
- •Московская государственная академия тонкой химической технологии
- •Общепрофессиональные дисциплины
- •Физика и химия твердого тела
- •Специальные дисциплины кристаллохимия и кристаллография
- •Физика и химия твердофазных систем
- •Специальные элективные дисциплины физико-химические основы специальных технологий Кафедра технологии полупроводниковых материалов
- •Кафедра химии и технологии наноразмерных и композиционных материалов
- •Кафедра химии и технологии редких и рассеянных элементов
- •Физико-химические основы специального материаловедения Кафедра технологии полупроводниковых материалов
- •Кафедра химии и технологии наноразмерных и композиционных материалов Физико-химические основы создания спеченных материалов
- •Физико--химические основы технологии координационных и металлоорганических соединений и Физико--химические основы технологии кластерных соединений металлов
- •Кафедра химии и технологии редких и рассеянных элементов
- •Принципы аппаратурного оформления технологических процессов Кафедра технологии полупроводниковых материалов
- •Кафедра химии и технологии наноразмерных и композиционных материалов
- •Кафедра химии и технологии редких и рассеянных элементов
Физика и химия твердофазных систем
1. Какие точечные структурные и электронные дефекты преобладают в ионном кристалле МеХ, Ме(1), с недостатком металла и разупорядоченностью типа Френкель и как равновесные концентрации дефектов зависят от давления металлоида X2? Принять, что структурные дефекты полностью ионизированы.
Ответ: преобладающий структурный дефект - вакансии металла VMe-, электронный - дырки. Концентрация вакансий и дырок пропорциональна давлению металлоида в степени 1/4.
2. Какие точечные структурные и электронные дефекты преобладают в ионном кристалле МеХ, Ме(1), с избытком металла и разупорядоченностью типа Френкель и как равновесные концентрации дефектов зависят от давления металлоида X2? Принять, что структурные дефекты полностью ионизированы.
Ответ: преобладающий структурный дефект - ионы металла в междоузлиях, электронный - электроны проводимости. Концентрация ионов металла в междоузлиях и электронов пропорциональна давлению металлоида в степени -1/4.
3. Какие точечные структурные и электронные дефекты преобладают в ионном кристалле МеХ, Ме(2), с недостатком металла и разупорядоченностью типа Френкель и как равновесные концентрации дефектов зависят от давления металлоида X2? Принять, что структурные дефекты полностью ионизированы.
Ответ: преобладающий структурный дефект - вакансии металла VMe2-, электронный - дырки. Концентрация вакансий и дырок пропорциональна давлению металлоида в степени 1/6.
4. Какие точечные структурные и электронные дефекты преобладают в ионном кристалле МеХ, Ме(2), с избытком металла и разупорядоченностью типа Френкель и как равновесные концентрации дефектов зависят от давления металлоида X2? Принять, что структурные дефекты полностью ионизированы.
Ответ: преобладающий структурный дефект - ионы металла в междоузлиях, электронный - электроны проводимости. Концентрация ионов металла в междоузлиях и электронов пропорциональна давлению металлоида в степени -1/6.
5. Какие точечные структурные и электронные дефекты преобладают в ионном кристалле МеХ, Ме(2), с избытком металла и разупорядоченностью типа Шоттки и как равновесные концентрации дефектов зависят от давления металлоида X2? Принять, что структурные дефекты полностью ионизированы.
Ответ: преобладающий структурный дефект - вакансии металлоида VX2+, электронный - электроны проводимости. Концентрация вакансий металлоида и электронов пропорциональны давлению металлоида в степени -1/6.
6. Какие точечные структурные и электронные дефекты преобладают в ионном кристалле МеХ, Ме(2), с недостатком металла и разупорядоченностью типа Шоттки и как равновесные концентрации дефектов зависят от давления металлоида X2? Принять, что структурные дефекты полностью ионизированы.
Ответ: преобладающий структурный дефект - вакансии металла VMe2-, электронный - дырки. Концентрации вакансий и дырок пропорциональны давлению металлоида в степени 1/6.
7. Какие точечные структурные и электронные дефекты преобладают в ионном кристалле Ме2Х, Ме(1), с избытком металла и разупорядоченностью типа Френкель и как равновесные концентрации дефектов зависят от давления металлоида X2? Принять, что структурные дефекты полностью ионизированы.
Ответ: преобладающий структурный дефект - ионы металла в междоузлиях, электронный - электроны проводимости. Концентрация ионов металла в междоузлиях и электронов пропорциональна давлению металлоида в степени -1/8.
