Расчет профилей распределения концентрации внедренных примесей в структурах с двойной имплантацией

Проективный пробег и дисперсия проективного пробега некоторых элементов в кремнии, нм

Элемент

E, кэВ

20

40

60

80

100

120

140

160

180

200

B

Rp

78,4

161

243,8

323,8

397,7

468,8

537,4

603

665,4

725,3

 Rp

32,1

53,8

70,8

83,9

93,9

102,5

109,8

116

121,3

125,9

P

Rp

26

49

73,2

98

123,3

149,1

175,2

201,4

227,7

253,8

 Rp

9,4

16,4

23,1

29,5

35,4

41,1

46,6

51,8

56,6

61

As

Rp

15,9

27,1

37,7

48,1

58,4

68,6

78,9

89,1

99,5

110,1

 Rp

3,7

6,2

8,4

10,5

12,5

14,5

16,3

18,2

20

21,9

Sb

Rp

14

22,9

30,8

38,4

45,7

52,8

59,9

66,9

73,9

80,9

 Rp

2,4

3,8

5,1

6,3

7,4

8,4

9,5

10,5

11,5

12,5

Глубина залегания примеси, см

Распределение примеси в эмиттере, см ^-3

Распределение примеси в базе, см ^-3

Суммарное распределение, см ^-3

0

8,42074E+15

2,28356E+13

9,16021E+16

0,0000008

5,6866E+16

3,25334E+13

4,31665E+16

0,0000016

3,27241E+17

4,61042E+13

2,27195E+17

0,0000024

1,60471E+18

6,49901E+13

1,50464E+18

0,0000032

6,70559E+18

9,11272E+13

6,6055E+18

0,000004

2,38776E+19

1,27099E+14

2,37775E+19

0,0000048

7,24533E+19

1,76333E+14

7,23531E+19

0,0000056

1,87343E+20

2,43342E+14

1,87243E+20

0,0000064

4,12791E+20

3,34039E+14

4,12691E+20

0,0000072

7,75061E+20

4,56111E+14

7,74961E+20

0,000008

1,24009E+21

6,19496E+14

1,23999E+21

0,0000088

1,69077E+21

8,36952E+14

1,69067E+21

0,0000096

1,9644E+21

1,12475E+15

1,9643E+21

0,0000104

1,94485E+21

1,50352E+15

1,94475E+21

0,0000112

1,6408E+21

1,9992E+15

1,6407E+21

0,000012

1,17961E+21

2,64421E+15

1,17951E+21

0,0000128

7,22662E+20

3,47882E+15

7,22559E+20

0,0000136

3,77263E+20

4,55262E+15

3,77158E+20

0,0000144

1,67828E+20

5,92632E+15

1,67722E+20

0,0000152

6,36209E+19

7,67369E+15

6,35132E+19

0,000016

2,05517E+19

9,88365E+15

2,04418E+19

0,0000168

5,65727E+18

1,26627E+16

5,54461E+18

0,0000176

1,32703E+18

1,61372E+16

1,21089E+18

0,0000184

2,65257E+17

2,04562E+16

1,448E+17

0,0000192

4,51819E+16

2,57938E+16

8,06119E+16

0,00002

6,55808E+15

3,23521E+16

6,76479E+16

0,0000208

8,1115E+14

4,03629E+16

5,96371E+16

0,0000216

8,54946E+13

5,00908E+16

4,99092E+16

0,0000224

7,67872E+12

6,1834E+16

3,8166E+16

0,0000232

5,87695E+11

7,59261E+16

2,40739E+16

0,000024

38329046199

9,27363E+16

7,26369E+15

0,0000248

2130183221

1,12669E+17

1,26686E+16

0,0000256

100883186,1

1,3616E+17

3,61603E+16

0,0000264

4071303,727

1,63679E+17

6,36789E+16

0,0000272

140010,6587

1,95717E+17

