Скачиваний:
72
Добавлен:
01.05.2014
Размер:
70.96 Кб
Скачать

FLEXPDE - ЛАБОРАТОРНАЯ РАБОТА 7 от 1024.ru Моделирование кремниевого полевого транзистора с затвором Шоттки в специализированной среде FlexPDE P.MsoNormal { FONT-FAMILY: "Times New Roman"; FONT-SIZE: 10pt; MARGIN: 0cm 0cm 0pt; mso-style-parent: ""; mso-pagination: widow-orphan; mso-fareast-font-family: "Times New Roman"; mso-bidi-font-family: "Times New Roman" } LI.MsoNormal { FONT-FAMILY: "Times New Roman"; FONT-SIZE: 10pt; MARGIN: 0cm 0cm 0pt; mso-style-parent: ""; mso-pagination: widow-orphan; mso-fareast-font-family: "Times New Roman"; mso-bidi-font-family: "Times New Roman" } DIV.MsoNormal { FONT-FAMILY: "Times New Roman"; FONT-SIZE: 10pt; MARGIN: 0cm 0cm 0pt; mso-style-parent: ""; mso-pagination: widow-orphan; mso-fareast-font-family: "Times New Roman"; mso-bidi-font-family: "Times New Roman" } H2 { FONT-FAMILY: "Times New Roman"; FONT-SIZE: 10pt; MARGIN: 0cm 0cm 0pt; mso-pagination: widow-orphan; mso-style-next: Обычный; mso-outline-level: 2; mso-ansi-language: EN-US; mso-bidi-font-weight: normal } P.MsoHeader { FONT-FAMILY: "Times New Roman"; FONT-SIZE: 10pt; MARGIN: 0cm 0cm 0pt; mso-pagination: widow-orphan; mso-fareast-font-family: "Times New Roman"; mso-bidi-font-family: "Times New Roman"; tab-stops: center 207.65pt right 415.3pt } LI.MsoHeader { FONT-FAMILY: "Times New Roman"; FONT-SIZE: 10pt; MARGIN: 0cm 0cm 0pt; mso-pagination: widow-orphan; mso-fareast-font-family: "Times New Roman"; mso-bidi-font-family: "Times New Roman"; tab-stops: center 207.65pt right 415.3pt } DIV.MsoHeader { FONT-FAMILY: "Times New Roman"; FONT-SIZE: 10pt; MARGIN: 0cm 0cm 0pt; mso-pagination: widow-orphan; mso-fareast-font-family: "Times New Roman"; mso-bidi-font-family: "Times New Roman"; tab-stops: center 207.65pt right 415.3pt } P.MsoFooter { FONT-FAMILY: "Times New Roman"; FONT-SIZE: 10pt; MARGIN: 0cm 0cm 0pt; mso-pagination: widow-orphan; mso-fareast-font-family: "Times New Roman"; mso-bidi-font-family: "Times New Roman"; tab-stops: center 207.65pt right 415.3pt } LI.MsoFooter { FONT-FAMILY: "Times New Roman"; FONT-SIZE: 10pt; MARGIN: 0cm 0cm 0pt; mso-pagination: widow-orphan; mso-fareast-font-family: "Times New Roman"; mso-bidi-font-family: "Times New Roman"; tab-stops: center 207.65pt right 415.3pt } DIV.MsoFooter { FONT-FAMILY: "Times New Roman"; FONT-SIZE: 10pt; MARGIN: 0cm 0cm 0pt; mso-pagination: widow-orphan; mso-fareast-font-family: "Times New Roman"; mso-bidi-font-family: "Times New Roman"; tab-stops: center 207.65pt right 415.3pt } P.MsoTitle { FONT-FAMILY: "Courier New"; FONT-SIZE: 12pt; FONT-WEIGHT: bold; MARGIN: 0cm 0cm 0pt; TEXT-ALIGN: center; mso-pagination: widow-orphan; mso-fareast-font-family: "Times New Roman"; mso-bidi-font-family: "Times New Roman"; mso-bidi-font-weight: normal; mso-bidi-font-size: 10.0pt } LI.MsoTitle { FONT-FAMILY: "Courier New"; FONT-SIZE: 12pt; FONT-WEIGHT: bold; MARGIN: 0cm 0cm 0pt; TEXT-ALIGN: center; mso-pagination: widow-orphan; mso-fareast-font-family: "Times New Roman"; mso-bidi-font-family: "Times New Roman"; mso-bidi-font-weight: normal; mso-bidi-font-size: 10.0pt } DIV.MsoTitle { FONT-FAMILY: "Courier New"; FONT-SIZE: 12pt; FONT-WEIGHT: bold; MARGIN: 0cm 0cm 0pt; TEXT-ALIGN: center; mso-pagination: widow-orphan; mso-fareast-font-family: "Times New Roman"; mso-bidi-font-family: "Times New Roman"; mso-bidi-font-weight: normal; mso-bidi-font-size: 10.0pt } P.MsoBodyTextIndent { FONT-FAMILY: "Times New Roman"; FONT-SIZE: 14pt; LINE-HEIGHT: 150%; MARGIN: 0cm 0cm 0pt 42.55pt; TEXT-INDENT: -21.25pt; mso-pagination: widow-orphan; mso-fareast-font-family: "Times New Roman"; mso-bidi-font-family: "Times New Roman"; mso-bidi-font-size: 10.0pt } LI.MsoBodyTextIndent { FONT-FAMILY: "Times New Roman"; FONT-SIZE: 14pt; LINE-HEIGHT: 150%; MARGIN: 0cm 0cm 0pt 42.55pt; TEXT-INDENT: -21.25pt; mso-pagination: widow-orphan; mso-fareast-font-family: "Times New Roman"; mso-bidi-font-family: "Times New Roman"; mso-bidi-font-size: 10.0pt } DIV.MsoBodyTextIndent { FONT-FAMILY: "Times New Roman"; FONT-SIZE: 14pt; LINE-HEIGHT: 150%; MARGIN: 0cm 0cm 0pt 42.55pt; TEXT-INDENT: -21.25pt; mso-pagination: widow-orphan; mso-fareast-font-family: "Times New Roman"; mso-bidi-font-family: "Times New Roman"; mso-bidi-font-size: 10.0pt } P.MsoBodyTextIndent2 { FONT-FAMILY: "Courier New"; FONT-SIZE: 12pt; MARGIN: 0cm 0cm 0pt 36pt; mso-pagination: widow-orphan; mso-fareast-font-family: "Times New Roman"; mso-bidi-font-family: "Times New Roman"; mso-bidi-font-size: 10.0pt } LI.MsoBodyTextIndent2 { FONT-FAMILY: "Courier New"; FONT-SIZE: 12pt; MARGIN: 0cm 0cm 0pt 36pt; mso-pagination: widow-orphan; mso-fareast-font-family: "Times New Roman"; mso-bidi-font-family: "Times New Roman"; mso-bidi-font-size: 10.0pt } DIV.MsoBodyTextIndent2 { FONT-FAMILY: "Courier New"; FONT-SIZE: 12pt; MARGIN: 0cm 0cm 0pt 36pt; mso-pagination: widow-orphan; mso-fareast-font-family: "Times New Roman"; mso-bidi-font-family: "Times New Roman"; mso-bidi-font-size: 10.0pt } P.MsoBodyTextIndent3 { FONT-FAMILY: "Courier New"; FONT-SIZE: 14pt; LINE-HEIGHT: 