8. Какие точечные структурные и электронные дефекты преобладают в ионном кристалле МеХ2, Ме(2), с недостатком металла и разупорядоченностью типа Шоттки и как равновесные концентрации дефектов зависят от давления металлоида X2? Принять, что структурные дефекты полностью ионизированы.
Ответ: преобладающий структурный дефект - вакансии металла VMe2-, электронный - дырки. Концентрации вакансий и дырок пропорциональны давлению металлоида в степени 1/3.
9. Какие точечные структурные и электронные дефекты преобладают в ионном кристалле МеХ2, Ме(2), с избытком металла и разупорядоченностью типа Шоттки и как равновесные концентрации дефектов зависят от давления металлоида X2? Принять, что структурные дефекты полностью ионизированы.
Ответ: преобладающий структурный дефект - вакансии металлоида VX+, электронный - электроны проводимости. Концентрация вакансий металлоида и электронов пропорциональны давлению металлоида в степени -1/4.
10. Какие точечные структурные и электронные дефекты преобладают в ионном кристалле МеХ2, Ме(4), с недостатком металла и разупорядоченностью типа Шоттки и как равновесные концентрации дефектов зависят от давления металлоида X2? Принять, что структурные дефекты полностью ионизированы.
Ответ: преобладающий структурный дефект - вакансии металла VMe4-, электронный - дырки. Концентрации вакансий и дырок пропорциональны давлению металлоида в степени 1/5.
11.Модель тетраэдрической ковалентной и полярной связи в полупроводниках. Примеры.
Ответ.
Среди типов связей в полупроводниках
наиболее важна ковалентная
связь.
В чистом
виде осуществляется в моноатомных
кристаллах -
,
,
.
Для полупроводников, которые имеют алмазоподобную решетку, характерно образование тетраэдрических пространственных связей. Ядро атома находится в центре тетраэдра, в окружении 4-х ближайших атомов, а валентные связи направлены к его вершинам.
При
образовании химической связи происходит
гибридизация атомных
и
орбиталей
(
- гибридизация).
Полупроводниковые
соединения
обладают связью промежуточной между
ковалентной и ионной и поэтому связь
полярная ковалентная. Большинство
полупроводниковых
соединений
,
и другие имеют степень ионности меньше
0,5.
связь осуществляется электронными
парами, но электронные облака сжимаются
в направлении от
к
,
стремясь скомпенсировать избыточный
заряд
атомного остатка
и
атомного остатка
.
Ионность связи еще
сильнее проявляется в соединениях
.
Типы и параметры зонной структуры полупроводников. Примеры.
Ответ.
Зонную
структуру полупроводников в виде
зависимости
изображают для направлений
волнового вектора
вдоль
осей наивысшей симметрии – <100>, <111>
и <110>.
Тип зонной структуры определяется относительным расположением в -пространстве абсолютного минимума зоны проводимости и абсолютного максимума валентной зоны. Различают следующие типы:
прямозонные (оба минимума в точке
)
непрямозонные (
,
).
Кроме
того, по величине запрещенной зоны
полупроводники делятся на узкозонные
(
эВ) и широкозонные
(
эВ). Важнейшие
параметры зонной структуры - ширина
запрещенной зоны, эффективные массы
электронов и дырок и плотность квантовых
состояний в зонах.
Как и почему величина запрещенной зоны полупроводников зависит от заряда ядра атомов и характера химической связи?
определяется структурой
внешних электронных оболочек и
следовательно зависит от заряда ядра
- Z.
Чем больше Z,
тем больше размеры электронного облака,
тем сильнее перекрытие оболочек соседних
атомов и следовательно тем больше
величина обменного интеграла энергии,
который количественно определяет
степень перекрытия и обратно пропорционален
величине запрещенной
зоны.
В полупроводниковых соединениях на величину Еg оказывает влияние и степень ионности связи, чем она выше, тем больше Еg.
14. Основные классы легирующих примесей. Примеры.
Ответ. Классы легирующих примесей.
По положению атомов примесей в кристаллической решетке различают примеси замещения (атомы примеси в узле решетки) и внедрения (атомы примеси в междоузлиях).
По способности атомов примеси отдавать или захватывать электрон различают донорные и акцепторные примеси.
По глубине залегания энергетических уровней доноров или акцепторов в запрещенной зоне различают мелкие (Ei << Еg) и глубокие примеси (Ei < Еg), где Ei - энергия ионизации атомов примеси, Еg - величина запрещенной зоны.
Кроме того, как особые классы различают амфотерные примеси с двойственной акцепторно-донорной природой и группу примесей элементов с незаполненной d-оболочкой. Отдельно рассматривается класс изовалентных примесей, которые являются электрически неактивными.
