- •Физика полупроводников
- •Раздел 1. Химическая связь и атомная структура полупроводников Занятие №1
- •2. Основы технологии полупроводников и методы определения их параметров Занятие №2
- •Раздел 3. Основы зонной теории полупроводников Занятие № 3
- •4. Равновесная статистика электронов и дырок в полупроводниках Занятие № 4
- •5. Кинетические явления в полупроводниках Занятие № 5
- •6. Рекомбинация электронов и дырок в полупроводниках Занятие № 6
- •7. Контактные явления в полупроводниках Занятие № 7
- •8. Свойства поверхности полупроводников Занятие № 8
- •9. Оптические явления в полупроводниках Занятия № 9, 10 и 11
- •10. Фотоэлектрические явления Занятие № 11
- •12. Полупроводниковые структуры пониженной размерности и сверхрешетки Занятие № 12
- •Занятие 13
- •11. Некристаллические полупроводники
- •13. Принципы действия полупроводниковых приборов
- •Литература
12. Полупроводниковые структуры пониженной размерности и сверхрешетки Занятие № 12
12.1 Размерное квантование. Двумерные и квазидвумерные электронные системы и структуры, в которых они реализуются. Контра- и ковариантные композиционные сверхрешетки, легированные сверхрешетки. Квантовые нити. Квантовые точки. Энергетический спектр электронов и плотность состояний в этих системах.
Литература:
1. Кардона [18].
2. Херман [15], глава 1.
3. Grundmann [7], глава 11, п.11.4, 11.5; глава 13.
Схема:
1. Рассмотреть квантование энергетического спектра электрона в прямоугольной потенциальной яме с бесконечно высокими стенками (одномерный случай). Сказать (качественно), что изменяется при учете конечной высоты барьера (туннелирование под барьер). Переход от одномерной задачи к трехмерному случаю: в квантовой яме (КЯ), с учетом свободного движения электронов плоскости, параллельной стенкам барьера, образуются двумерные подзоны.
2. КЯ и структуры с набором КЯ (мультиквантовые ямы, МКЯ) можно создавать на основе полупроводниковых гетеропереходов (ГП). При этом потенциальный рельеф для электронов и дырок обеспечивается разрывом зон на границах гетеропереходов. Композиционные сверхрешетки (СР) представляют собой периодические МКЯ с туннельно-прозрачными барьерами. Композиционные СР 1-го (контравариантные) и 2-го (ковариантные) типов получаются на основе ГП I и II типов, соответственно. В ГП 1-го типа знаки разрывов зоны проводимости и валентной зоны противоположны (поэтому соответствующие сверхрешетки назваются контравариантными), а в ГП 2-го типа знаки разрывов одинаковы. В СР 1-го типа области потенциальных ям для электронов и дырок совпадают, а в СР 2-го типа – пространственно разделены.
3. Легированная n-i-p-i сверхрешетка представляет собой периодическую последовательность слоев p-типа и n-типа одного и того же полупроводника, разделенных нелегированными i-слоями того же полупроводника. Другими словами, легированную СР можно представить как последовательность p-n переходов, создающих периодический потенциал (последовательность ям и барьеров) для электронов и дырок. Легированная n-i-p-i СР является сверхрешеткой 2-го типа, поскольку n-области являются ямами для электронов и барьерами для дырок, а p-области – наоборот.
Разумеется, можно создавать сверхрешетки, в которых периодический потенциал формируется как с помощью разрывов зон на ГП (чередованием полупроводников с различной шириной запрещённой зоны), так и с помощью модулированного легирования.
4. Квазидвумерные электронные системы можно создать на основе легированных гетеропереходов или квантовых ям. Квазиодномерные электронные системы (квантовые нити) и квазинульмерные системы (квантовые точки) можно создавать литографическими методами на основе квазидвумерных систем.
5. Нарисовать графики зависимостей электронной плотности состояний для трехмерной, двумерной, одномерной и нульмерной систем.
Дополнительный вопрос:
Сверхрешетки какого типа – первого или второго, больше подходят для создания светоизлучающих приборов? Фотоприёмников?
12.2 Оптические явления в структурах с квантовыми ямами, правила отбора для межзонных и внутризонных (межподзонных) переходов. Межзонное поглощение и излучательная рекомбинация в этих структурах. Экситоны в квантовых ямах, квантово-размерный эффект Штарка.
