Курсовой - Разработка технологического процесса изготовления толстоплёночной ГИС / 8 Разработка технологического процесса на операционный процесс

8 Разработка технологического процесса на операционный процесс

Процесс нанесения толстых плёнок состоит в основном из трёх этапов:

-нанесение пасты через трафарет;

-сушка;

-вжигание;

Нанесение паст можно производить двумя способами: бесконтактным и контактным. При бесконтактном методе элементы получаются немного расплывчатые, но зато трафарет не повреждается и не вносит загрязнения на подложку. При бесконтактном методе нанесения пасту можно наносить пульверизацией с помощью распылителя, тем самым увеличивается точность отпечатка.

Достоинством нанесения паст через трафарет является:

- простота процессов формирования пассивных элементов;

- высокая добротность;

- температурная и временная стабильность;

К недостаткам можно отнести:

- невысокая геометрическая точность элементов при трафаретной печати;

- отсутствие контроля и управления физико-химическими процессами, сопровождающими вжигание элементов в подложку;

- большой разброс значений параметров элементов, в результате чего необходимость введения в технологический процесс операции подгонки резисторов и конденсаторов;

Для нанесения паст через трафарет используют установку трафаретной печати ПЦ – 4048.Эта установка отлично подходит для нанесения пасты, имеет среднее быстродействие и высокое качество нанесения.

После нанесения проводят сушку при температуре 80-150 градусов Цельсия в течении 10-15 минут в установках с инфракрасным нагревом.

После сушки проводят вжигание. Его проводят в три стадии. На первой стадии скорость подъема температуры относительно невысока, происходит разложение органической связки и ее удаление с помощью интенсивной вытяжной вентиляции (300-400 градусов Цельсия). На второй стадии скорость роста температуры повышают, происходит плавление низкотемпературного стекла и образование суспензии твердых функциональных частиц в расплавленном стекле при 500-1000 градусах Цельсия. Собственно вжигание происходит на третьей стадии при постоянной температуре в 750-800 градусах Цельсия. После выдержки (~10 мин.) изделия медленно охлаждают (четвертая стадия) во избежание внутренних напряжений. Общая продолжительность цикла порядка одного часа. Вжигание осуществляют в камерных печах периодического действия (мелкосерийное производство), либо в туннельных печах непрерывного действия (крупносерийное и массовое производство).

Вот все основные этапы, далее проводят подгонку элементов, контроль параметров, герметизацию в корпус и упаковку готовой ИМС в упаковку.