Правила определения донорных и акцепторных свойств элементов примесей замещения и внедрения в полупроводниках IV группы.
Ответ. Донорные и акцепторные свойства примесей замещения определяются на основе модели тетраэдрической ковалентной связи и различием в величине валентности атомов примесей и собственных атомов кристалла.
Примеси с разницей в валентности DV= +1 образуют мелкие доноры, с DV=+2, +3 – глубокие доноры.
Примеси с DV= -1, мелкие акцепторы, с DV= -2,-3 – глубокие акцепторы.
В полупроводниках IV группы (Si, Ge) атомы элементов I-III гр. - акцепторы, V-VI - доноры. Мелкие примеси - однозарядные, глубокие - многозарядные.
Донорные и акцепторные свойства примесей внедрения зависят от разницы электроотрицательности атомов примеси и собственных атомов.
При Xат.прим > Xат.собст. – доноры
Xат.прим < Xат.собст - акцепторы
В полупроводниках IV группы элементы I - III гр. – доноры, V - VI гр. – акцепторы.
Как классифицируются полупроводники по составу и по степени легирования?
Ответ. По составу полупроводники можно разделить на 2 большие группы: собственные или нелегированные полупроводники; примесные или легированные полупроводники.
Наиболее важная группа - примесные полупроводники. Их подразделяют на полупроводники электронные (n-типа), дырочные (p-типа) и компенсированные n- или p-типа.
В зависимости от степени легирования различают: 1) слаболегированные (обычный уровень легирования); 2) промежуточно легированные; 3) сильнолегированные. Критерием деления на эти группы является степень перекрытия электронных оболочек примесных атомов в кристалле. Во 2-ом и 3-ем случаях наблюдается сдвиг и расщепление примесных уровней энергии, приводящие к образованию примесных энергетических зон.
Определение мелких и глубоких примесей, их роль в формировании электронных и оптических свойств полупроводников.
Ответ. Мелкие примеси. Энергия связи электрона с атомом примеси много меньше запрещенной зоны (Ei << Еg), поэтому в запрещенной зоне образуются мелкие уровни энергии. На атоме мелкой примеси возможна локализация только одного электрона, поэтому мелкие примеси - однозарядные. Валентность мелких примесей отличается от валентности атома кристалла на ± 1. Мелкие примеси применяются для управления концентрацией носителей заряда и электропроводностью, формирования p-n переходов и др.
Глубокие примеси. Энергия связи сравнима с Еg (Ei < Еg), поэтому в запрещенной зоне образуются глубокие уровни энергии. Валентность глубоких примесей отличается от валентности атомов кристалла на ± 2, ± 3 единицы. Поэтому возможна, в зависимости от валентности, локализация на атоме примеси 2-х или 3-х электронов, расположенных на разных уровнях энергии. Глубокие примеси - многозарядные.
Свойства примесей замещения элементов I и III групп в полупроводниковом германии. Примеры.
Ответ: Валентность атомов элементов I и III групп меньше, чем валентность германия (IV гр.), поэтому обе примеси являются акцепторами.
Примесь элементов I гр. (например Cu), исходя из модели тетраэдрической ковалентной связи, является в кремнии глубоким 3-х зарядным акцептором, а примесь III гр. (например Al) является мелким однозарядным акцептором.
Ненасыщены 3 связи Ненасыщена 1 связь
19. Свойства примесей замещения элементов II и VI групп в арсениде галлия. Примеры.
Ответ.
В арсениде галлия 2 подрешетки – катионная
(
)
и анионная (
).
Атомы примеси занимают узлы той
подрешетки, атомы которой имеют
валентность близкую к примеси, так как
при замещении не должны возникать центры
с большим избыточным зарядом.
Поэтому атом элемента II
группы будет замещать 3-х валентный
галлий и является мелким акцептором.
Атом элемента VI
группы будет замещать 5-валентный мышьяк
и будет являться мелким донором.
Ненасыщена одна связь. Все связи насыщены. Один электрон
Zn - мелкий акцептор слабо связан с атомом Те.
Те - мелкий донор.
Элемент IV группы, имея промежуточную валентность, может замещать и Ga и As и т.о. является амфотерной примесью. Количество атомов IV группы в узлах Ga и As зависит от геометрических размеров атомов. Например, Si в GaAs занимает преимущественно узлы Ga.
20. Амфотерные примеси. Их классификация по кристаллохимическому принципу.
