
16
PrkTI
 , (6.53)
kk k k
2
Электромагнитная волна, бегущая вдоль слоя ВЧФР, с учетом дис­сипации энергии в канале разряда обладает удельной мощностью
где
– мощность на входе (на электроде ВЧФП);
P
0
PhP hz rQ
s
0
 

2exp2
коэффициент затухания электромагнитной волны;
0
ная мощность плазмы ВЧФР. При
2QhPr
для Q получаем выражение

2
00
2
, (6.54)
– усредненный
h
Q
– объемная удель-
, (6.55)
r – радиус канала в основании ВЧФР. Подставляя (6.55) в уравне-
где ние (5.54), находим
Для длины

, на которой происходит в основном диссипа-
hz
21
ция энергии, конечный радиус
exprr hz
0
l
. (6.56)
. В случае обеспе-
6,021exp rrr
00
чения сильного теплоотвода можно добиться уменьшения радиуса ка­нала ВЧФР по длине.
В реальных случаях происходит унос тепла за счет конвекции. Решая уравнение (6.49), можно определить скорость конвективного потока:
где
η
– вязкость;
vgr
zk
– сила тяжести;
g
0
2
, (6.57)
0
по своей величине равна не-
v
z
скольким метрам в секунду, а это вносит изменение в профиль ВЧФР.
В реально используемых ВЧФП применяется вихревая или осевая
H

126
стабилизация канал ВЧФР. Воспользуемся дифференциальным уравне­нием для профиля разряда [119] в случае осевой стабилизации и нали­чия скин-эффекта:
1


dr dz h P H v r h z
22exp2
00
z
, (6.58)
где
– энтальпия плазмы. Интегрируя уравнение (6.58), получим про-
филь канала для ВЧФР:
1 2
. (6.59)
Для длины канала
2

   
rrP hzHv
00

1exp 2

12zh

rr PHv
loz
будем иметь
2
0,2
00


oz
1 2
. (6.60)
Анализ уравнения (6.60) показывает, что при допустимых значени-
24
ях
rR P
   на длине
l
2,5 10 м,510Вт
0
можно получить
hz
21
плазменный поток с температурой Т = 6000…7000 К при скоростях по­тока
v
z
40...60
м/с.
Расчет ВЧФП по линии электродинамических уравнений может быть сведен к расчету некоторого волнового узла, элементом которого в качестве несовершенного проводника является плазма ВЧФР. Канал ВЧФР представляет собой присоединенную через электрод нагрузку ВЧ-генератора. При условии полного поглощения ВЧ-энергии канал ВЧФР будет являться согласованной нагрузкой. Для ВЧФП мощностью десятки кВт геометрические размеры кан
ала ВЧФР становятся соизмери­мыми с длиной двухпроводной линии анодного контура ВЧ-генератора. Поэтому эквивалентную схему таких ВЧФП можно представить коакси­альной линией с потерями, по которой распространяется поперечная элек­тромагнитная волна, внутренним проводником для которой является канал ВЧФР. При этом существенную роль играет затухание электромагнитной волны в канале ВЧФР. Использование описанной схемы, моделирующей ВЧФП, возможно, если известны некоторые пара здесь
должно играть волновое сопротивление и погонные параметры коак-
сиальной линии ВЧФП. Погонное активное сопротивление ВЧФП чает активное сопротивление разряда
RRR r R

lk
12 2 2
12 2

корпуса разрядной камеры
R
1
2

метры. Основную роль
1
1
2
, (6.61)
вклю-
R
l
:
R
2
где
– электропроводность и магнитная проницаемость материала
,
22
разрядной камеры.
Погонная индуктивность L состоит из индуктивности разряда

E




127
разрядной камеры
LL L L R Rr
   
123 0 2 2 0
и взаимоиндуктивности
L
2
82 2ω ln 2

1
.
L
3
1
2

k
Для погонной емкости ВЧФП будем иметь
L
1
. (6.62)
,
2ln
CRr

0
. (6.63)
k
Поперечная погонная проводимость находится по формуле
где
2ln
GRr
σ
– проводимость холодного газа,
1

1
σ 0, 0G
, (6.64)
k
. Волновое сопротив-
1
ление и коэффициент распространения поля определяются из выражений
1
2


 
hRLC LC
 
z R iL iC



hh ih RiLiC
 

22222 2 1





ωω ω 2
l
ωω
l

l
; (6.65)
ωω
1
2
1
2
; (6.66)
1
2
. (6.67)
Полный ток, протекающий по каналу ВЧФР, равен:
r
k
JErdr  (6.68)
0
2
z
Для ВЧФП поле внутри канала разряда описывается следующим
выражением:
33 3
22 2
i kJ r J i kr i t hz J i kr
zkk
2expω
01

