2.7. Калибровка микроскопа.
Обязательно калибруется микроскоп, для того увеличения, на котором хотим увидеть точки индентирования, в противном случае положение точки индентирования и перекрестия на экране монитора не совпадет. Система NANOTES 600 имеет четыре микроскопа с увеличением в 4, 10, 20, 40 крат, на панели управления есть переключатель в соответствующие режимы 4Х, 10Х, 20Х, 40Х. Калибровку обязательно делать при смене индентора. Если смены индентора не было, то обязательно проводится калибровка раз в две недели. Просто при индентировании, без использования микроскопа, делать обязательную калибровку по оси Х.
Перед каждой калибровкой лучше удалить все результаты (координаты Х, Y, Z) прежней калибровки (Calibration – Microscope – Calibration Review), запомнив или записав их значения, чтобы потом можно было сравнить эти значения с новыми полученными данными для более быстрого поиска точек индентирования микроскопом.
2.7.1. Калибровка микроскопа по направлению оси х.
Выбираем из меню программного обеспечения платформы NANOTEST 600 Calibration – Microscope – Sample Stage – произвести калибровку по оси X.
Калибровка по оси Х может проводиться при любом увеличении, ошибки при этом возникать не будет. Отодвигаем образец от индентора на безопасное расстояние, нажимаем Sample Clear.
Нажатием кнопки на панели управления Indentation/Microscope подводим образец к микроскопам. Обязательно при таком переключении необходимо установить микроскоп в положение 4Х, для недопущения столкновения подложки с образцом с микроскопом (в этом положении риск минимальный).
Устанавливаем образец в фокус по 4-ем оптическим режимам (или по одному в режиме 40Х – если в этом режиме мы хотим проводить свои исследования. Это делается в том случае, если мы хотим после калибровки по оси Х сделать калибровку по осям У и Z (режим с использованием микроскопа). Нажимаем Sample in Focus.
Передвигаем образец в положение индентора, с помощью кнопки на панели управления Indentation/Microscope.
Проводим установку образца к индентору. Двигаем образец по оси –Х, используя опцию Sample Stage – Position Sample Stage, Direction Negative сначала быстро, со скоростью 250 мкм/с, затем медленно 50 мкм/с, после того, как образец подошел достаточно близко к индентору нажимаем Set Safe Contact Velocity – установка безопасной скорости подвода образца (3.8 мкм/с), поверхность образца найдется автоматически. Всегда проводить такую процедуру только в том случае, если есть зеленый индикатор напротив Contact Detectable.
Отодвигаем образец назад от индентора (Х positive) на 25 мкм, если мы хотим произвести просто индентирование без использования микроскопа, на 50 мкм с использованием микроскопа, и по осям У или Z на тоже расстояние вдоль любого направления. Нажимаем Calibration Completed. Появляется запрос – Вы хотите сохранить результаты калибровки по оси (Do you want to save the Calibration), отвечаем Да (Yes).
После чего, образец автоматически отодвигается в фокусное расстояние.