9,57174E+16

0,000028

4103,000573

2,32788E+17

1,32788E+17

0,0000288

102,4601387

2,75414E+17

1,75414E+17

0,0000296

2,180324747

3,24121E+17

2,24121E+17

0,0000304

0,03953669

3,79421E+17

2,79421E+17

0,0000312

0,000610931

4,41805E+17

3,41805E+17

0,000032

8,04447E-06

5,11723E+17

4,11723E+17

0,0000328

9,02641E-08

5,89567E+17

4,89567E+17

0,0000336

8,63069E-10

6,75657E+17

5,75657E+17

0,0000344

7,03217E-12

7,70218E+17

6,70218E+17

0,0000352

4,88254E-14

8,73365E+17

7,73365E+17

0,000036

2,88878E-16

9,85082E+17

8,85082E+17

0,0000368

1,45646E-18

1,10521E+18

1,00521E+18

0,0000376

6,25738E-21

1,23341E+18

1,13341E+18

0,0000384

2,29087E-23

1,36921E+18

1,26921E+18

0,0000392

7,14695E-26

1,5119E+18

1,4119E+18

0,00004

1,9E-28

1,66063E+18

1,56063E+18

0,0000408

4,30429E-31

1,81433E+18

1,71433E+18

0,0000416

8,30923E-34

1,97176E+18

1,87176E+18

0,0000424

1,36689E-36

2,13151E+18

2,03151E+18

0,0000432

1,9161E-39

2,292E+18

2,192E+18

0,000044

2,28885E-42

2,45153E+18

2,35153E+18

0,0000448

2,32985E-45

2,60828E+18

2,50828E+18

0,0000456

2,02093E-48

2,76035E+18

2,66035E+18

0,0000464

1,49379E-51

2,90583E+18

2,80583E+18

0,0000472

9,40888E-55

3,04277E+18

2,94277E+18

0,000048

5,05011E-58

3,16931E+18

3,06931E+18

0,0000488

2,30981E-61

3,28362E+18

3,18362E+18

0,0000496

9,00252E-65

3,38405E+18

3,28405E+18

0,0000504

2,98996E-68

3,46908E+18

3,36908E+18

0,0000512

8,46213E-72

3,53743E+18

3,43743E+18

0,000052

2,04083E-75

3,58802E+18

3,48802E+18

0,0000528

4,19417E-79

3,62006E+18

3,52006E+18

0,0000536

7,34512E-83

3,63306E+18

3,53306E+18

0,0000544

1,09614E-86

3,6268E+18

3,5268E+18

0,0000552

1,39394E-90

3,60138E+18

3,50138E+18

0,000056

1,51055E-94

3,5572E+18

3,4572E+18

0,0000568

1,39489E-98

3,49496E+18

3,39496E+18

5,76E-05

1,0976E-102

3,41563E+18

3,31563E+18

5,84E-05

7,3601E-107

3,32043E+18

3,22043E+18

5,92E-05

4,2056E-111

3,2108E+18

3,1108E+18

6E-05

2,0478E-115

3,08834E+18

2,98834E+18

6,08E-05

8,4968E-120

2,95483E+18

2,85483E+18

0,0000616

3,0042E-124

2,81212E+18

2,71212E+18

0,0000624

9,0517E-129

2,66213E+18

2,56213E+18

0,0000632

2,324E-133

2,5068E+18

2,4068E+18

0,000064

5,0846E-138

2,34804E+18

2,24804E+18

0,0000648

9,4796E-143

2,18768E+18

2,08768E+18

0,0000656

1,506E-147

2,02749E+18

1,92749E+18

0,0000664

2,0389E-152

1,86908E+18

1,76908E+18

0,0000672

2,3522E-157

1,71392E+18

1,61392E+18

0,000068

2,3123E-162

1,56332E+18

1,46332E+18

0,0000688

1,9371E-167

1,41841E+18

1,31841E+18

0,0000696

1,3828E-172

1,28011E+18

1,18011E+18