150%; MARGIN: 0cm 0cm 0pt 127.6pt; TEXT-INDENT: -127.6pt; mso-pagination: widow-orphan; mso-fareast-font-family: "Times New Roman"; mso-bidi-font-family: "Times New Roman"; mso-bidi-font-size: 10.0pt } LI.MsoBodyTextIndent3 { FONT-FAMILY: "Courier New"; FONT-SIZE: 14pt; LINE-HEIGHT: 150%; MARGIN: 0cm 0cm 0pt 127.6pt; TEXT-INDENT: -127.6pt; mso-pagination: widow-orphan; mso-fareast-font-family: "Times New Roman"; mso-bidi-font-family: "Times New Roman"; mso-bidi-font-size: 10.0pt } DIV.MsoBodyTextIndent3 { FONT-FAMILY: "Courier New"; FONT-SIZE: 14pt; LINE-HEIGHT: 150%; MARGIN: 0cm 0cm 0pt 127.6pt; TEXT-INDENT: -127.6pt; mso-pagination: widow-orphan; mso-fareast-font-family: "Times New Roman"; mso-bidi-font-family: "Times New Roman"; mso-bidi-font-size: 10.0pt } P.a { FONT-FAMILY: Arial; FONT-SIZE: 9pt; MARGIN: 3pt 0cm 0pt 18pt; TEXT-ALIGN: justify; TEXT-INDENT: -18pt; mso-pagination: widow-orphan; mso-fareast-font-family: "Times New Roman"; mso-bidi-font-family: "Times New Roman"; tab-stops: list 18.0pt; mso-bidi-font-size: 10.0pt; mso-style-name: АМТ; mso-list: l0 level1 lfo1 } LI.a { FONT-FAMILY: Arial; FONT-SIZE: 9pt; MARGIN: 3pt 0cm 0pt 18pt; TEXT-ALIGN: justify; TEXT-INDENT: -18pt; mso-pagination: widow-orphan; mso-fareast-font-family: "Times New Roman"; mso-bidi-font-family: "Times New Roman"; tab-stops: list 18.0pt; mso-bidi-font-size: 10.0pt; mso-style-name: АМТ; mso-list: l0 level1 lfo1 } DIV.a { FONT-FAMILY: Arial; FONT-SIZE: 9pt; MARGIN: 3pt 0cm 0pt 18pt; TEXT-ALIGN: justify; TEXT-INDENT: -18pt; mso-pagination: widow-orphan; mso-fareast-font-family: "Times New Roman"; mso-bidi-font-family: "Times New Roman"; tab-stops: list 18.0pt; mso-bidi-font-size: 10.0pt; mso-style-name: АМТ; mso-list: l0 level1 lfo1 } DIV.Section1 { page: Section1 } OL { MARGIN-BOTTOM: 0cm } UL { MARGIN-BOTTOM: 0cm } 1  0  2  4.  r  u  интернет технология для всех hotlog_js="1.0";hotlog_d=document; hotlog_n=navigator;hotlog_rn=Math.random(); hotlog_n_n=(hotlog_n.appName.substring(0,3)=="Mic")?0:1 hotlog_r=""+hotlog_rn+"&s=7045&r="+escape(hotlog_d.referrer)+"&pg="+ escape(window.location.href) hotlog_d.cookie="hotlog=1"; hotlog_r+="&c="+(hotlog_d.cookie?"Y":"N"); hotlog_d.cookie="hotlog=1; expires=Thu, 01-Jan-70 00:00:01 GMT" hotlog_js="1.1";hotlog_r+="&j="+(navigator.javaEnabled()?"Y":"N") hotlog_js="1.2";hotlog_s=screen; hotlog_r+="&wh="+hotlog_s.width+'x'+hotlog_s.height+"&px="+((hotlog_n_n==0)? hotlog_s.colorDepth:hotlog_s.pixelDepth) hotlog_js="1.3" hotlog_r+="&js="+hotlog_js; hotlog_d.write("")

