21 Вопрос. Электронно-лучевая обработка

ЭЛ обработка основана на использовании тепловой энергии, выделяющейся при столкновении быстродвижущихся электронов с обрабатываемым материалом. Высокая плотность энергии сфокусированного электронного луча позволяет осуществлять размерную обработку детали вследствие расплавления и испарения материала с узколокального участка. Процесс обработки осуществляется в глубоком вакууме. Принципиальная схема установки для обработки материалов электронным лучом приведена на рис.8. Основными ее элементами являются катодный узел и системы фокусировки и перемещения луча (детали). Электронная пушка состоит из подогревного катода 1, фокусирующего электрода 14 и ускоряющего анода 2. Пучок электронов 3, испускаемых поверхностью нагретого катода 1, собирается в узкий луч фокусирующим электродом 14 и ускоряется разностью потенциалов между анодом 2 и катодом 1. Для сужения электронного пучка до необходимых размеров используются электростатические и электромагнитные линзы 4 и диафрагма 5. Пройдя через них, луч попадает на обрабатываемую деталь 10, укрепленную на рабочем столе 11. Обработка выполняется в камере 12, в которой создается глубокий вакуум (133∙10-6 Па). Наблюдение за процессом обработки проводится с помощью оптической системы 8, окуляра 13, полупрозрачного зеркала 7 и подсветки 6.

Р ис.8. Принципиальная схема установки формирования направленных пучков электронов.

Достоинствами электронно-лучевой сварки являются: высокая чистота сварного шва, возможность получать сварные швы шириной 1 мм и менее, глубокий провар, возможность сварки диэлектрических материалов. С Помощью ЭЛ обработки разрезают заготовки, прошивают пазы сложной формы любых материалов. Можно вырезать сложный контур. Эффективна при обработке отверстий от 1мм до 0.1 мм, при прорезании пазов, при резке, при изготовлении сеток из фольги, при изготовлении заготовок из труднообрабатываемых материалов: металлов и их сплавов, кварца, полупроводниковых материалов.

К недостаткам электронно-лучевой обработки следует отнести сложность технологических установок, высокую их стоимость и необходимость проведения работ в условиях глубокого вакуума.

Плазменная обработка.

Плазма – это четвертое состояние, которое представляет собой ионизированный газ, который формируется из электронов, возбужденных и нейтральных атомов и молекул, заряженных ионов со знаком плюс. Плазменная обработка используется в процессах, требующих высокотемпературного концентрированного нагрева: резка, прошивка отверстий, микро - и макросварка, нанесение покрытий, восстановление изношенных деталей, плавка. Наплавка износостойких покрытий осуществляется с целью повышения эксплуатационных свойств детали.

Напыление. Напыляемый материал нагревается в плазматроне. Температура подложки в зависимости от цели напыления может быть различной. Формируются слои небольшой толщины – от нескольких мкм до одного мм. Для увеличения адгезии напыленного слоя стремятся повысить степень химического воздействия покрытия с подложкой за счет ее разогрева или введения промежуточных химически активных слоев.

Плазменная резка. Достоинства: обрабатываются любые металлы толщиной до 100–150 мм, меньшая ширина реза чем при газовой резке, лучшая поверхность, меньшая зона термических изменений. Скорость: 0,5–1,5 см/с в зависимости от толщины.

Плазму получают в плазменных горелках. (Азот, аргон, водород, гелий, воздух). Этапы: сырье->ферментация и биотрансформация->конечная обработка->конечный продукт.

Лазерная обработка

Для лазерной резки металлов применяют технологические установки на основе твердотельных, волоконных лазеров и газовых CO2-лазеров, работающих как в непрерывном, так и в импульсно-периодическом режимах излучения. Процесс лазерной резки становится эффективным только при условии обоснованного и разумного выбора области применения, когда использование традиционных способов трудоемко или вообще невозможно. Лазерная резка осуществляется путём сквозного прожига листовых металлов лучом лазера. Такая технология имеет ряд очевидных преимуществ перед многими другими способами раскроя:

• Отсутствие механического контакта позволяет обрабатывать хрупкие и деформирующиеся материалы;

• Обработке поддаются материалы из твердых сплавов;

• Возможна высокоскоростная резка тонколистовой стали;

• При выпуске небольших партий продукции целесообразнее провести лазерный раскрой материала, чем изготавливать для этого дорогостоящие пресс-формы или формы для литья;

• Для автоматического раскроя материала достаточно подготовить файл рисунка в любой чертежной программе и перенести файл на компьютер установки, которая выдержит погрешности в очень малых величинах.