Ответ: Амфотерные свойства примесей могут проявляться в следующих случаях:
- для атомов примесей d- элементов в узлах или междоузлиях кристаллической решетки, когда d-оболочка заполнена наполовину (d5);
- в случае образования смешанного твердого раствора. Например атом примеси в узле - акцептор, а в междоузлии - донор;
- в случае образования ассоциативных центров или комплексов. Например, часть атомов глубокой примеси образуют с другими примесями или дефектами ассоциаты акцепторной природы, а одиночные атомы примеси - доноры;
- в полупроводниковых соединениях в случае замещения атомами примеси узлов обеих подрешеток, так называемые катион-анионные центры. Например, Si (IV гр.) в GaAs ( ).
21. Составьте уравнения электронейтральности полупроводников: собственного, n- и p-типа, компенсированного.
Ответ. Уравнение электронейтральности представляет собой математическую запись баланса отрицательных и положительных зарядов при термодинамическом равновесии.
Собственный полупроводник
n = p = ni, где, n, p, ni – концентрации свободных электронов, дырок и собственных носителей заряда.
Полупроводник n-типа
,
где
- концентрация неосновных носителей
дырок ,
- концентрация ионизованных доноров
Полупроводник p-типа
,
где
- концентрация неосновных носителей
электронов,
- концентрация
ионизованных акцепторов.
Компенсированный
полупроводник n-
типа (
);
,
р-
типа (
)
22. Постройте и проанализируйте графики температурной зависимости уровня Ферми и концентрации носителей заряда в полупроводниках n- и p- типа.
Ответ. Температурная зависимость уровня Ферми и концентрации носителей заряда включает 3 области: 1) «низкие» температуры – область слабой ионизации примеси; 2) «средние» температуры – область истощения примеси; 3) «высокие» температуры – область собственной проводимости
Температурные
зависимости
и n;p(T)
имеют две характеристические температуры:
Ts
- температура истощения примеси, выше
которой вся примесь ионизована;
Ti
- температура перехода от примесной к
собственной проводимости.
Кроме того, в полупроводнике р-типа имеется еще температура инверсии знака проводимости, выше Тинв полупроводник становится электронным.
23. Дайте определение смешанной, собственной и примесной электропроводности полупроводников. Опишите соответствующими формулами.
Ответ. Поскольку в полупроводниках содержатся два сорта носителей заряда разного знака: электроны и дырки, то в общем случае в электропроводности участвуют оба типа носителей заряда. Такая электропроводность называется смешанной:
(l),
где
е - величина заряда электрона и дырки;
n,
р - концентрации свободных электронов
и дырок;
-
их подвижности.
В
собственном полупроводнике в
электропроводности участвуют пары
электрон-дырка,
которые носят название собственной
концентрации носителей заряда (
)
С учетом равенства n = р формула собственной электропроводности записывается в виде:
(2)
Собственная
электропроводность тоже является
смешанной, но из-за того, что подвижность
электронов выше, чем у дырок, преобладает
электронная составляющая. В
примесных полупроводниках – n-
или р-типа
преобладают носители заряда одного
знака,
которые называют основными носителями
заряда, носители заряда другого знака
называются
неосновными. Основные носители заряда
генерируются с примесных уровней
энергий,
неосновные – за счет переходов зона-зона.
Из формулы (1), при условии
имеет место примесная электропроводность
электронного типа
,
При
условии
,
примесная электропроводность дырочного
типа
24. Назовите типы механизмов рассеяния носителей заряда в полупроводниках. Какие из них являются наиболее эффективными?
Ответ. Носители заряда испытывают рассеяние на любых несовершенствах кристаллической структуры, поскольку в местах их локализации нарушается периодичность внутреннего потенциального поля, где носители заряда изменяют свои импульс и энергию, что и является актом рассеяния.
Различают следующие механизмы рассеяния носителей заряда:
рассеяние на тепловых колебаниях атомов кристаллической решетки (фононах),
рассеяние на ионах примесей,
рассеяние на вакансиях,
на дислокациях,
электрон-электронное рассеяние и др.
Наиболее эффективными и поэтому важнейшими являются первые 2 механизма. Рассеяние на фононах преобладает в чистых кристаллах и при достаточно «высоких» температурах. Рассеяние на ионах примеси преобладает в примесных полупроводниках при достаточно «низкой» температуре.
Постройте график температурной зависимости электропроводности полупроводников n-типа и проанализируйте его.
Ответ. Температурная зависимость электропроводности полупроводников n-типа обусловлена температурной зависимостью 2-х параметров - концентрации и подвижности электронов
и включает 3 области: 1) слабой ионизации примеси; 2) области истощения, 3) области собственной проводимости.
В
1-ой и 3-ей областях зависимость
обусловлена в основном
вкладом
и рост
с температурой носит экспоненциальный
характер.
