Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

Расчет вакуумных систем. Учебно-методическое пособие

.pdf
Скачиваний:
1
Добавлен:
12.08.2026
Размер:
1 Мб
Скачать

магнитных электро разрядных модулей насосов Характеристики

комбинированных насосов приведены на рис.П.3.3.5.

 

S,м3/ с

 

 

 

 

 

10 1

 

1

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

2

 

 

 

 

 

3

 

 

 

10 0

 

 

 

 

 

10 - 3

 

 

 

 

Р,Па

10 - 8

10 - 7

10 - 6

10 - 5

10 - 4

10 - 3

Рис.П.3.3.5. Характеристики комбинированных насосов:

1 – насос марки НСВМГ -400; 2 –

НСВМГ-250; 3 –

НСВМГ-160

Диаметры входа насосов приведены в табл.П.3.3.1.

 

 

 

 

 

Таблица П.3.3.1

 

 

Диаметры входа насосов

 

 

Марка насоса

НСВМГ-400

НСВМГ-250

НСВМГ-160

Диаметр входа

400

250

160

Dу, мм

 

 

 

 

 

 

 

П.3.3.5. Криоадсорбционные насосы

Работа криоадсорбционных насосов возможна только при наличии криогенных жидкостей для охлаждения адсорбента.

Быстрота действия насоса зависит от проводимости каналов, подводящих газ к адсорбенту. Применение пористых теплозащитных экранов, обладающих постоянной проводимостью, обеспечивает постоянство быстроты действия насоса в рабочем диапазоне входных давлений.

71

Характеристика криоадсорбционного насоса марки КС4205 приведена на рис.П.3.3.6.

S,м3/ с 100

10

 

 

 

 

 

 

Р,Па

10 - 4

10 - 3

10 - 2

10 - 1

1

10

Рис.П.3.3.6. Характеристика криоадсорбционного насоса марки КС4205 при откачке азота

П.3.4. Вакуумные насосы конденсационного действия

П.3.4.1. Конденсационные насосы

Конденсационные насосы используются для откачки паров. В качестве охлаждающего теплоносителя в них применяется вода. Для откачки неконденсирующихся газов, входящих в состав парогазовых смесей, необходимо к конденсационным насосам подключать вспомогательный насос, откачивающий газы. В вакуумной технике конденсационные насосы используются в качестве ступеней пароэжекторных насосов, располагаемых за эжекторами. Характеристики конденсационных насосов в виде зависимости Sн=f(Рн) не даются.

П.3.4.2. Криоконденсационные насосы

В криоконденсационных насосах откачка газов осуществляется за счёт их конденсации на поверхностях, охлаждаемых криогенными жидкостями. Криоконденсационные насосы относятся к сверхвысоковакуумным.

Возможность применения криоконденсационных насосов зависит от наличия у потребителя криогенных жидкостей.

72

Применение автономных криогенераторов, работающих по замкнутому циклу получения криожидкостей, расширяет эти возможности. На рис.П.3.4.1 приведены характеристики криоконденсационных насосов, снабженных такими криогенераторами.

S,м3/ с 100

 

 

 

1

 

 

 

 

10

 

 

 

 

 

 

 

 

 

2

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

3

 

 

 

 

1

 

 

4

 

 

 

 

 

 

5

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

6

 

 

 

 

0,1

 

 

 

 

 

 

Р,Па

10 - 4

10 - 3

10 - 2

10 - 1

Рис.П.3.4.1. Характеристики типо размерного ряда криоконденсационных насосов при откачке азота:

1 – насос марки НВК -630-20; 2 – НВК-400-6,5; 3 – НВК-320-5; 4 – НВК-250-3,2; 5 – НВК-200-1,5; 6 – НВК-160-0,8

Диаметры входа в насосы соответствуют первому числу в марке насоса, например, насос марки НВК-400-6,5 имеет диаметр входа

Dу=400мм.

73

Приложение 4

ЗАВИСИМОСТЬ ОТНОСИТЕЛЬНОЙ ГЕОМЕТРИИ ОТ ПРОВОДИМОСТИ ЭЛЕМЕНТОВ

П.4.1. Проводимость прямой трубы с диафрагмирующими отверстиями

Схема элемента изображена на рис.П.4.1.

Рис.П.4.1.Прямая труба с диафрагмирующими отверстиями

Отношение W определяется по графикам на рис. П.4.2.

Рис. П.4.2. Отношение W для прямой трубы с диафрагмирующими отверстиями

74

П.4.2. Проводимость прямой трубы с диафрагмирующими отверстиями и диском

Схема элемента изображена на рис. П.4.3.

Рис. П.4.3. Прямая труба с диафрагмирующими отверстиями и диском

Диаметр отверстия d0 равен диаметру перегородки. Отношение W определяется по графику на рис. П.4.4.

Рис.П.4.4. Отношение W для прямой трубы с диафрагмирующими отверстиями и перегородкой

75

П.4.3. Проводимость жалюзийных ловушек

На рис. П.4.5 приведена схема жалюзийной ловушки.