Для лазерной резки подходит любая сталь любого состояния, алюминий и его сплавы и другие цветные металлы.

22 вопрос. Электрохимические методы обработки.

Электрохимические методы обработки металлов основаны на принципе электролиза. Известно, что, если в сосуд с токопроводящей жидкостью ввести твердые проводящие пластинки (электроды) и подать на них напряжение, возникает электрический ток. Такие токопроводящие жидкости называются проводниками II рода или электролитами. К их числу относятся растворы кислот, щелочей и солей в воде или в других растворителях, а также расплавы солей. Носителями тока в электролитах служат положительные и отрицательные ионы, которые движутся соответственно к отрицательному электроду — катоду и положительному электроду — аноду. В зависимости от химической природы электролита и электродов, а также значения напряжения на металлическом катоде обычно выделяется водород или осаждается металл, на аноде происходит растворение металла, которое часто сопровождается выделением кислорода. Это явление и получило название электролиза.  Основные его законы сформулировал в 1834 г. великий английский физик М. Фарадей.

Сейчас электролиз широко применяется в промышленных масштабах для нанесения защитных и декоративных покрытий на металлические изделия (гальваностегия), изготовления металлических слепков с рельефных моделей (гальванопластика), получения металлов из расплавленных руд и очистки металлов (гидроэлектрометаллургия),  в  производстве хлора  и  др.

При электрохимической размерной обработке металлов электроды (заготовка — анод и инструмент — катод) располагаются на очень близком расстоянии друг от друга (50—500 мкм). Между ними под давлением прокачивается электролит. Благодаря тому что зазор между электродами очень мал, напряженность электрического поля велика и обработка металла происходит очень быстро (0,5—2 мм/мин, а в некоторых случаях до 5—6 мм/мин со всей обрабатываемой поверхности). Если при этом поддерживать постоянным расстояние между электродами, то на заготовке (аноде) можно получить достаточно точное зеркальное отображение формы электрода-инструмента  (катода).

По используемым принципам эти методы разделяют на анодные и катодные (см. Электролиз), по технологическим возможностям — на поверхностные и размерные.

         Поверхностная электрохимическая обработка.  Суть метода состоит в том, что под действием электрического тока в электролите происходит растворение материала анода (анодное растворение), причём быстрее всего растворяются выступающие части поверхности, что приводит к её выравниванию. При этом материал снимается со всей поверхности, в отличие от механического полирования, где снимаются только наиболее выступающие части. Электролитическое полирование позволяет получить поверхности весьма малой шероховатости. Важное отличие от механического полирования — отсутствие каких-либо изменений в структуре обрабатываемого материала.

         Размерная электрохимическая обработка. К этим методам обработки относят анодно-гидравлическую и анодно-механическую При электрохимической размерной обработке металлов электроды (заготовка — анод и инструмент — катод) располагаются на очень близком расстоянии друг от друга (50—500 мкм). Между ними под давлением прокачивается электролит. Благодаря тому что зазор между электродами очень мал, напряженность электрического поля велика и обработка металла происходит очень быстро (0,5—2 мм/мин, а в некоторых случаях до 5—6 мм/мин со всей обрабатываемой поверхности). Если при этом поддерживать постоянным расстояние между электродами, то на заготовке (аноде) можно получить достаточно точное зеркальное отображение формы электрода-инструмента  (катода).

23 вопрос. Томская область, общие сведения: cтатус, состав Томской области, география и природа, экономика, транспорт. (Внимание! Рдкоть! Следующие три ответа по лекциям!)

Расположение: Сибирь, Юго-Восток, Западно-Сибирская равнина.

Сопредельные области: Ханты-Мансийский автономный округ, Новосибирская область, Кемеровская область и Омская.

Площадь = 314,4 тыс. кв. км. Сред температура: июля - +19, января - -16.

Расположение над уровнем моря: самая высокая точка - +274м, низкая - +34м. Площадь болот=91,573 тыс. кв. км. (28,9 % от общей площади).

Площадь васюганского болота = 53 тыс. кв. км. – самое крупное болото в мире => торф, нефть.

