Расчет вакуумных систем. Учебно-методическое пособие
.pdf
магнитных электро – разрядных модулей насосов Характеристики |
|||||
комбинированных насосов приведены на рис.П.3.3.5. |
|
||||
S,м3/ с |
|
|
|
|
|
10 1 |
|
1 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
2 |
|
|
|
|
|
3 |
|
|
|
10 0 |
|
|
|
|
|
10 - 3 |
|
|
|
|
Р,Па |
10 - 8 |
10 - 7 |
10 - 6 |
10 - 5 |
10 - 4 |
10 - 3 |
Рис.П.3.3.5. Характеристики комбинированных насосов: |
|||||
1 – насос марки НСВМГ -400; 2 – |
НСВМГ-250; 3 – |
НСВМГ-160 |
|||
Диаметры входа насосов приведены в табл.П.3.3.1. |
|
||||
|
|
|
|
Таблица П.3.3.1 |
|
|
|
Диаметры входа насосов |
|
|
|
Марка насоса |
НСВМГ-400 |
НСВМГ-250 |
НСВМГ-160 |
|
Диаметр входа |
400 |
250 |
160 |
|
Dу, мм |
||||
|
|
|
||
|
|
|
|
П.3.3.5. Криоадсорбционные насосы
Работа криоадсорбционных насосов возможна только при наличии криогенных жидкостей для охлаждения адсорбента.
Быстрота действия насоса зависит от проводимости каналов, подводящих газ к адсорбенту. Применение пористых теплозащитных экранов, обладающих постоянной проводимостью, обеспечивает постоянство быстроты действия насоса в рабочем диапазоне входных давлений.
71
Характеристика криоадсорбционного насоса марки КС4205 приведена на рис.П.3.3.6.
S,м3/ с 100
10 |
|
|
|
|
|
|
Р,Па |
10 - 4 |
10 - 3 |
10 - 2 |
10 - 1 |
1 |
10 |
||
Рис.П.3.3.6. Характеристика криоадсорбционного насоса марки КС4205 при откачке азота
П.3.4. Вакуумные насосы конденсационного действия
П.3.4.1. Конденсационные насосы
Конденсационные насосы используются для откачки паров. В качестве охлаждающего теплоносителя в них применяется вода. Для откачки неконденсирующихся газов, входящих в состав парогазовых смесей, необходимо к конденсационным насосам подключать вспомогательный насос, откачивающий газы. В вакуумной технике конденсационные насосы используются в качестве ступеней пароэжекторных насосов, располагаемых за эжекторами. Характеристики конденсационных насосов в виде зависимости Sн=f(Рн) не даются.
П.3.4.2. Криоконденсационные насосы
В криоконденсационных насосах откачка газов осуществляется за счёт их конденсации на поверхностях, охлаждаемых криогенными жидкостями. Криоконденсационные насосы относятся к сверхвысоковакуумным.
Возможность применения криоконденсационных насосов зависит от наличия у потребителя криогенных жидкостей.
72
Применение автономных криогенераторов, работающих по замкнутому циклу получения криожидкостей, расширяет эти возможности. На рис.П.3.4.1 приведены характеристики криоконденсационных насосов, снабженных такими криогенераторами.
S,м3/ с 100
|
|
|
1 |
|
|
|
|
10 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
2 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
3 |
|
|
|
|
1 |
|
|
4 |
|
|
|
|
|
|
5 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
6 |
|
|
|
|
0,1 |
|
|
|
|
|
|
Р,Па |
10 - 4 |
10 - 3 |
10 - 2 |
10 - 1 |
||||
Рис.П.3.4.1. Характеристики типо – размерного ряда криоконденсационных насосов при откачке азота:
1 – насос марки НВК -630-20; 2 – НВК-400-6,5; 3 – НВК-320-5; 4 – НВК-250-3,2; 5 – НВК-200-1,5; 6 – НВК-160-0,8
Диаметры входа в насосы соответствуют первому числу в марке насоса, например, насос марки НВК-400-6,5 имеет диаметр входа
Dу=400мм.
73
Приложение 4
ЗАВИСИМОСТЬ ОТНОСИТЕЛЬНОЙ ГЕОМЕТРИИ ОТ ПРОВОДИМОСТИ ЭЛЕМЕНТОВ
П.4.1. Проводимость прямой трубы с диафрагмирующими отверстиями
Схема элемента изображена на рис.П.4.1.
Рис.П.4.1.Прямая труба с диафрагмирующими отверстиями
Отношение W определяется по графикам на рис. П.4.2.
Рис. П.4.2. Отношение W для прямой трубы с диафрагмирующими отверстиями
74
П.4.2. Проводимость прямой трубы с диафрагмирующими отверстиями и диском
Схема элемента изображена на рис. П.4.3.
Рис. П.4.3. Прямая труба с диафрагмирующими отверстиями и диском
Диаметр отверстия d0 равен диаметру перегородки. Отношение W определяется по графику на рис. П.4.4.
Рис.П.4.4. Отношение W для прямой трубы с диафрагмирующими отверстиями и перегородкой
75
П.4.3. Проводимость жалюзийных ловушек
На рис. П.4.5 приведена схема жалюзийной ловушки.
ВА


θ
РИС.П.4.5. Схема жалюзийной ловушки
Отношение W для ловушки такого типа определяется по графику на рис.П.4.6.
