Расчет вакуумных систем. Учебно-методическое пособие
.pdfПриложение 3
ХАРАКТЕРИСТИКИ ВАКУУМНЫХ НАСОСОВ
Внастоящем приложении приводятся характеристики вакуумных насосов, необходимые для выполнения расчетов вакуумных систем. Для каждого типоразмера насоса приводится основная характеристика в виде графически представленной
зависимости Sн=f(Рн).
Графическое изображение этой характеристики по сравнению с табличной формой даёт более наглядное представление о диапазоне рабочих давлений насоса, о наличии и поведении левой и правой ветвей характеристики.
Вотдельных случаях наряду с характеристиками приводится комментарий о некоторых особенностях рассматриваемого насоса.
Последовательность размещения насосов в приложении соответствует классификации наcосов, представленной в табл. 3.1.
П.3.1. Насосы прокачивающие объемного действия
Насосы объемного действия являются, в основном, низковакуумными. Насосы, имеющие масляное уплотнение, часто используются в качестве форвакуумных.
П.3.1.1. Мембранные насосы
Мембранные насосы относятся к безмасляным средствам откачки. Насосы обладают малыми быстротами действия, способны откачивать газы и пары не реагирующие с элементами конструкции.
Мембранный насос марки НВМ-3 содержит два блока откачки, которые могут работать либо параллельно, либо последовательно.
Диаметр входа Dу=11,5мм.
Диаметр выхода Dу=11,5мм.
Характеристики насоса приведены на рис.П.3.1.1.
П.3.1.2. Жидкостно (водо) – кольцевые насосы
Жидкостно–кольцевые насосы способны работать с использованием в качестве рабочего тела как воду, так и другие жидкости, близки к воде по вязкости и давлению насыщенного пара.
51
Наиболее широко используются водокольцевые насосы. Они способны откачивать как газы, так и пары, в том числе загрязненные и запыленные.
Рис.П.3.1.1. Мембранный насос марки НВМ-3: 1 – параллельное соединение блоков; 2 – последовательное соединение блоков
На рис.П.3.1.2. приведены характеристики типоразмерного ряда водокольцевых насосов.
Диаметры условных проходов входа и выхода насосов приведены в табл.П.3.1.1.
Таблица П.3.1.1
Диаметры входа и выхода насосов
Марка |
3ВВН1-3 |
2ВВН1-6 |
2ВВН1-12 |
2ВВН1-25 |
2ВВН2-50 |
|
насоса |
||||||
|
|
|
|
|
||
Dу входа, мм |
25 |
40 |
80 |
175 |
220 |
|
Dу выхода, |
25 |
40 |
70 |
100 |
145 |
|
мм |
||||||
|
|
|
|
|
П.3.1.3. Поршневые насосы
Поршневые насосы предназначены для откачки неагрессивных по отношению к чугуну, стали и бронзе взрывобезопасных газов и
52
воздуха, не содержащих капельной влаги и механических примесей. |
|||||
Известны насосы одноступенчатые и двухступенчатые. |
|
||||
3 |
|
|
|
|
|
S,м / с |
|
|
|
|
|
1 |
|
|
|
5 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
4 |
|
|
|
|
|
3 |
|
|
0,1 |
|
|
2 |
|
|
|
|
|
1 |
|
|
0,01 |
10 4 |
2 |
3 |
5 |
10 5 |
5×10 3 |
|||||
P,Па
Рис.П.3.1.2. Водокольцевые насосы: 1 – 3 ВВН1-3; 2 – 2 ВВН1-6; 3 – 2 ВВН1-12; 4 – 2 ВВН1-25; 5 – 2 ВВН2-50
Характеристики двух моделей поршневых насосов приведены на рис.П.3.1.3.
Диаметр входа в насосы Dу=100мм.
Рис.П.3.1.3. Поршневые насосы: 1 – одноступенчатый насос марки3ВНП-3; 2 – двухступенчатый насос марки 2 ДВНП-6
53
П.3.1.4. Пластинчато-статорные насосы
В пластинчато-статорных насосах уплотнение зазоров обеспечивается вакуумным маслом. Насосы этого типа имеют малые быстроты действия. На рис.П.3.1.4 приведена характеристика пластинчато-статорного двухступенчатого насоса марки ВН-461М.
Рис.П.3.1.4. Характеристика пластинчато–статорного насоса марки ВН-461М
П.3.1.5. Пластинчато-роторные насосы
По сложившейся традиции насосы этого типа часто называются механическими насосами с масляным уплотнением.
Среди пластинчато-роторных насосов можно выделить два основных варианта конструктивного решения: двухпластинчатые насосы и многопластинчатые насосы..