Природные ресурсы: нефть, газ, дерево, торф, каолин, тугоплавкие глины, стекольные пески, железные руды и бокситы, бурый уголь и цинк.

Обнаружено появление золота, платины, титан и циркония.

Население: 1,034 млн.чел.(2007 год). 66% - городское население, более 80 национальностей, в том числе малочисленные народы – селькупы, чувинцы, ханты, кеты.

Экономика. Добыча нефти – 11 млн.тонн – первое место в мире. Газа – 4,5 млрд. куб. м. Заготовка древесины – 1,7 млн. куб. м. Производство синтетических смол и пластических масс – 400 тыс. тонн. Производство электродвигателей – 130 тыс. штук. Производство кабелей и проводов – 25 тыс. км. Полупроводниковые приборы – 174 тыс. штук. НИИП полупроводниковых приборов основан в 1968 году (В. А. Преснов).

ВРП (валовый региональный продукт) – V=186,5 млрд. рублей. – самый большой в сибирском федеральном округе на душу населения.

Экспорт – 920 млн. дол. США, Импорт – 130 млн. дол. США. Инвестиции в основной капитал – 62 млрд. руб. Внутриобластные перевозки – речной и автомобильный транспорт.

Протяженность судоходных путей по р. Оби – 5 тыс. км.

Протяженность автомобильных путей с твердым покрытием – 6,2 тыс.км.

Длина железных дорого – 346 км. Основная трасса – Белый Яр – Томск – Тайга.

24 вопрос. Инновационный потенциал Т. области: образовательный комплекс.

В Томске реализована вся основная цепочка модели инновационного развития. Образование – НИОКР – изделие – вывод на рынок.

Инновационный сектор рзвития экономики в Томской обл. на особом счету, основа развития, фундаментальная наука. В Томске более 400 инновационных предприятий с V продукции > 7-8 млрд. руб. Т. обл. лидер в РФ по инновационному развитию. Занимает 4-е место в рейтинге, как имеющая наибольшие предпосылки инновационного развития и по этому показателю опережает Москву, Питер и Новосибирскую область ( крупнейшее сибирское отделение академии наук в Новосибе). Инновационный потенциал – 22 % от всего потенциала Т.обл. Каждая 6я томская компания занимается инновациями.

Научно-образовательный комплекс – это важное конкурентное преимущество Т. обл. Он многопрофильный и обеспечивает разработку и внедрение самых важных технологий мирового уровня.

В Томске 6 универов – ТГУ, ТПУ, ТУСУР, ТГАСУ, СибГМУ, ТГПУ). За величайшие заслуги в науке и образовании ТГУ и ТПУ получили НИУ (национальный исследовательский университет)

ТУСУР – университет предпринимательского типа (выиграл финансирование на развитие особой предпринимательской программы в образовании). MIT –массаучсетский институт технологий и TWENTE.

ТГУ и ТПУ – входят в 5ку лучших ВУЗов России. Готовят специалистов по всем направлениям. Томск собирает молодежь с регионов Казхстана, Сибири и средней Азии. Всего обучатся около 100 тыс. чел., каждый пятый житель Томска – студент. Еще 5 институтов: сельскохозяйственный институт, Институт бизнеса, ТЭЮИ (Томский экономико-юридический институт), Северский технологический институт, институт ядерного центра МИФИ (Московский инженерный институт).

При каждом ВУЗе действует НИИ (научно-исследовательский институт).

ТГУ – НИИ биологии и биофизики, НИИ прикладной механики и математики, НИИ сибирский ботанический сад, СФТИ (сибирский физико-технический институт) – 1929 год, ИИП – институт инженерного предпринимательства – наш конкурент O_o.

ТПУ – киберцентр, НИИ высоких напряжений. НИИ интроскопии, НИИ ядерной физики.

ТУСУР – НИИ автоматики и электромеханики.

ТГАСУ – НИИ строительных материалов.

Во всех ВУЗах работает около 20 различных элементов инновационной инфраструктуры. Бизнес-инкубаторов – 5, офисы коммерциализации – 7 и более (около 400 научных разработок), центры трансферных технологий – 2 и более, консалтинговые услуги.

25 вопрос. Инновационный потенциал Т. области: научный комплекс.

Т. обл. занимает 4 место по удельному весу лиц, имеющих научную степень (доктор наук), 3-е место по числу студентов на 10 тыс. человек населения.

