Плазмова технологія осадження плівок.

Осадження алмазних плівок – поверхня, вольфрамовий катод, середовище з СН₄ за час порядку доби при енергії порядку 0.2 еВ маємо купу острівців де С у вигляді сажі, графіту і алмазу, потім запустити Н₂ – хімічна активність алмазу найменша – отримуємо СН₄ спочатку з сажі, потім з графіту, алмаз залишається, японці – запустити гази одночасно – неперервне вирощування. Використання інших типів прозрядів – наприклад при одиницях еВ збільшує швидкість наростання до мікрон за годину.

Якщо додати відповідне зєднання (В₂Н₄) можна робити наприклад п-провідні алмазні нп.

Магнетрон – вакуумний прилад, в якому електрони рухаються в схрещених електричному та магнітному полях, над полюсами В перпендикулярно поверхні, заряди зявлятимуться там де велике В, з врахуванням Е – в основному електрони існуватимуть в цій області, з цього об’єму дифузія забруднена – розряд світиться у вигляді кільця над пластиною, пластина під напругою порядку 1000 В, її з великою швидкістю бомбардують Йони і розпилюють – можна одержувати плівки.

Експериментальні докази автоелектронної емісії металів.

Вивчення автоелектронної емісії проводять в таких пристроях:

Крім того, в звичайному вакуумному діоді. Радіус кривини вістря можна довести до сотень . Але це не проста задача. Досить легко можна отримати . Тоді навіть при . Часто доводиться працювати в імпульсному режимі, щоб не зруйнувати катод: струм автоемісії може досягати значень ² Але й ці застереження не завжди допомагають. Тобто радіус кривини вістря може постійно змінюватися. Це означає, що завжди є помилка при визначені .

Тому ВАХ для автокатодів будують в координатах ln = f( ).

Слід зазначити, що є тонкощі і в визначенні роботи виходу: поверхня реального вістря, навіть коли воно і монокристалічне, має різні грані з різними еφ.

Однак експеримент показав, що теорія Фаулера-Нордгейма вірна, бо дуже в широких межах струму автоемісії (18 порядків) залежність ln = f( ) лінійна.

Автоелектронна емісія, як і термоелектронна емісія, має багато застосувань. Автокатоди, наприклад, ставлять в електроннопроменеві прилади спеціального призначення. В них використовується їх така особливість, як висока густина струму при малих розмірах джерела. Крім того пучок автоелектронів можна сфокусувати в дуже малу пляму при великій густині струму. А це потрібно, наприклад в електронних та рентгенівських мікроскопах. Завдяки автокатодам в сучасних мікроскопах вже можна роздивитися окремі атоми та молекули. Тобто їх роздільна здатність сягає одиниць ?(!)

Автокатоди використовуються і в телебаченні з високою роздільною здатністю, і при виготовленні мікроелектронних схем. Висока крутизна ВАХ автоемісійних катодів (АЕК) дозволила на їх основі зробити датчики для вимірювань і стабілізації напруги, а також безконтактні мікрометри для вимірювання відстані у вакуумі з точністю до одиниць ?. Вже є роботи по використанню автокатодів в приладах НВЧ діапазону.

Подібних прикладів застосування АЕК можна навести ще багато. Зараз розглянемо більш детально лише принцип роботи автоелектронного проектора, тому що цей прилад достатньо простий, але ж з великими можливостями для різних досліджень поверхні твердого тіла.