Расчет вакуумных систем. Учебно-методическое пособие
.pdf
Таблица П.7
Условные графические обозначения и буквенные коды элементов вакуумных систем
Наименование |
Обозначение |
Буквенные коды |
|
элементов |
|||
элементов |
элементов |
||
вакуумных систем |
|||
|
|
||
1. Откачиваемый |
|
С |
|
сосуд (камера |
|
|
|
вакуумная) |
|
|
|
2. Насос |
|
N |
|
вакуумный. Общее |
|
|
|
обозначение |
|
|
|
3.Насос |
|
NQ |
|
|
|
||
мембранный* |
|
|
|
4. Жидкостно |
|
|
|
(водо) – кольцевой |
|
NW |
|
насос |
|
|
|
5. Поршневой |
|
NT |
|
насос* |
|
|
|
6. Пластинчато – |
|
NN |
|
статорный насос* |
|
|
|
7. Пластинчато – |
|
NL |
|
роторный насос* |
|
|
|
|
|
|
81
|
|
Продолжение табл.П.7 |
|
8. Многопластинчато |
|
|
|
– роторный насос* |
|
NX |
|
9. Плунжерный |
|
NI |
|
(золотниковый) |
|
|
|
насос* |
|
|
|
10. |
Двухроторный |
|
NZ |
насос (насос Рутса) |
|
|
|
11. |
Молекулярный |
|
NO |
насос* |
|
|
|
12. |
Турбомолекуляр- |
|
NR |
ный насос |
|
|
|
13. |
Водо(жидкостно) |
|
NB |
-струйный насос |
|
|
|
14. |
Газоструйный |
|
NF |
насос* |
|
|
|
15. |
Диффузионный |
|
ND |
насос |
|
|
|
|
|
|
|
82
|
Продолжение табл.П.7 |
|
16. Бустерный |
|
|
(диффузионно – |
|
NU |
эжекторный) насос* |
|
|
17. Пароэжекторный |
|
NH |
(эжекторный) насос |
|
|
(ступень насоса). |
|
|
Примечание. Вместо |
|
|
знака “х” указывают |
|
|
химическую |
|
|
формулу рабочей |
|
|
жидкости. |
|
|
18. Адсорбционный |
|
|
насос |
|
NA |
Примечание. 18, 19, |
|
|
20 – вместо знака “х” |
|
|
указывают |
|
|
химическую |
|
|
формулу (марку) |
|
|
сорбента. |
|
|
19. Геттерно – |
|
|
испарительный |
|
NG |
насос. |
|
|
20. Испарительный |
|
|
ионно – геттерный |
|
NE |
насос* |
|
|
|
|
|
83
|
|
Продолжение табл.П.7 |
|
21. |
Магнитный |
|
NM |
электро-разрядный |
|
|
|
насос |
|
|
|
22. |
Магнитный |
|
|
электро-разрядный и |
|
NP |
|
геттерно – |
|
|
|
испарительный |
|
|
|
комбинированный |
|
|
|
насос |
|
|
|
23. |
Криоадсорбцион- |
|
NC |
ный насос |
|
|
|
24.Конденсационный |
|
NJ |
|
насос |
|
|
|
25. |
Криоконденсаци- |
|
NK |
онный насос |
|
|
|
26. |
Затвор |
|
VT |
27. |
Клапан |
|
VA |
проходной |
|
|
|
|
Клапан |
|
VH |
28. |
|
|
|
напускной* |
|
|
|
|
|
|
|
84
|
Продолжение табл.П.7 |
29. Клапан |
VF |
регулирующий, |
|
дозирующий |
|
(натекатель) |
|
30. Клапан |
VO |
предохранительный |
|
на закрытие |
|
(отсечной) |
|
31. Ловушка, |
BL |
охлаждаемая жид- |
|
костью, заливаемой в |
|
резервуар |
|
32. Отражатель для |
BA |
диффузионного |
|
насоса, охлаждаемый |
|
воздухом |
|
33. Отражатель для |
|
диффузионного |
BW |
насоса, охлаждаемый |
|
циркуляцией |
|
жидкости |
|
34. Отражатель для |
|
диффузионного |
BL |
насоса, охлаждаемый |
|
жидкостью, |
|
заливаемой в |
|
резервуар |
|
85
|
|
Окончание табл.П.7 |
35. |
Компенсатор |
S |
36. |
Трубопровод |
TV |
37. |
Соединение |
ТS |
трубопровода |
|
|
38. |
Вакуумное |
|
соединение |
TF |
|
фланцевое |
|
|
39. |
Вакуумметр. |
Р |
Общее обозначение |
|
|
40. |
Вакуумметр |
PD |
мембранный |
|
|
(деформационный) |
|
|
|
|
РА |
41. Вакуумметр ионизационный
PT
42. Вакуумметр термопарный
Примечание. Базовым размером при выборе масштаба для графического обозначения элементов является сторона а квадрата
86
(размера), используемого для обозначения насосов. Размеры остальных элементов обозначений принимаются в долях размера а. Размеры основных элементов обозначений приведены на рис.П.7.1.
Рис.П.7.1. Размеры основных элементов обозначений. Размер а выбирают из ряда 14, 20, 28, 40, 56 мм.
87
Приложение 8
ПРИМЕР ПРИНЦИПИАЛЬНОЙ СХЕМЫ ВАКУУМНОЙ СИСТЕМЫ
PA2
PD1
Примечания
1.Насос NJ1 обеспечивает предварительную откачку сосуда.
88
2.Насосы NR1 и NA1 обеспечивают поддержание рабочего давления в сосуде.
3.Фланцевые соединения TF1 предназначено для подсоединения течеискателя.
4.Соседние элементы, в реальных условиях соединяемые собственными фланцами (например, затвор VT1 и насос NR1), на схеме соединяются линиями, которые не имеют обозначения трубопроводов.
89
УСЛОВНЫЕ ОБОЗНАЧЕНИЯ
Р – давление газа, Па; Р0 – атмосферное давление, Па;
Рн – давление на входе в вакуумный насос, Па; Рнв – наибольшее входное давление вакуумного насоса, Па; Рост – предельное остаточное давление, Па; Рвых – давление на выходе вакуумного насоса, Па;
Рвып – наибольшее выпускное давление вакуумного насоса, Па; Ррс – рабочее давление в откачиваемом сосуде, Па; Ррн – рабочее давление на входе в вакуумный насос, Па;
Р – среднее давление, Па; ΔР – разность давлений, потеря давления, Па; ε – отношение давлений;
Т – температура абсолютная, К; t – температура, 0С;
М- масса вещества, кг;
М– массовый расход вещества, кг/с;
µ – молекулярная масса, кг/кмоль; V – объем, м3;
Rµ – универсальная газовая постоянная, Rµ = 8314 Дж/кмоль К; R – газовая постоянная, Дж/кг К;
ρ – плотность вещества, кг/м3; τ - время, с;
S – быстрота откачки, объемный расход, м3/с; Sэ – эффективная быстрота откачки, м3/с;
Sн –быстрота действия насоса, м3/с;
Ки – коэффициент использования насоса;
Q – количество газа – массагазав условных единицах(РV), м3 Па;
Q – поток газа – расход газа в условных единицах (РV), м3 Па/с; QГ – поток газовыделения – суммарный поток десорбции газов
с поверхности и диффузии газов из материала, м3 Па/с;
QНТ – поток натекания – суммарный поток проницаемости через оболочки и натекания через неплотности разъемных и неразъемных соединений, м3 Па/с;
90
