Список літератури

1. Пека Г.П., Стріха В.І. Поверхневі та контактні явища у напівпровідниках: Підручник. – К.: Либідь, 1992. – 240 с.

2. Ржанов А.В. Электронные процессы на поверхности полупроводников. – М.: Наука, 1971. – 480 с.

3. Боонстра А. Поверхностные свойства германия и кремния: Пер. с англ. – М.: Мир, 1970. – 176 с.

4. Зенгуил Э. Физика поверхности: Пер. с англ. – М.: Мир, 1990. – 536 с.

5. Нестеренко Б.А., Снитко О.В. Физические свойства атомарно-чистой поверхности полупроводников. – К.: Наук. думка, 1983. – 264 с.

6. Курносов А.И., Юдин В.В. Технология производства полупроводниковых приборов. Учебн. пособие. – М.: Высш. школа, 1974. – 400 с.

7. Блинов И.Г., Кожинов Л.В. Оборудование полупроводникового производства. Учебн. пособие. – М.: Машиностроение, 1986. – 264 с.

8. Электронные явления на поверхности полупроводников / В.И. Ляшенко, В.Г. Литовченко, И.И. Степко и др. – К.: Наук. думка, 1968. – 399 с.

39

Основи фізики поверхні напівпровідників. Навчальний посібник