Количественный анализ поверхностного слоя
Для количественного анализа элементов, предложено уравнение связывающее число оже-электронов с концентрацией элемента. Практически используют взаимосвязь измеряемого тока при заданной энергии с концентрацией элемента и виде уравнения:
где
- измеряемый ток при характеристической
энергии определяемой частицы A;
- интенсивность первичного потока
рентгеновского (электронного) излучения;
-
характеристика объекта (А), учитывающая
его электронное строение;
- геометрический фактор, учитывающий
угол падения и эмиссии (характеристика
прибора); N - число атомов на единицу
поверхности в монослое;
- отношение А к общему числу атомов
объекта; d - геометрическая
характеристика твердой фазы (количество
слоев при анализе),
- средняя глубина выхода электрона,
-
вероятность выхода оже-электронов:,
- вероятность выхода фотона при энергии
ионизации
2 кэВ
),
- фактор, учитывающий эффект рассеивания
вследствие ионизации вторичных
электронов, (обычно
= 1-2).
Значение
величины
составляет, например, для К оболочки
таких элементов, как углерод, азот,
кислород, соответственно
В табл. 2 приведены энергии Е характеристических оже-пиков 60 элементов
Таблица 2. Характеристические оже-пики некоторых элементов
Атомный номер |
Элемент |
E, эВ |
|||
100 |
100-300 |
300-500 |
500-1000 |
||
1 |
2 |
3 |
4 |
5 |
6 |
1 |
H |
- |
- |
- |
- |
2 |
He |
- |
- |
- |
- |
3 |
Li |
52 |
- |
- |
- |
4 |
Be |
95 |
- |
- |
- |
5 |
B |
- |
180 |
- |
- |
6 |
C |
- |
270 |
- |
- |
7 |
N |
- |
- |
382 |
- |
8 |
O |
- |
- |
- |
510 |
9 |
F |
- |
- |
- |
660 |
10 |
Ne |
- |
- |
- |
990 |
11 |
Na |
- |
- |
- |
- |
12 |
Mg |
45 |
- |
- |
- |
13 |
Al |
67 |
- |
- |
- |
14 |
Si |
92 |
- |
- |
- |
15 |
P |
- |
118 |
- |
- |
16 |
S |
- |
150 |
- |
- |
17 |
Cl |
- |
180 |
- |
- |
18 |
Ar |
- |
215 |
- |
- |
19 |
K |
- |
245 |
- |
- |
20 |
Ca |
- |
290 |
- |
- |
21 |
Sc |
24 |
- |
338,371 |
- |
22 |
Ti |
28 |
- |
380,418 |
- |
23 |
V |
32 |
- |
431,438 |
- |
24 |
Cr |
37 |
- |
490 |
530 |
25 |
Mn |
40 |
- |
- |
541,589 |
26 |
Fe |
48 |
- |
- |
605,655,710 |
27 |
Co |
54 |
- |
- |
660,720,780 |
28 |
Ni |
60 |
- |
- |
720,790,860 |
29 |
Cu |
60 |
- |
- |
795,875,960 |
30 |
Zn |
80 |
- |
- |
835,914,993 |
31 |
Ga |
73 |
- |
- |
- |
32 |
Ge |
86 |
- |
- |
- |
33 |
As |
91 |
- |
- |
- |
34 |
Se |
100 |
- |
- |
- |
35 |
Br |
83 |
105 |
- |
- |
36 |
Kr |
38,54 |
- |
- |
- |
37 |
Rb |
30,50,70 |
- |
- |
- |
38 |
Sr |
73,92 |
105,115 |
- |
- |
1 |
2 |
3 |
4 |
5 |
6 |
39 |
Y |
20 |
129 |
- |
- |
40 |
Zr |
23,93 |
149 |
- |
- |
41 |
Nb |
26 |
170 |
- |
- |
42 |
Mo |
28 |
192 |
- |
- |
43 |
Te |
- |
- |
- |
- |
44 |
Ru |
37 |
237,280 |
- |
- |
45 |
Ph |
42 |
260 |
306 |
- |
46 |
Pd |
45 |
- |
325,329 |
- |
47 |
Ag |
25 |
- |
349,355 |
- |
48 |
Cd |
36 |
- |
376,382 |
- |
49 |
In |
- |
- |
409,416 |
- |
50 |
Sn |
- |
- |
429,436 |
- |
51 |
Sb |
26 |
- |
455,462 |
- |
52 |
Te |
32 |
- |
482,491 |
- |
53 |
I |
- |
- |
- |
500,510 |
54 |
Xe |
37 |
- |
- |
526,540 |
55 |
Cs |
47 |
- |
- |
560,580 |
56 |
Ba |
58,75 |
- |
- |
590,610 |
57 |
La |
55,75 |
- |
- |
620 |
58 |
Ce |
61,80,96 |
- |
- |
650 |
59 |
Pr |
68,85,100 |
- |
- |
700 |
60 |
Nd |
74,90 |
- |
- |
730 |