Рис.П.4.6. Отношение W для жалюзийной ловушки
76
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Приложение 5 |
|||
|
|
|
|
|
ПРОВОДИМОСТЬ ВАКУУМНОЙ АРМАТУРЫ |
||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Таблица П.5.1 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Натекатели |
|
|
|
|
|
|
||
|
|
Марка |
|
|
|
Характеристика |
|
Пределы |
регулирования |
||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
привода |
|
потока, м3 Па/с |
||||||||||
|
|
натека- |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
теля |
|
|
Тип |
|
Напряжение, |
Минималь- |
Максималь- |
||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
В |
|
ный |
ный |
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
НДЗ |
|
|
Ручной |
|
|
и |
127 |
|
1,3×10−8 |
|
|
6,65×10−3 |
|||||||
|
|
электроме- |
|
|
|
|
|||||||||||||
|
|
|
|
|
ханический |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
НК-2Р |
|
Ручной |
|
|
|
|
|
- |
|
1,3×10−8 |
|
|
6,65×10−3 |
||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
КН-2М |
|
|
Ручной |
|
|
и |
|
|
24 |
|
2,7×10−7 |
|
|
66×10−3 |
|||||
|
электроме- |
|
|
|
|
|
|
||||||||||||
|
|
|
|
|
ханический |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
КН-1,2 |
|
|
Ручной |
|
- |
|
|
|
2,7×10−7 |
|
|
66×10−3 |
|||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Таблица П.5.2 |
|
|
|
|
|
|
|
Клапаны с электромеханическим приводом |
|||||||||||||
|
|
|
Марка |
|
|
|
|
|
КВЭ-25 |
|
КВЭ-63 |
|
|
КВЭ-100 |
|||||
|
|
Проводимость, м3/с |
|
|
|
0,014 |
|
0,18 |
|
0,47 |
|
||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||
|
|
Диаметр |
условного |
|
25 |
|
63 |
|
100 |
|
|||||||||
|
|
прохода, мм |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Таблица П.5.3 |
|
|
|
|
|
|
Затворы вакуумные с электромеханическим приводом |
||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||
|
|
Марка |
|
23ВЭ-100 |
|
23ВЭ-160 |
|
23ВЭ-250 |
23ВЭ-400 |
|
|||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||
|
|
Проводимость, |
|
|
1,3 |
|
|
3,34 |
|
13,4 |
|
|
46,2 |
|
|||||
|
|
м3/с |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Диаметр |
|
|
|
100 |
|
|
160 |
|
250 |
|
|
400 |
|
||||
|
|
условного |
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||
|
|
прохода, мм |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
77
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Таблица П.5.4 |
||
Ловушки, охлаждаемые жидким азотом (заливные) |
|||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Марка |
ЛА-100 |
ЛА-160 |
|
ЛА-250 |
|
ЛА-400 |
ЛА-630 |
||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Проводимость, |
0,37 |
|
0,84 |
|
|
2,3 |
|
5,9 |
|
14,5 |
|||
м3/с |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Диаметр |
100 |
|
160 |
|
|
250 |
|
400 |
|
630 |
|||
условного |
|
|
|
|
|
||||||||
прохода, мм |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Таблица П.5.5 |
||
|
|
Ловушки, охлаждаемые водой |
|
|
|||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
Марка |
|
ЛП- |
|
ЛП- |
|
ЛП- |
|
ЛП- |
|
ЛП- |
ЛП-1200 |
||
|
|
250 |
|
400 |
|
500 |
|
630 |
800 |
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
Проводимость, |
|
1,13 |
|
3,2 |
|
3,8 |
|
|
10,1 |
12,12 |
22,9 |
||
м3/с |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Диаметр |
|
250 |
|
400 |
|
500 |
|
630 |
800 |
1200 |
|||
Условного |
|
|
|
|
|||||||||
прохода, мм |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
78
Приложение 6
ФОРМА ТИТУЛЬНОГО ЛИСТА
Федеральное агентство по образованию Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования
«Казанский государственный технологический университет» Кафедра вакуумной техники электрофизических установок
Расчетно-пояснительная записка к курсовой работе по дисциплине «Расчет вакуумных систем»
Тема: Разработка вакуумной системы
____________________________
Выполнил: студент гр. ___ |
_____________________ |
Руководитель _______ |
_____________________ |
Казань
КГТУ
2008
79
Приложение 7
УСЛОВНЫЕ ОБОЗНАЧЕНИЯ ЭЛЕМЕНТОВ НА ВАКУУМНЫХ СХЕМАХ
Выбор условных графических обозначений и буквенных кодов элементов вакуумных систем должен проводиться в соответствии с ГОСТ 2.796-95. “Обозначения условные графические в схемах. Элементы вакуумных систем” и с ГОСТ 2.797-81 “Правила выполнения вакуумных схем”.
В настоящем приложении в соответствии с стандартами приведены условные графические обозначения и буквенные коды только базовых типов насосов и некоторых типов вакуумной арматуры, ловушек, отражателей диффузионных насосов и вакуумметров, которые наиболее часто применяются в вакуумных системах. Обозначения элементов, отмеченных знаком *, и коды, отсутствующие в стандарте, приводятся в редакции авторов пособия.
Условное графическое изображение должно отражать конструктивное исполнение или принцип действия элемента вакуумной системы. Например, насосы одноступенчатый и двухступенчатый, вакуумметры компрессионный и мембранный имеют разные обозначения.
80