Литература:
1. Кардона [18].
2. Grundmann [7], глава 11, п.11.6; глава 12, п.12.1.6 (квантово-размерный эффект Штарка).
3. Херман [15], глава 4, п.4.2.
Схема:
1. Спектр межзонного поглощения в КЯ и МКЯ происходит между подзонами размерного квантования валентной зоны и зоны проводимости с одинаковыми номерами , то есть из первой подзоны (n=1) для дырок в первую подзону (n=1) для электронов и т.д. Правило отбора не является строгим; благодаря конечной высоте барьеров, наличию внешнего или встроенного электрического поля, в спектре поглощения могут проявляться линии с . Форма спектра поглощения, как обычно, повторяет зависимость плотности состояний от энергии. В случае квантовой ямы плотность состояний в каждой подзоне не зависит от энергии, в итоге спектр поглощения имеет ступенчатую форму.
2. В КЯ, как и в объёме полупроводника, учет кулоновского взаимодействия электронов и дырок приводит к возникновению связанных состояний электронов и дырок – экситонов, причём энергия связи таких квазидвумерных экситонов существенно больше, чем в объёме (в пределе двумерного слоя – в четыре раза больше).
3. В электрическом поле, перпендикулярном плоскости КЯ, имеет место квантово-размерный эффект Штарка – сдвиг экситонной линии поглощения в сторону меньших энергий фотонов. Этот сдвиг обусловлен сближением по энергии дна зоны проводимости и валентной зоны в электрическом поле F на величину , где a – ширина КЯ (показать на энергетической диаграмме!). Как следствие, экситонная линия тоже сдвигается на величину порядка . Величина сдвига значительно превышает эффект Штарка на экситоне в объёме полупроводника. Другая особенность квантово-размерного эффекта Штарка состоит в том, что линия квазидвумерных экситонов слабо уширяется в электрическом поле по сравнению с уширением линии объёмных экситонов, поскольку потенциальные барьеры КЯ препятствуют диссоциации квазидвумерных экситонов в электрическом поле. На основе квантово-размерного эффекта Штарка можно построить эффективный электрооптический модулятор света.
4. Межподзонные переходы в КЯ возможны только для излучения, имеющего компоненту электрического вектора поляризации, перпендикулярную плоскости ямы, поскольку излучение с вектором поляризации, параллельным плоскости КЯ, разгоняет электроны внутри одной подзоны, не вызывая межподзонных переходов. Для наблюдения межподзонных переходов можно использовать наклонное падение света с поляризацией, лежащей в плоскости падения, или специальные МКЯ-структуры, в которые свет заводится через срезанную под ~45 грань подложки (показать на рисунке). Энергию межподзонных переходов можно настраивать, изменяя ширину ямы, а также высоту барьеров. На межподзонных переходах в МКЯ созданы ИК-фотоприёмники. Такая работа ведётся и в нашем Институте.
Дополнительный вопрос:
Нарисовать схему фотоприёмника на межподзонных переходах в МКЯ. Каким нужно выбирать энергетическое положение подзон размерного квантования (относительно барьера), чтобы увеличить: (а) вероятность оптических переходов между подзонами; (б) увеличить эффективность сбора электронов, возбужденных светом из нижней подзоны в верхнюю ?
12.3 Электрические и гальваномагнитные явления в двумерных структурах. Эффект Шубникова-де Гааза. Общее представление о квантовом эффекте Холла.
Литература:
1. Кардона [18].
2. Grundmann [7], глава 12, п.12.2, 12.3.
Схема:
1. "Квазиодномерный" энергетический спектр электронов в квантующем магнитном поле в объёме полупроводника. Нарисовать плотность состояний в зависимости от энергии электронов в квантующем магнитном поле. В металле или в вырожденном полупроводнике при изменении магнитного поля возникают периодические по 1/H осцилляции величины магнетосопротивления (эффект Шубникова-де Газа) и других физических свойств. Осцилляции обусловлены касанием уровня Ферми дна очередной подзоны Ландау.
2. Дискретный спектр двумерных электронов в поле, перпендикулярном магнитному полю: квазиодномерные подзоны Ландау превращаются в дискретные уровни Ландау. Кратность вырождения уровней Ландау.
3. Определение концентрации электронов из периода осцилляций Шубникова-де Газа в двумерном электронном газе.
4. Общее представление о квантовом эффекте Холла.