26. Какие виды и механизмы рекомбинации носителей заряда Вы знаете? Нарисуйте зонные схемы, иллюстрирующие рекомбинационные переходы.
Ответ. Виды рекомбинации: 1) «прямая» или «зона-зона» и 2) через локальные центры.
Доминирующим видом является рекомбинация через локальные глубокие центры, которые называются центрами рекомбинации. Мелкие центры препятствуют рекомбинации и называются центрами захвата. Механизмы рекомбинации классифицируют по форме выделяемой при рекомбинации энергии: «излучательная» или фотонная рекомбинация, при которой выделяется световая энергия, практически важна для люминесцентных приборов; «безизлучательная» или фононная - выделяется тепловая энергия, этот механизм является основным; «ударная» или Оже-рекомбинация - выделяется тепловая энергия. Имеет место в сильнолегированных полупроводниках и при высокой температуре. Теоретически возможны 9 вариантов рекомбинации. Особый вид - поверхностная рекомбинация.
27. Постройте графическую зависимость времени жизни от равновесной концентрации носителей заряда при рекомбинации через локальные центры и объясните ее.
.
В р-типе - временем жизни электрона до
захвата его на пустые
уровни, т.е. временем жизни неосновных
носителей заряда. С
уменьшением по время жизни возрастает
и достигает максимума при равенстве
т.е. в собственном
полупроводнике. Кривые 1 и 2 отличаются
разной концентрацией глубоких центров:
Дайте определения собственной, примесной, стационарной и нестационарной фотопроводимости.
Ответ.
При освещении поверхности полупроводника
свет проникает вглубь, где его энергия
поглощается, и часть этой энергии
расходуется на генерацию дополнительных
носителей заряда -
,
.
Если к полупроводнику приложено
электрическое поле, то возникают
дополнительные ток - фототек и
фотопроводимость.
,
то возникает собственная
фотопроводимость
,
.
Если
энергия света
,
то возникает примесная
электронная или дырочная фотопроводимость
;
.
Стационарная фотопроводимость имеет место при постоянном освещении или в интервале между включением и выключением светового импульса при условии равенства скоростей генерации и рекомбинации G = R.
Нестационарная имеет место при импульсном свете в условиях, когда G > R или G<R.
Какие виды и механизмы люминесценции Вы знаете. Постройте и объясните типичный спектр люминесценции собственного полупроводника.
Ответ.
Виды люминесценции - электро-, фото-,
катодо-, радио-, хемо-люминесценции. Вид
зависит от природы источника возбуждения
носителей заряда. Механизмы - 1)
мономолекулярный - излучение генерируется
внутри примесных центров, например,
примесь
хрома в рубине -
;
2) рекомбинационный - излучение с участием
электронов
всего кристалла, характерен для
полупроводников. К механизмам
рекомбинационного излучения относятся:
1) межзонная (краевая) люминесценция; 2)
примесная люминесценция; 4) экситонная
(на свободных и связанных экситонах)
люминесценция.
Наиболее
интенсивно излучают свет узкозонные
прямозонные полупроводники, например,
InSb.
Важнейший
параметр материала - внутренний квантовый
выход. Форма спектра несимметричная с
максимумом. Для собственного полупроводника
,
где
- энергия электрона в зоне проводимости,
- запрещенная зона. Для простой
параболической
зоны
.
Возрастающая
ветвь определяется спектральной
зависимостью
коэффициента поглощения света -
Iлюм.
.
Спадающая
ветвь определяется спектральной
зависимостью плотности фотонов
:
Iлюм.
.
Ширина
спектра на половине интенсивности:
Какими методами можно определить концентрацию и подвижность носителей заряда, ширину запрещенной зоны, время жизни и диффузионную длину носителей заряда?
Ответ. Наиболее распространенные в практике методы определения концентрации и подвижности носителей заряда - это измерение эффекта Холла и удельной электропроводности.
,
,
где А – Холл-фактор, RH
- коэффициент Холла и
- удельная электропроводность.
Ширину
запрещенной зоны
можно определить из температурных
зависимостей RH(Т)
и
в области собственной проводимости, а
также из спектров собственного поглощения
света, люминесценции, фотопроводимости.
Время
жизни
носителей заряда чаще всего определяют
методами спада фотопроводимости
и модуляции проводимости точечным
контактом. Диффузионную
длину
определяют методом подвижного светового
зонда. Время жизни
и диффузионная длина связаны через
коэффициент диффузии электронов или
дырок:
LD
= (Dτ)1/2.
Если известен коэффициент диффузии, из соотношения Эйнштейна можно определить подвижность Un = Dne/(kT).