Двухпластинчатые насосы имеют масляное уплотнение зазоров, благодаря чему они могут работать в диапазоне давлений от атмосферного до 1 Па и ниже. Они способны откачивать воздух, неагрессивные к материалам конструкции и рабочей жидкости газы, парогазовые смеси, очищенные от капельной влаги. Насосы могут использоваться для поддержания рабочего давления в сосуде, а также в качестве насосов предварительной откачки и форвакуумных. приведены на рис.П.3.1.5. Наиболее распространенными являются двухступенчатые насосы. Характеристики типоразмерного ряда двухпластинчатых насосов приведены на рис.П.3.1.5.
54
Рис.П.3.1.5. Характеристики пластинчато-роторных насосов: 1 – насос марки НВР -250Д; 2 – НВР-90Д; 3 – НВР-16Д; 4 – 2 НВР-
5ДМ; 5 – НВР-4,5Д; 6 – 2 НВР-0,1Д
Диаметры условных проходов входа и выхода насосов приведены в табл. П.3.1.2.
Таблица П.3.1.2
Диаметры входа и выхода насосов
Марка |
2НВР- |
НВР- |
2НВР- |
НВР- |
НВР- |
НВР- |
|
насоса |
0,1Д |
4,5Д |
5ДМ |
16Д |
90Д |
250Д |
|
Dу входа, мм |
6,0 |
16,0 |
25,0 |
40,0 |
70,0 |
70,0 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Dу выхода, |
— |
— |
16,0 |
25,0 |
25,0 |
70,0 |
|
мм |
|||||||
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
Многопластинчато-роторные вакуумные насосы не имеют масляного уплотнения зазоров. Масло в них подаётся только для смазки движущихся деталей. Насосы относятся к низковакуумным. Известны одноступенчатые и двухступенчатые насосы.
55
Характеристики типоразмерных рядов одно- и двухступенчатых насосов приведены на рис.П.3.1.6.
Рис.П.3.1.6.Характеристики многопластинчато-роторных насосов. Одноступенчатые:1 – насос марки РВН-75;2 - РВН-60;
3– РВН-30; 4– РВН-8. Двухступенчатые:5 – РВН-75-30; 6 – РВН-60-30; 7 – РВН-30-8; 8– РВН-8-8
Диаметры условных проходов входа и выхода насосов приведены в табл. П.3.1.3.
Таблица П.3.1.3
Диаметры входа и выхода насосов
Марка |
РВН- |
РВН- |
РВН- |
РВН- |
РВН- |
РВН- |
РВН- |
РВН- |
|
насоса |
75 |
60 |
30 |
8 |
75-30 |
60-30 |
30-8 |
8-8 |
|
Dвх, |
250 |
225 |
150 |
85 |
250 |
225 |
150 |
85 |
|
мм |
|||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
||
Dвых, |
65 |
55 |
40 |
20 |
40 |
40 |
20 |
20 |
|
мм |
|||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
Насосы, образующие двухступенчатый насос, при высоких давлениях целесообразно включать параллельно, и только по достижении давления ~7,5·103 Па переключать на последовательную
56
работу. Возможность такого переключения насосов должна отражаться на принципиальной схеме вакуумной системы.
П.3.1.6. Плунжерные (золотниковые) насосы
Плунжерные насосы в литературе и в каталогах иногда называются золотниковыми насосами и механическими насосами с масляным уплотнением. В плунжерных насосах для уплотнения зазоров используется масло. Плунжерные насосы обладают теми же возможностями, как и пластинчато-роторные насосы. Они выпускаются в одноступенчатом и в двухступенчатом вариантах. Плунжерные насосы не могут длительно работать при входных давлениях, соизмеримых с атмосферным, в основном, из-за большого выброса масла вместе с газовым потоком.
Характеристики типоразмерного ряда одноступенчатых плунжерных насосов приведены на рис.П.3.1.7.
Диаметры входа насосов приведены в табл. П.3.1.4.
|
|
|
|
|
Таблица П.3.1.4 |
|
|
|
Диаметры входа насосов |
|
|
||
Марка |
НВЗ-500 |
|
НВЗ-300 |
АВЗ-180 |
|
АВЗ-90 |
насоса |
|
|
||||
|
|
|
|
|
|
|
Dвх, мм |
160 |
|
160 |
100 |
|
100 |
|
|
|
|
|
|
|
П.3.1.7. Двухроторные насосы
Двухроторные насосы в отличие от всех типов насосов объёмного действия нуждаются в форвакуумной откачке.
Высокие скорости вращения роторов делают их более компактными по сравнению с пластинчато-роторными и плунжерными насосами.
Использование двухскоростных электродвигателей для привода позволяет повысить быстроты действия насосов. На рис.П.3.1.8 приведены характеристики двухроторных насосов.