Научный комплекс Т.о. состоит из 16 НИИ ( в ТНЦСОРАН [1] и ТНЦСОРАМН [2]):

В 1-м – 8 НИИ: 1. ИМКЭС – Институт мониторинга климатических и экологических систем. 2. – Институт оптики и атмосферы (ИОЭ). 3. – Институт сильноточной электроники (ИСЭ). 4. – Институт физики прочности материаловедения. 5. – Институт химии и нефти. 6. – Конструкторско-технологический центр. 7. – Институт структурной макрокинетики. 8. – Томский филиал института нефтегазовой геологии и геофизики.

Во 2м – 1. – НИИ акушерства и гинекологии. 2. –НИИ кардиологии. 3. – НИИ медицинской генетики. 4. – НИИ онкологии. 5. – НИИ психического здоровья. 6. – НИИ фармакологии. 7. – ПНИЛ – проблемная научно-исследовательская лаборатория «Радиационная медицина и радиобиология». 8. – НИИ курортологии и физиотерапии.

На 2008 год по численности персонала, занятого исследованиями и разработками Т.о. занимает 4 место (8400 чел.). 1 место по этому показателю на душу населения.

26. Инновационный потенциал Томской области – инновационная инфраструктура: 1) областные законы и нормативно-правовые акты, 2) конкурсы, программы; 3) инкубаторы, фонды.

Томская область является регионом-лидером в Российской Федерации по инновационному потенциалу. По оценке авторитетного рейтингового агентства «Эксперт-РА», Томская область занимает 4-е место в рейтинге регионов России с наибольшими предпосылками для инновационного развития, опережая по этому показателю Москву, Санкт-Петербург и Новосибирскую область. Доля инновационного потенциала в совокупном потенциале региона составляет 21,7%.

По данным Федеральной службы государственной статистики, уровень инновационной активности предприятий Томской области в 2006 году составил 15,6% (в России 8,6%, а в Сибирском федеральном округе 6.9%), то есть почти каждая шестая томская компания занимается инновациями.

Важным конкурентным преимуществом региона является наличие в нем многопрофильного научно-образовательного комплекса, который способен обеспечить разработку и внедрение современных технологий мирового уровня на существующих и создаваемых предприятиях Томской области. В Томске действуют 6 университетов, в том числе старейшие в Сибири Томский государственный университет и Томский политехнический университет, входящие в пятерку лучших вузов страны, Высшие учебные заведения региона готовят специалистов высшей квалификации по всем необходимым специальностям для ведения высокотехнологичного бизнеса. Университеты Томска обеспечивают постоянный приток молодежи из регионов Сибири и Дальнего Востока, Казахстана и стран Средней Азии, лучшие из которых пополняют научные школы, наукоемкие предприятия, становятся организаторами инновационного бизнеса. Всего в вузах Томска обучается около 100 тысяч человек, каждый пятый житель города – студент.

Основным направлением деятельности сформированной в Томской области инновационной инфраструктуры является коммерциализация научных разработок.

Инфраструктура обеспечивает поддержку инновационного процесса «от идеи до внедрения» и включает 39 различных элементов:

• офисы коммерциализации разработок;

• бизнес-инкубаторы, в т.ч. при каждом вузе;

• инновационно-технологические центры;

• центры трансфера технологий;

• межведомственный центр нанотехнологий «Томскнанотех»;

• Томский венчурный фонд, сеть рискового финансирования и др.

Ключевым элементом инфраструктуры является особая экономическая зона технико-внедренческого типа в г.Томске. В настоящее время в ней осуществляют деятельность 45 резидентов, в том числе 7 – с участием иностранного капитала. За время реализации данного проекта (с 2005 года) объем привлеченных инвестиций превысил 9 млрд.рублей, количество рабочих мест составило более одной тыс.человек.

Одним из стимулирующих инструментов регионального инновационного развития является ежегодное проведение различных конкурсов:

– научных разработок (с 1996 года),

– молодых ученых (с 2002 года),

– на звание «Лучшей инновационной организации» (с 2003 года) и «Лучшей начинающей инновационной организации» (с 2010 года) и других.