, (6.69)
33
22
01
,JikrJikr
– функции Бес-
где
k  
1
2
ω

k
– параметр среды;
0
селя.
Для мощности, поглощаемой всем объемом плазмы, будет иметь
r
l
k
1
PErdr. (6.70)
2
00
2
2
z
Решая (23) совместно с (22), получим



r h ber kr bei kr

kk
mm m m

22
 
 
00
– средний радиус канала
r
m
где
1exp 2
kJ h l ber kr bei kr bei kr ber kr

P


16
,ber kr bei kr
– функции Кельвина;
ВЧФР, который можно определить по формуле (6.59).
, (6.71)
Решение уравнений (6.51)–(6.54) совместно с (6.61)–(6.63), (6.67)
128
дает возможность получить зависимости разряда, подводимой мощности
‐
r∙10
2
,м
5
4
3
2
1
и радиуса камеры R.
P
0
2
от температуры в канале
,
rP
ks
1
0
5
3
6
4
7
8
T∙10
‐3
K
Рис. 6.10. Зависимость радиуса канала разряда от его температуры:
1) σ = 106 См/м, μ = 1 Гн/м; 2) σ = 106 См/м, μ = 1,5 Гн/м;
3) σ = 2,2 106См/м, μ = 1 Гн/м; 4) σ = 2,2 106 См/м, μ = 1,5 Гн/м
Результаты расчета приведены для ВЧФР (см. рис. 6.10), горящего
на воздухе при частоте 13,56 МГц в металлических разрядных камерах
2,2 10 cм/м,1,5 
22
6
, и установлено, что каждому значению T
соответствует два режима горения ВЧФР. Проведенные эксперименты подтвердили возможность существования двух режимов горения ВЧФР: в шнуровой и диффузионной формах. В шнуровой форме ВЧФР пред­ставляет собой тонкий, ярко выделенный канал, окруженный диффузи­онной оболочкой. В диффузионной форме ВЧФР занимает практически
все сечение разрядной камеры диаметром 510 мообразования составлял 210
–3
м3 при мощности разряда 2104 Вт, и
такой канал устойчиво существовал при прокачке воздуха до 4 м
–2
м. При этом объем плаз-
3
/ч.
Контрольные вопросы к главе 6
1. Какие преимущества даёт использование амплитудно­модулированной плазмы факельного разряда при проведении плазмо­химических процессов?
2.
Какая часть мощности факельного разряда может быть транс-
формирована в акустические колебания?
3. Какие существуют особенности функции распределения элек-
129
тронов по энергиям плазмы высокочастотного факельного разряда, го­рящего при атмосферном давлении?
4.
Какие процессы происходят при введении капель водносолевых
растворов в плазменный поток?
5.
Какие рекомендации следует выполнять для того чтобы умень-
шить размеры плазмохимического реактора?
6.
Какова доля тепловых потерь в металлическом кожухе факель-
ного плазмотрона?
7.
Какая частота электромагнитного поля является оптимальной
для работы факельного плакзмотрона?
8.
Какие существуют режимы горения факельного разряда?
Заключение
130
В учебном пособии рассмотрены основные физические свойства и особенности высокочастотного факельного разряда. Наибольшее вни­мание при этом уделено особенностям электродинамики разряда. Впер­вые предложена электродинамическая модель высокочастотного разря­да емкостного типа, учитывающая отражение электромагнитной волны в конце канала разряда. Рассмотрены методы определения волнового числа электромагнитной волны, поддерживающей горение разряда. Приведены экспериментальные материалы, сви
д
етельствующие о суще­ствовании нелинейных электродинамических эффектов в плазме разря­да. Рассмотрены практические аспекты использования высокочастотных разрядов емкостного типа.
Разряды емкостного типа имеют ряд преимуществ перед высокоча­стотными индукционными разрядами. Высокочастотные разряды ем­костного типа имеют большой объём плазмы при малой величине под­водимой мощности, легко возбуждаются в различных средах, включа водород
. В связи с этим разряды емкостного типа в настоящее время
я
находят всё большее применение в технике и технологии.
Дальнейшие исследования в этой области науки могут быть направ­лены на выяснение границ применимости новой электродинамической модели для описания разрядов, горящих в газах малой плотности. Осо­бый интерес представляет собой также изу
чение не
давно обнаруженных нелинейных электродинамических эффектов, в частности исследование их взаимосвязи с концентрацией электронов разрядной плазмы.
Для понимания материала, изложенного в данном учебном пособии, студенту необходимо предварительно изучить некоторые дополнитель­ные аспекты традиционной электродинамики, в частности ознакомиться с решением электродинамической задачи для цилиндрического провода конечной проводимости. Для дальнейшего изучения нелинейных элек­тродинамических явле
ний в плазме раз
ряда необходимо дополнительно ознакомиться с гидродинамической и кинетической моделями плазмы, а также способами решений уравнений, лежащих в их основе.
Соседние файлы в предмете [НЕСОРТИРОВАННОЕ]