Кінетична іонно-електронна емісія..

Ця емісія є результатом непружніх зіткнень іонів з твердим тілом. Причому розрізняють потенціальну та кінетичну іонно – електронну емісію.

Теорія КІ-ЕЕ базується на механізмі перетворення частини кінетичної енергії Е_Рі первинного іона при зіткненні з атомом мішені в енергію збудження електронів твердого тіла. При зближенні ядер на близьку відстань утворюється квазімолекулярна система з двох атомних частинок. В цій системі йде обмін електронами. Причому такий обмін супроводжується передачею енергії та імпульсу електронам атомів. Це призводить до розігрівання електронів системи, що розглядається. В результаті електрони заповнених зон твердого тіла можуть бути збуджені на верхні рівні, а на нижніх рівнях з'являються дірки. На другому етапі цього процесу – при рекомбінації електронів з дірками виділяється енергія, яка передається оже - процесом одному з електронів зони провідності, валентної зони чи іншої, більш глибокої зони. Цей електрон звільняється і якщо його енергія достатня для подолання потенціального бар'єру твердого тіла він вийде у вакуум. Коефіцієнт кінетичної І-ЕЕ γ_к при малих значеннях Е_Рі (до одиниць кеВ) зростає лінійно зі зростанням Е_Рі :

,

де - поріг кінетичної енергії І-ЕЕ.

електрона/іон на 1кеВ.

Коли Е_Рі ≈ десятки кеV, то ,тобто зростання γ уповільнюється. І при Е_Рі≈125кеВ γ_к= γ_кmax. Потім йде спад зі зростанням Е_Рі . Це падіння пов'язано зі зменшенням ймовірності виходу електронів з більшої глибини (іони проникли на більшу глибину і там утворили звільнення електронів).