Содействием инновационной деятельности предприятий Томской области занимаются около 10 фондов и центров, в том числе:

• Международный центр организации обучения в области высоких технологий Ассоциации инженерного образования России

• Некоммерческая организация Фонд «Агентство развития Томской области»

• «Томское агентство привлечения инвестиций»

• Томский центр научно-технической информации

• Томский центр содействия инновациям

• Фонд содействия науке и образованию – Томский региональный инкубатор технологий

26. Инновационный потенциал Томской области: инновационный бизнес.

В настоящий момент в Томской области работают более 200 инновационных предприятий с ежегодным ростом объемов произведенной продукции более чем на 30%. В 2008 году объем наукоемкой продукции составил 27 миллиардов рублей. Доля инновационной продукции в общем объеме промышленности региона по прошлому году составила более 18%. При этом научно-образовательный комплекс занимает второе место в структуре экономики региона после нефтегазового. В 2009 году томские вузы привлекли в регион более 20 миллиардов рублей инвестиций.

Инновационные пути в развитии Томской области:

Сегодня в Томске действуют 7 бизнес-инкубаторов, 13 офисов коммерциализации научных разработок, 4 центра трансфера технологий, 4 инновационно-технологических центра, региональный венчурный фонд, консалтинговые компании, создана и действует система электронных торгов научно-технической продукцией, работают около 400 инновационных фирм.

26. Инновационный потенциал Томской области– ОЭЗ технико-внедренческого типа: основы и причины появления, приоритетные направления, география местонахождения, органы управления.

Особая экономическая зона технико-внедренческого типа.

Особая экономическая зона – часть национальной территории (иногда выделенной из общей таможенной территории государства), имеющая расширенную самостоятельность в решении хозяйственных вопросов, особый режим управления и преференциальные условия экономической деятельности для иностранных и национальных предпринимателей.

Причин, побудивших разработать долгосрочную стратегию развития области, несколько. Первая - это зависимость экономики региона от сырьевых секторов, усугубившаяся ситуацией с ОАО "Томскнефть", которое существенно снизило объемы добычи нефти и инвестиций в основной капитал. Конечно, это сказалось на темпах роста экономики области в целом, так как нефтяная отрасль и сегодня обеспечивает до 50% промышленного производства и до 30% доходов консолидированного бюджета. Вторая - конкуренция регионов за привлечение инвестиций и высококвалифицированных кадров. Третья - низкий уровень доходов населения (по данным социологического опроса жителей области), несмотря на лидирующие позиции по этому показателю в Сибирском федеральном округе и 15-е место в Российской Федерации. 

Цели создания ОЭЗ (в общем):

• Развитие обрабатывающих отраслей экономики

• Развитие высокотехнологичных отраслей, производства новых видов продукции

• Развитие транспортной инфраструктуры

• Развитие туризма и санаторно-курортной сферы

Основная идея проектного предложения – создание на территории Томской области особой экономической зоны (ОЭЗ) технико-внедренческого типа. Создание ОЭЗ благоприятно скажется на инвестиционном и предпринимательском климате региона и послужит дополнительным толчком для формирования динамично развивающейся, конкурентоспособной региональной экономики посредством развития наукоёмких, высокотехнологичных отраслей. Кроме того, создание ОЭЗ позволит сформировать новый стандарт качества организации труда и жизни, что естественным образом повысит привлекательность г.Томска как места, где созданы благоприятные условия для работы и проживания.

Скорее всего, в ближайшие 10-15 лет сырьевые проекты - поиск и добыча углеводородов на территории Обского правобережья, разработка месторождений железной руды в Бакчарском районе и развитие лесопромышленного комплекса - останутся одними из приоритетных для Томской области.

В ходе разработки Стратегии наиболее перспективными с точки зрения научного, производственного и кадрового потенциала на территории Томской области признаны информационно-коммуникационные и электронные технологии, производство новых материалов и нанотехнологии, биотехнологии и медицинские технологии. Выбор приоритетов стратегического развития области был основан на оценке потенциала роста ключевых секторов экономики с учетом влияния мировых и национальных экономических тенденций и трендов, а также стратегического фокуса Администрации области. 

По результатам конкурса в соответствии с Постановлением Правительства Российской Федерации от 21 декабря 2005 г. № 783 особая экономическая зона технико-внедренческого типа создана на территории г. Томска.

