Расчет вакуумных систем. Учебно-методическое пособие

QТ – поток, обусловленныйтехнологическим процессом, м3 Па/с; qн – удельный поток натекания, Па/с;

qГ – удельный поток газовыделения, м3 Па/с см2; q – удельная сорбционная емкость;

с – тепловая и средняя тепловая скорости молекул, м/с; W – скорость течения газа, м/с;

а – скорость звука в газе, м/с;

L – средняя длина свободного пробега молекул, м; l - длина канала, трубы, м;

d – диаметр, м;

d - характерный размер канала, м; r - радиус, м;

f – площадь поверхности, поперечного сечения, м2; П – периметр, м;

F – сила, Н;

η – коэффициент динамической вязкости; ν – коэффициент кинематической вязкости; Re – число Рейнольдса;

Kn – число Кнудсена;

U – проводимость элемента вакуумной системы, м3/с;

U0 – проводимость отверстия в тонкой стенке, м3/с;

Z - сопротивление элемента вакуумной системы, с/м3;

w – коэффициент проводимости Клаузинга для канала или элемента вакуумной системы, отношение проводимостей, относительная проводимость;

ζ - коэффициент местного сопротивления; ς - коэффициент местного сопротивления для трубы; k – показатель изоэнтропы.

91

Рекомендуемая литература

1.Вакуумная техника: cправочник/ Е.С.Фролов [и др.]. − М.: Машиностроение, 1985. − 360 с.

2.Розанов, Л.Н. Вакуумная техника/ Л.Н.Розанов. − М.: Высшая школа, 1990. − 320 с.

3.Саксаганский, Г.Л. Молекулярные потоки в сложных вакуумных структурах/ Г.Л.Саксаганский. − М.: Атомиздат, 1980. −

216 с.

4. Нестеров, С. Б. Расчет сложных вакуумных систем/ С.Б.Нестеров, Ю.К.Васильев, А.В.Андросов. − М.: Изд-во МЭИ, 2001.

−180 с.

5.Пипко, А.И. Конструирование и расчет вакуумных систем/ А.И.Пипко, В.Я.Плисковский, Е.А.Пенчко.− М.: Энергия, 1979.−504 с.

6.Данилин, Б.С. Основы конструирования вакуумных систем/ Б.С.Данилин, В.Е.Минайчев. − М.: Энергия, 1971. − 292 с.

92

93

Путиловский Феликс Дмитриевич

РАСЧЕТ ВАКУУМНЫХ СИСТЕМ

Редактор Корректор Ю.Е.Стрыхарь

Издательство Казанского государственного технологического университета

Офсетная лаборатория Казанского государственного технологического университета

420015, Казань, К.Маркса, 68

94