Содержение  FLEXDPE Лабораторные работы: 1 2 3 4 5 6 7 1024.ru

Лабораторная работа №7.

Моделирование кремниевого полевого транзистора с затвором Шоттки в специализированной среде FlexPDE.

 

Цель работы: моделирование кремниевого полевого транзистора с затвором Шоттки ().

 

Диффузионно-дрейфовую модель включает в себя уравнение Пуассона:   — и уравнение непрерывности: Ñj=0, — где .

В данной работе мы будем искать решение в прямоугольной области со сторонами Lx и Ly (рисунок 19).

Рис. 4.19. Область решения с граничными условиями.

 

Граничные условия: на границе с координатами (0,0) – (0,Ly) и на границе с координатами (Lx,Ly) – (Lx,0) задан потенциал 0 и Fb, соответственно, и концентрация Nd. На затворе задан потенциал Fg, концентрация равна нулю.  На двух других границах  будем считать  нормальную производную потенциала и концентрации равными нулю.  — полескоростная характеристика Si.

Для приведения уравнения Пуассона:  — и уравнения непрерывности:  — к безразмерному виду, нормируем входящие в эти уравнения величины следующим образом:

, , , , .

Для контроля решения задачи можно использовать уравнение непрерывности. Так как полный ток во всех сечениях полевого транзистора постоянен, то интегрируя уравнение непрерывности в фиксированных значениях на прямой с координатами [Lx,Ly]-[0,Ly] получим полный ток под затвором.

 

Постановка задачи в специализированной среде FlexPDE:

 

TITLE                                                    'Drift-diffusion model Si'

 

SELECT errlim=1e-6

changelim=0.0001  

 

VARIABLES    U    

   n

 

DEFINITIONS    NOut=100     {количество точек, использующихся при выводе результатов в файл}

  Lx=15      {нормированная длина канала}

  Ly=1       {нормированная глубина канала}

  GStart=5     {...отсюда и .....}

  GEnd=10      {....заканчивается здесь....}

  La=0.2e-6  {нормировочная длина}

  L=(GEnd-Gstart)*10E-6       {длина затвора}

  q=1.6E-19           {заряд электрона}

  mu=0.07             {подвижность}

  k=1.38E-23         {пост. Больцмана}

  Ta=300              {температура}

  eps=1.14E-10        {диэлектрическая проницаемость}

  Nd=1.3E23           {уровень легирования} 

  Fn=q*Nd*La*La/eps   {нормировочный потенциал}

  Fa=0.1/Fn           {потенциал на истоке}

  Fb=0.1/Fn           {потенциал на стоке}

  Fg=-0.01/Fn         {потенциал на затворе}

  Ft=k*Ta/q           {тепловой потенциал}

  En=Fn/La            {нормировочная напряженность}

  Vs=1E6              {скорость насыщения}

  P1=Vs/(mu*En)

  V1=(1-dy(U))/P1

  V2=(1-dx(U))/P1

  Vy=-dy(U)

  Vx=-dx(U)

 

EQUATIONS    DEL2(U)= -(1-n)         (n*(dy(Vy/V1)+dx(Vx/V2))*V2*V1+V2*Vy*dy(n)+V1*Vx*dx(n))+V2*V1*Ft/Fn*DEL2(n)=0

 

BOUNDARIES                  

region 1

   start(0,0)        

   natural(U)=0   natural(n)=0  line to (GStart,0)

   value(U)=Fg    value(n)=0     line to (GEnd,0)

   natural(U)=0     natural(n)=0 line to (Lx,0)

   value(U)=Fb    value(n)=1      line to (Lx,Ly)

   natural(U)=0    natural(n)=0   line to (0,Ly)

   value(U)=Fa    value(n)=1     line to (0,0)

 

MONITORS   contour(u)

  contour(n)

  elevation(integral(n)) from (0,0) to (0,Ly)

 

PLOTS  contour(U)   export(NOut)      

 contour(n)   export(NOut)

elevation(integral((n*(dy(Vy/V1)+dx(Vx/V2))*V2*V1+V2*Vy*dy(n)+V1*Vx*dx(n))+V2*V1*Ft/Fn*DEL2(n))) from (0,0) to (0,Ly)

   

END                 

В результате действия программы, получаем график распределения потенциала (рисунок 20) и концентрации свободных носителей заряда (рисунок 21) в заданной области.

 

 

Рис. 20. Распределение потенциала.

 

 

Рис. 21. Распределение концентрации свободных носителей заряда.

 

 

Порядок выполнения работы:

1.        Записать уравнение Пуассона, уравнение непрерывности и граничные условия к ним в размерном виде.

2.        Привести задачу к безразмерному виду.

3.        Переписать полученные безразмерные уравнения в виде задания для программы FlexPDE. Предусмотреть чтение данных из файла.

4.        Получить решение в виде графика распределения потенциала и распределения концентрации.

5.        Записать полученное решение в файл.

 

Контрольные вопросы:

1.    Как задается количество точек, использующихся при выводе результата на графике?

2.    Как определяется область затвора?

3.  Какие из заданных в разделе вспомогательных переменных значения можно изменять, а какие являются неизменными?

 

Выводы:

Разработанный курс лабораторного практикума позволяет получить навыки работы со специализированной средой FlexPDE и научиться моделировать кремниевый транзистор с затвором Шоттки в данном математическом пакете.

 

 

 

 

 

 

Соседние файлы в папке Метода и лабы в одном архиве