Введение в конструкцию насоса устройства, позволяющего за счет перепуска воздуха с выхода на вход поддерживать постоянный перепад давлений на роторы, обеспечивает возможность включения насоса одновременно с форвакуумным. У таких насосов диапазон рабочих давлений расширяется. На рис.П.3.1.9 приведена
57
|
3 |
|
|
|
|
|
|
S,м / с |
|
|
|
|
|
|
|
1 |
|
|
|
|
1 |
|
|
|
|
|
|
|
|
2 |
|
10 |
- 1 |
|
|
|
|
3 |
|
|
|
|
|
|
4 |
|
|
10 - 2 |
|
|
|
|
|
|
|
10 - 3 |
|
|
|
|
|
|
|
10 |
- 4 |
|
|
|
|
|
Р,Па |
1 |
10 |
10 2 |
10 3 |
10 4 |
10 5 |
||
Рис.П.3.1.7. Характеристики одноступенчатых плунжерных |
|||||||
|
|
|
насосов: |
|
|
|
|
1 – насос марки НВЗ -500; 2 – НВЗ -300; 3 – АВЗ-180; 4 – |
АВЗ-90 |
||||||
Рис.П.3.1.8. Характеристики двухроторных двухскоростных насосов: 1 – насос марки 2 ДВН-1500 при частоте вращения роторов
ω=300рад/с; 2 – 2 ДВН-1500 при ω=152рад/с; 3 – 2 ДВН-500 при ω=305рад/с; 4 – 2 ДВН-500 при ω=152рад/с
58
характеристика двухроторного насоса, имеющего перепускное устройство, конструктивно объединенного с пластинчато-роторным насосом в агрегат.
Диаметры входа и выхода насосов приведены в табл.П.3.1.4.
S,м3/ c |
|
|
|
|
|
10 - 1 |
|
|
|
|
|
10 - 2 |
|
|
|
|
Р,П |
10 0 |
10 1 |
10 2 |
10 3 |
10 4 |
10 5 |
Рис.П.3.1.9. Характеристика агрегата АВД-150/25 с |
|||||
|
двухроторным насосом |
|
|
||
|
|
|
Таблица П.3.1.4 |
|
|
Диаметры входа и выхода |
|
||
Марка насоса |
2ДВН-500 |
2ДВН-1500 |
АВД-150/25 |
|
Вход насоса Dу, |
175 |
240 |
100 |
|
мм |
||||
|
|
|
||
Выход насоса Dу, |
175 |
150 |
|
|
мм |
|
|||
|
|
|
||
П.3.2. Насосы прокачивающие кинетического действия
В насосах кинетического действия импульс движения откачиваемому газу передается движущимися элементами насоса. В молекулярных и турбомолекулярных насосах это движущиеся поверхности. В струйных это струи жидкости, газа или пара. Импульс движения молекулы пропорционален её массе и скорости. В одном и том же насосе молекулы разных газов получают разные импульсы движения. Этим, отчасти, объясняется тот факт, что насосы кинетического
59
действия обладают избирательностью откачки, т.е. величины быстрот |
||||||
откачки насосов зависят от рода газа. |
|
|
|
|||
|
|
П.3.2.1. Молекулярные насосы |
|
|
||
Молекулярные насосы применяются часто при совместной |
||||||
работе с турбомолекулярными насосами в качестве выходной |
||||||
ступени. Характеристик собственно молекулярных насосов авторы не |
||||||
приводят. |
|
|
|
|
|
|
|
П.3.2.2. Турбомолекулярные насосы |
|
||||
Современные турбомолекулярные насосы имеют быстроты |
||||||
откачки в диапазоне от 0,1м3/с до 20 м3/с. Насосы относятся к |
||||||
безмасляным средствам откачки, они способны откачивать разные |
||||||
газы. Характеристики одного типоразмерного ряда насосов при |
||||||
откачке различных газов приведены на рис.П.3.2.1. |
|
|
||||
S,м3/ с |
|
|
|
|
|
|
20 |
|
5 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
6 |
|
|
|
|
15 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
4 |
3 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
10 |
|
|
|
|
|
|
|
|
1 |
|
2 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
5 |
|
|
|
|
|
|
0 |
|
|
|
|
|
Р,Па |
10 - 6 |
10 - 5 |
10 - 4 |
10 - 3 |
10 - 2 |
10 - 1 |
10 0 |
Рис.П.3.2.1. Характеристики турбомолекулярных насосов: насос |
||||||
марки ТМНГ-10000 (1 – по азоту ; 2 – по гелию ; 3 – по водороду ); |
||||||
насос марки ТМНГ-20000 (4 – по азоту ; 5 – по гелию ; 6 – по водороду) |
||||||
|
|
|
60 |
|
|
|
