- •Глава 1
- •1.1. Основные характеристики оптических интерференционных
- •1.2. Типовой технологический процесс
- •Методы очистки оптической поверхности перед нанесением покрытия
- •Измерение коэффициента трения
- •1.4. Выбор метода нанесения покрытий.
- •Глава 2
- •2.1.2. Технологический процесс формирования пленок из растворов.
- •2.2. Получение плёнок из паровой фазы.
- •2.2.2.Реакция полимеризации
- •2.2.3.Транспортные реакции
- •2.2.4. Оборудование для химического осаждения из паровой или газовой фазы.
- •2.2.5.Пути создания парогазовой смеси и дозированного введения пара в камеру.
- •2.3. Вакуумные методы формирования покрытий
- •2.3.1 Термическое испарение.
- •2.3.1.1.Скорость испарения
- •2.2.2.Испарение — поверхностный характер испарения.
- •2.2.3. Нитевидные и ленточные испарители
- •2.2.3.1. Нитевидные нагреватели
- •2.2.3.2. Ленточные металлические нагреватели
- •2.2.4. Нагрев электронной бомбардировкой
- •2.2.5.Катодное распыление.
- •2.2.5.1. Осаждение пленок в тлеющем разряде
- •2.2.5.2. Катодное распыление с искусственно поддерживаемым разрядом.
- •Глава 3 Методы контроля толщин слоев в процессе осаждения.
- •3.2.Электронно-эмиссионный метод.
- •3.4.Интерференционный метод контроля.
- •Глава 4
- •Оборудование и материалы
- •III. Описание техпроцесса
Глава 4
ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЙ ПРОЦЕСС ИЗГОТОВЛЕНИЯ ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫХ ПЛЁНОК В ВАКУУМЕ
Описание технологического процесса рассматривается на примере изготовления нейтральных фильтров на основе металлов
Описание технологический процесса начинается с того, что указывается на какие покрытия он распространяется.
Данный техпроцесс распространяется на нейтральные фильтры, полученные методом термического испарения веществ в вакууме нанесением металлических покрытий из Ni и Ti.
-
Общие положения
-
Описание назначения данного вида покрытий (нейтральные фильтры предназначены для ослабления светового потока в широком спектральном диапазоне).
-
а) можно указать этот диапазон
б) можно только оговорить
-
Возможные виды данного покрытия, если они есть (зависит от 1.1. подразделяются на фильтры постоянной и переменной плотности)
-
Есть ли подразделения одного из указанных видов из 1.2. (изменение плотности по одной из осей – изменение плотности по радиусу или изменение плотности по окружности)
-
Параметр, по которому аттестуются оптические свойства данного покрытия – характеристики данного покрытия (см. 1-ю лекцию) (по оптическим свойствам нейтральные фильтры характеризуются коэффициентом пропускания в заданном спектральном диапазоне). В идеале должны указать от чего зависит отклонение приведенной характеристики.
Коэффициент пропускания зависит от толщины наносимого слоя может лежать в пределах от 0,92 до 0,0001 с допусками 5-10% от измеряемого пропускания.
Можно указать еще характер распределения толщины по поверхности оптического элемента.
- характеристика покрытия будет соответствовать либо приведенной в приложении, либо приведенной в ОСТе, т.е. выбрать масштаб графика
-
Описание подложки - (покрытие нейтрального фильтра наносится на плоскопараллельные оптические детали из материалов, прозрачных в данной спектральной области. Преимущественно диаметром 100-150 мм и возможно нанесение деталей от 1 мм до 400). Для просветленных покрытий указывается марка стекол.
-
Требования к материалу детали и к качеству обработки поверхностей.
Любое покрытие снижает чистоту поверхности на 1-2 класса и покрытие выявляет дефекты полировки.
-
Описание основных характеристик покрытия
-
химическая устойчивость
-
влагостойкость
-
Устойчивость по механической прочности.
-
Если это требуется, то указывается порог разрушения (для деталей, работающих с лазером или устойчивость к радиации)
Итог: обозначение покрытия на чертеже
Фильтр 4И - никель
Фильтр 15И – титан
-
Оборудование и материалы
-
Вакуумная камера, в которой создается давление не выше 10-3 Па и должно обознач. Равномерность покрытия на диаметре, соответствующем максимальному размеру детали.
-
Рекомендуемые вакуумные установки ВУ-1Ф; УРМ-3; БА-700; БА-500.
-
Каким типом испарителя должно быть оснащена установка. Резистивный, электронно- лучевой, указать тип, размер и материал (лодочка 4х6, толщиной 0,050) испарителя:.
-
Описание подложкодержателя (т.к. 3 вида переменной пл-ти, то должно быть 3 вида подложкодержателя). Для получения фильтров с изменением пропускания по одной из осей подложкодержатель должен содержать элемент, совершающий возвратно-поступательное движение вблизи подложки, эскиз которого приведен ниже. Устройство этого элемента:
Устройство состоит из столика с держателем оптической детали и экрана, перемещающимися относительно друг друга. Точность перемещения экрана 0.1-0,01 мм при ширине зоны нанесения от 1 до 20 мм.
Для 2-х других видов покрытий.
-
Установка должна содержать:
- механизм вращения деталей, обеспечивающих скорость 20-40 об/мин, что позволяет получить равнотолщинность 1,5% на 100 мм.
- заслонка, перекрывающая поток испаряемого вещества.
- электроды высокого напряжения или очистки деталей тлеющим разрядом (ионная очистка)
- средства контроля давления, параметров осаждаемой плёнки.
- средствами нагрева подложки с регулятором температуры вне камеры. Если подложка изготовлена из полимерных материалов, то не нужна ионная очистка.
Если габариты подложки менее 5 мм, то необходимо указать на необходимость размещения дополнительного образца, по которому осуществляется фиксация толщины слоев.
Если покрытие содержит слои, толщины которых не кратны 0/4, то желательно указать, что в камере необходимо наличие кварцевого датчика (резонатора).
Материалы.
-
Тот, из которого изготовлено покрытие и в каком он виде (проволока, таблетка – ZrO2, порошок, плоскопараллельная пластина, гранулы).
-
Материал испарителя (проволока – Ti, N, лента – Ti, N, Mo, тигель, изготовленный из меди)
-
Сплав алюминиевый для электродов
-
Материал для очистки и оборудования, детали кислоты для металлических элементов вакуумной камеры: азотная, соляная+концентрация, щелочь
Для подложки: салфетки батистовые и фланелевые, шкурки наждачные, мыло детское.
Объем перечня определяется назначением требуемого документа.