0,0000704

8,4117E-178

1,14918E+18

1,04918E+18

0,0000712

4,3603E-183

1,02618E+18

9,26182E+17

0,000072

1,9261E-188

9,11496E+17

8,11496E+17

0,0000728

7,2499E-194

8,05341E+17

7,05341E+17

0,0000736

2,3254E-199

7,07782E+17

6,07782E+17

0,0000744

6,3561E-205

6,18747E+17

5,18747E+17

7,52E-05

1,4804E-210

5,38049E+17

4,38049E+17

7,6E-05

2,9384E-216

4,65398E+17

3,65398E+17

7,68E-05

4,9697E-222

4,00426E+17

3,00426E+17

7,76E-05

7,1626E-228

3,427E+17

2,427E+17

7,84E-05

8,7968E-234

2,91743E+17

1,91743E+17

7,92E-05

9,2064E-240

2,47048E+17

1,47048E+17

8E-05

8,2104E-246

2,08093E+17

1,08093E+17

8,08E-05

6,2396E-252

1,74352E+17

7,43524E+16

8,16E-05

4,0407E-258

1,45309E+17

4,5309E+16

8,24E-05

2,2299E-264

1,20463E+17

2,04625E+16

8,32E-05

1,0486E-270

9,93358E+16

6,64231E+14

8,4E-05

4,2019E-277

8,14806E+16

1,85194E+16

8,48E-05

1,4348E-283

6,64809E+16

3,35191E+16

8,56E-05

4,1752E-290

5,39553E+16

4,60447E+16

8,64E-05

1,0353E-296

4,35578E+16

5,64422E+16

8,72E-05

0

3,49778E+16

6,50222E+16

8,8E-05

0

2,79392E+16

7,20608E+16

8,88E-05

0

2,21988E+16

7,78012E+16

8,96E-05

0

1,75444E+16

8,24556E+16

9,04E-05

0

1,37925E+16

8,62075E+16

9,12E-05

0

1,07856E+16

8,92144E+16

9,2E-05

0

8,3895E+15

9,16105E+16

9,28E-05

0

6,49119E+15

9,35088E+16

9,36E-05

0

4,99582E+15

9,50042E+16

9,44E-05

0

3,82458E+15

9,61754E+16

9,52E-05

0

2,91243E+15

9,70876E+16

9,6E-05

0

2,20608E+15

9,77939E+16

9,68E-05

0

1,6622E+15

9,83378E+16

9,76E-05

0

1,24577E+15

9,87542E+16

9,84E-05

0

9,28727E+14

9,90713E+16

9,92E-05

0

6,88704E+14

9,93113E+16

0,0001

0

5,08009E+14

9,9492E+16

0,0001008

0

3,72739E+14

9,96273E+16

0,0001016

0

2,7204E+14

9,9728E+16

0,0001024

0

1,97495E+14

9,98025E+16

0,0001032

0

1,42617E+14

9,98574E+16

0,000104

0

1,02443E+14

9,98976E+16

0,0001048

0

7,31964E+13

9,99268E+16

0,0001056

0

5,20224E+13

9,9948E+16

0,0001064

0

3,67778E+13

9,99632E+16

0,0001072

0

2,58628E+13

9,99741E+16

0,000108

0

1,80909E+13

9,99819E+16

0,0001088

0

1,25875E+13

9,99874E+16

0,0001096

0

8,71187E+12

9,99913E+16

0,0001104

0

5,99762E+12

9,9994E+16

0,0001112

0

4,10716E+12

9,99959E+16

0,000112

0

2,79768E+12

9,99972E+16

0,0001128

0

1,89561E+12

9,99981E+16

0,0001136

0

1,2776E+12

9,99987E+16

0,0001144

0

8,56517E+11

9,99991E+16

0,0001152

0

5,71177E+11

9,99994E+16

0,000116

0

3,78879E+11

9,99996E+16

0,0001168

0

2,49991E+11

9,99998E+16

0,0001176

0

1,64075E+11

9,99998E+16

0,0001184

0

1,07116E+11

9,99999E+16

0,0001192

0

69560624469

9,99999E+16