1.1. Общие сведения…………………….………………………………….....3
1.2.
Расчет
состава газовой фазы………………………………………….....4
1.3.
Расчет констант равновесия……………………………………………..5
1.4.
Расчет окисляемости металлов………………………………………….7
2.
Химическое осаждение из газовой
фазы……………………………………...8
2.1. Общие сведения…………………………………………………………..8
2.2. Газотранспортные
химические реакции в системе GaAs
– H2O
–H2….9
2.3. Расчет констант
химического равновесия……………………………..11
2.4. Расчет состава
газовой фазы……………………………………………11
2.5.
Область
стехиометричности газовой фазы…………………………….12
3. Диффузионные
процессы……………………………………………………..14
3.1. Уравнения
диффузии…………………………………………………....14
3.2. Диффузионная
задача с неограниченным источником……………….15
3.3. Диффузия из
ограниченного и полуограниченного
источника……....16
3.4. Расчет
распределения примеси после двухстадийной
диффузии……17
3.5. Расчёт
распределения примеси в случае двойной
последовательной
диффузии……………………………………………20
4.
Задания
и физико-химические сведения……………………………………..23
4.1.
Задания к разделу 1……………………………………………………...23
4.2.
Задания
к разделу 2 ……………………………………………………..25
4.3.
Исходные данные,
требуемые для расчета диффузионных
задач……27
Список
литературы………………………………………………………………31
____________________________________________________________________
Подписано в печать
. .04. Формат
6084
1/16
Бумага офсетная.
Печать офсетная. Гарнитура «Times
New
Roman»
Печ.л. 4, Тираж 100
экз. Заказ
Издательство
СПбГЭТУ «ЛЭТИ»
197376,
С.-Петербург, ул. проф. Попова, 5
2