ВА

θ

РИС.П.4.5. Схема жалюзийной ловушки

Отношение W для ловушки такого типа определяется по графику на рис.П.4.6.

Рис.П.4.6. Отношение W для жалюзийной ловушки

76

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Приложение 5

 

 

 

 

 

ПРОВОДИМОСТЬ ВАКУУМНОЙ АРМАТУРЫ

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Таблица П.5.1

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Натекатели

 

 

 

 

 

 

 

 

Марка

 

 

 

Характеристика

 

Пределы

регулирования

 

 

 

 

 

 

 

привода

 

потока, м3 Па/с

 

 

натека-

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

теля

 

 

Тип

 

Напряжение,

Минималь-

Максималь-

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

В

 

ный

ный

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

НДЗ

 

 

Ручной

 

 

и

127

 

1,3×10−8

 

 

6,65×10−3

 

 

электроме-

 

 

 

 

 

 

 

 

 

ханический

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

НК-2Р

 

Ручной

 

 

 

 

 

-

 

1,3×10−8

 

 

6,65×10−3

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

КН-2М

 

 

Ручной

 

 

и

 

 

24

 

2,7×10−7

 

 

66×10−3

 

электроме-

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

ханический

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

КН-1,2

 

 

Ручной

 

-

 

 

 

2,7×10−7

 

 

66×10−3

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Таблица П.5.2

 

 

 

 

 

 

Клапаны с электромеханическим приводом

 

 

 

Марка

 

 

 

 

 

КВЭ-25

 

КВЭ-63

 

 

КВЭ-100

 

 

Проводимость, м3/с

 

 

 

0,014

 

0,18

 

0,47

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Диаметр

условного

 

25

 

63

 

100

 

 

 

прохода, мм

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Таблица П.5.3

 

 

 

 

 

Затворы вакуумные с электромеханическим приводом

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Марка

 

23ВЭ-100

 

23ВЭ-160

 

23ВЭ-250

23ВЭ-400

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Проводимость,

 

 

1,3

 

 

3,34

 

13,4

 

 

46,2

 

 

 

м3/с

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Диаметр

 

 

 

100

 

 

160

 

250

 

 

400

 

 

 

условного

 

 

 

 

 

 

 

 

 

прохода, мм

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

77

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Таблица П.5.4

Ловушки, охлаждаемые жидким азотом (заливные)

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Марка

ЛА-100

ЛА-160

 

ЛА-250

 

ЛА-400

ЛА-630

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Проводимость,

0,37

 

0,84

 

 

2,3

 

5,9

 

14,5

м3/с

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Диаметр

100

 

160

 

 

250

 

400

 

630

условного

 

 

 

 

 

прохода, мм

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Таблица П.5.5

 

 

Ловушки, охлаждаемые водой

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Марка

 

ЛП-

 

ЛП-

 

ЛП-

 

ЛП-

 

ЛП-

ЛП-1200

 

 

250

 

400

 

500

 

630

800

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Проводимость,

 

1,13

 

3,2

 

3,8

 

 

10,1

12,12

22,9

м3/с

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Диаметр

 

250

 

400

 

500

 

630

800

1200

Условного

 

 

 

 

прохода, мм

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

78

Приложение 6

ФОРМА ТИТУЛЬНОГО ЛИСТА

Федеральное агентство по образованию Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования

«Казанский государственный технологический университет» Кафедра вакуумной техники электрофизических установок

Расчетно-пояснительная записка к курсовой работе по дисциплине «Расчет вакуумных систем»

Тема: Разработка вакуумной системы

____________________________

Выполнил: студент гр. ___

_____________________

Руководитель _______

_____________________

Казань

КГТУ

2008

79

Приложение 7

УСЛОВНЫЕ ОБОЗНАЧЕНИЯ ЭЛЕМЕНТОВ НА ВАКУУМНЫХ СХЕМАХ

Выбор условных графических обозначений и буквенных кодов элементов вакуумных систем должен проводиться в соответствии с ГОСТ 2.796-95.Обозначения условные графические в схемах. Элементы вакуумных системи с ГОСТ 2.797-81Правила выполнения вакуумных схем”.

В настоящем приложении в соответствии с стандартами приведены условные графические обозначения и буквенные коды только базовых типов насосов и некоторых типов вакуумной арматуры, ловушек, отражателей диффузионных насосов и вакуумметров, которые наиболее часто применяются в вакуумных системах. Обозначения элементов, отмеченных знаком *, и коды, отсутствующие в стандарте, приводятся в редакции авторов пособия.

Условное графическое изображение должно отражать конструктивное исполнение или принцип действия элемента вакуумной системы. Например, насосы одноступенчатый и двухступенчатый, вакуумметры компрессионный и мембранный имеют разные обозначения.

80

Соседние файлы в предмете [НЕСОРТИРОВАННОЕ]