- •Введение.
- •1. Кремний.
- •2. Методы получения монокристаллических материалов.
- •2.1. Получение кристаллов из твёрдой фазы.
- •2.2. Получение кристаллов из жидкой фазы.
- •Выращивание кристаллов из расплавов.
- •Выращивание кристаллов из растворов.
- •2.3. Получение кристаллов из газовой фазы.
- •3. Материалы, использующиеся при производстве монокристаллического кремния методом Чохральского.
- •3.1. Легирующие примеси.
- •3.2. Основные конструкционные и технологические материалы.
- •4. Пооперационное описание технологии выращивания монокристаллического кремния методом Чохральского.
- •Подготовка и компоновка сырья.
- •Чистка камеры печи.
- •Сборка оснастки печи.
- •Вакуумирование камеры и проверка на герметичность.
- •Расплавление загрузки и выдержка расплава.
- •Затравление и разращивание прямого конуса.
- •Выращивание цилиндрической части слитка.
- •Приостановка процесса роста.
- •Выращивание обратного конуса.
- •Охлаждение слитка и выгрузка из камеры печи.
- •Контроль качества выращенного слитка и доводка до готовой продукции.
- •5. Технологические неоднородности состава кристаллов и методы их уменьшения.
- •6. Оборудование, используемое при выращивании монокристаллического кремния методом Чохральского.
- •7. Управление технологическим процессом выращивания монокристаллического кремния методом Чохральского.
- •Выбор управляющих воздействий.
- •8. Статистический анализ процессов.
- •Диаграмма Ишикавы.
- •Диаграмма Парето.
- •8.1. Подбор оптимального режима выращивания монокристаллов кремния.
- •8.2. Корректировка режимов при переходе на новую технологическую оснастку.
- •Основные результаты и выводы.
Основные результаты и выводы.
1. Проанализированы процессы выращивания бездислокационных монокристаллов кремния на установках «Редмет-60» и «Редмет-30» в условиях предприятия «ОАО ПХМЗ» и выявлены факторы, влияющие на производственные процессы и качество кристаллов.
2. Проведён статистический анализ режимов выращивания кристаллов кремния и выявлены возможные диапазоны изменения определяющих параметров роста кристаллов, на основе чего сделаны рекомендации по оптимальному режиму выращивания.
3. Проведён статистический анализ результатов выращивания бездислокационных монокристаллов кремния при переходе на новую технологическую оснастку и смоделированы создающиеся в результате этого тепловые условия в тигле.
4. Скорректированные условия роста монокристаллов в новом тигле, позволили существенно увеличить выход готовой продукции.