основные преимущества особых экономических зон:

 современная материально-техническая база для развития технико-внедренческой деятельности;

 развитая сеть услуг для инновационного бизнеса (консалтинговых, маркетинговых, юридических и др.);

 эффективный доступ к финансовым ресурсам (фондам прямых инвестиций, венчурным фондам и т.д.);

 благоприятный режим ведения предпринимательской деятельности;

 широкие возможности для реализации экспортного потенциала;

 доступ к профессиональным кадровым ресурсам;

 систематический обмен между компаниями передовыми знаниями и лучшей практикой.     По сути, особая экономическая зона является площадкой для реализации не только инвестиционных проектов в инновационной сфере, но и проектов совершенствования транспортной, жилищной, социально-бытовой инфраструктуры. 

Местоположение ОЭЗ :

Промышленно-производственные особые экономические зоны создаются на участках территории, которые имеют общую границу и площадь которых составляет не более чем двадцать квадратных километров.

Технико-внедренческие особые экономические зоны создаются не более чем на двух участках территории, общая площадь которых составляет не более чем три квадратных километра

Особая экономическая зона, за исключением туристско-рекреационной особой экономической зоны, не может располагаться на территориях нескольких муниципальных образований. Особая экономическая зона, за исключением туристско-рекреационной особой экономической зоны, не должна включать в себя полностью территорию какого-либо административно-территориального образования.

Органами управления Общества являются:

- общее собрание акционеров;  - совет директоров Общества;  - генеральный директор.

Местонахождение Общества: 634021, г.Томск, пр-т. Академический, д.10/4

Генеральный директор: Овсянников Анатолий Николаевич

26. Технологии получения поликристаллического кремния: традиционная и в плазме СВЧ разряда.

Традиционная технология получения поликристаллического кремния

По распространенности в земной коре кремний занимает второе место после кислорода, встречается главным образом в виде кислородных соединений (кварц SiO₂, силикаты и.т.д.).

В промышленности кремний технической чистоты получают, восстанавливая расплав SiO₂ коксом при температуре около 1800°С в руднотермических печах шахтного типа. Чистота полученного таким образом кремния может достигать 99,9 % (основные примеси – углерод, металлы).

Технология получения поликристаллического кремния включает в себя следующие основные операции. Восстановление SiO₂ углеродом путем нагрева кварцевого песка и кокса до 1500 − 1750° С. В результате получается технический кремний, существенно загрязненный различными примесными атомами:

SiO₂ + 2C → Si + 2CO.

Степень загрязнения технического кремния примесями (Fe, Al, B, P и другие) составляет 1−2 %. Использовать такой кремний для получения каких-либо полупроводниковых приборов нельзя, требуется его очистка. Очистка от примесей кремния, находящегося в твердой фазе, является очень сложной задачей. Поэтому данную операцию проводят в два этапа. На первом этапе кремний переводят в какое-нибудь газообразное соединение и производят его очистку. В качестве газообразных соединений кремния используются SiCl₄, SiHCl₃ (трихлорсилан), SiH , SiI и другие. Примеры реакций:

Si + 2Cl₂ → SiCl₄ ,

Si + 3HCl → SiHCl₃ + H₂ .

Вторым этапом является восстановление кремния из газообразного соединения и получение чистого кремния с содержанием примесных атомов на уровне 10^–7 − 10^–6 %. Примеры реакций:

SiCl₄ + 2H₂ → Si + 4HCl ,

SiH₄ → Si + 2H₂ .

Производство поликремния, и особенно трихлорсилана, очень грязное с экологической точки зрения. Использование в качестве промежуточного сырья трихлорсилана связано со значительными экологическими рисками производства. Класс опасности трихлорсилана согласно классификации ООН – 4.3. В связи с этим существуют определенные ограничения по расположению таких предприятий и удаленности их от населенных пунктов.

Водородное восстановление SiHCl₃ является очень энергоемким и малоэффективным процессом, поэтому себестоимость поликремния, изготовленного по традиционной технологии, высока, прежде всего, по причине потребления очень большого количества электроэнергии, а использование в качестве сырья SiCl₄ еще сильнее снижает технико-экономические показатели. Процесс осуществляют в агрессивной среде (проток газообразного хлорсилана в смеси с водородом) и при высокой температуре (около 1100 С^о). Это служит причиной загрязнения поликристаллического кремния примесями, переходящими из стенок оборудования.

В то же время, химическая чистота является одним из главных требований, предъявляемых к этому полупроводниковому материалу.