Добавил:

Upload Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.

Вуз:

Новосибирский государственный технический университет

Предмет:

[НЕСОРТИРОВАННОЕ]

Файл:

Руководство пользователя (NV8200P)

.pdf

Скачиваний:

Добавлен:

11.03.2016

Размер:

4.54 Mб

Скачать

☆

1 / 301 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 > Следующая >>>

Semiconductor Equipment Operations

Серия Eaton NV-8200/8250

Системы ионной имплантации Руководство пользователя

4640-0137-0001 Ред. A

Направляйте комментарии по настоящему руководству или любой иной документации NV-8200/8250 на адрес электронной почты comments@aus.etn.com

VCR является зарегистрированной торговой маркой компании «CAJON».

Корпорация «Eaton» подготовила настоящее руководство для использования персоналом, лицензиатами и клиентами корпорации «Eaton».

Информация, включенная в настоящее руководство, является собственностью корпорации «Eaton». Такая информация должна использоваться только в целях выполнения процедур, рассматриваемых в настоящем руководстве, и не подлежит разглашению третьим лицам без письменного разрешения корпорации «Eaton».

Корпорация «Eaton» оставляет за собой право на внесение без уведомления изменений в материалы и спецификации, указанные в настоящем руководстве, и не несет ответственности за любой ущерб в результате действий, основанных на представленном материале.

ЯНВАРЬ 1998 г.

Компания «Semiconductor Equipment Operations» 10000 Спектрум Драйв Остин, Техас 78717 США

	Содержание

Раздел 1. Установка ионной имплантации серии NV-8200/8250 .........................................	1-1
Общее описание..........................................................................................................................	1-1
Общее описание оборудования .................................................................................................	1-2
Основные функции оборудования ........................................................................................	1-3
Зоны установки имплантации ...............................................................................................	1-4
Консоль оператора..................................................................................................................	1-5
Средства управления питанием ................................................................................................	1-8
Кнопки экстренной остановки ..............................................................................................	1-9
Главный выключатель..........................................................................................................	1-11
Выключатель высоковольтного питания с ключом ..........................................................	1-12
Кнопка остановки робота.....................................................................................................	1-13
Общее описание программного обеспечения ........................................................................	1-14
Интерфейс оператора ...........................................................................................................	1-15
Командная среда ICS............................................................................................................	1-17
Общее описание системы управления....................................................................................	1-18
Общее описание систем установки ионной имплантации ...................................................	1-29
Система генерации и управления ионным пучком ...........................................................	1-30
Дисплей осцилографа...........................................................................................................	1-37
Система подачи и транспортировки полупроводниковых пластин ................................	1-39
Вакуумная система ...............................................................................................................	1-40
Требования обеспечения безопасности ..................................................................................	1-41
Общее описание........................................................................................................................	1-41
Общие опасности для операторов.......................................................................................	1-42
Риск поражения электрическим током...............................................................................	1-45
Риски, связанные с механическими повреждениями........................................................	1-47
Опасные материалы..............................................................................................................	1-49
Раздел 2. Пользовательский интерфейс ...................................................................................	2-1
Общее описание..........................................................................................................................	2-1
Строка меню и описание........................................................................................................	2-4
Использование раскрывающихся меню .................................................................	2-7
Выпадающее меню Operator (Оператор).................................................................	2-8
Выпадающее меню Engineer (Инженер) ...............................................................	2-11
Выпадающее меню Supervisor (Администратор) ................................................	2-14
Выпадающее меню Detail (Детали процесса).......................................................	2-16
Выпадающее меню Status (Состояние) .................................................................	2-18
Выпадающее меню Help (Справка) .......................................................................	2-22
Строка статуса.......................................................................................................................	2-29
Постоянное окно уведомлений ...........................................................................................	2-32
Область состояния ................................................................................................................	2-35
Элементы окна приложений................................................................................................	2-37
Кнопки .....................................................................................................................	2-38
Диалоговые окна .....................................................................................................	2-39
Поля ввода и считывания .......................................................................................	2-40
Цветовые коды.........................................................................................................	2-42
Общая панель управления ...................................................................................................	2-43
Командная среда ICS................................................................................................................	2-44
Доступ к командной среде ICS............................................................................................	2-45
Использование горячих клавиш ICS...................................................................................	2-47
Операции с окнами ...............................................................................................................	2-49
Организация меню ICS.........................................................................................................	2-52

4640-0142-0001 Ред. A

Содержание

Использование меню «ICS Commands» .............................................................................	2-53
Использование меню «Operator Interface».........................................................................	2-55
Использование меню «Background Daemons» ...................................................................	2-57
Использование меню «Engineer» или «Supervisor»...........................................................	2-59
Раздел 3. Задачи, не связанные непосредственно с имплантацией ....................................	3-1
Общее описание..........................................................................................................................	3-1
Вход в систему ............................................................................................................................	3-2
Выход из системы.......................................................................................................................	3-4
Задание активного или пассивного управления установкой имплантации ..........................	3-5
Правила активного/ пассивного управления .......................................................................	3-6
Вывод на дисплей диалогового окна «Active / Passive Control» ........................................	3-7
Запрос активного управления................................................................................................	3-9
Запрос пассивного управления............................................................................................	3-10
Реакция на сообщение об ошибке активного / пассивного управления .........................	3-11
Просмотр «Alarm History» (Хронология предупреждений).................................................	3-12
Экран «Alarm Filters» (Фильтры предупреждений) ..........................................................	3-13
Фильтры Status и Group........................................................................................................	3-15
Типы фильтров Status..............................................................................................	3-16
Типы фильтров Group ............................................................................................	3-17
Добавление фильтров Status или Group ................................................................	3-19
Исключение фильтров Status или Group ...............................................................	3-21
Фильтры цепочек ....................................................................................................	3-23
Фильтры времени ....................................................................................................	3-27
Фильтры по умолчанию..........................................................................................	3-32
Активация поиска ...................................................................................................	3-33
Экран «Alarm Database» (База данных предупреждений) ................................................	3-34
Просмотр журналов данных имплантаций ............................................................................	3-36
Просмотр файлов IDL ..........................................................................................................	3-37
Объяснение содержания файла IDL ...................................................................................	3-40
Сводка по процессам ..............................................................................................	3-41
Сводка по имплантации .........................................................................................	3-43
Использование фильтров для поиска конкретных файлов IDL .......................................	3-45
Использование существующих фильтров ............................................................	3-45
Создание фильтра ...................................................................................................	3-46
Критерии поиска .....................................................................................................	3-48
Печать файлов IDL ...............................................................................................................	3-61
Просмотр состояния блокировок ............................................................................................	3-63
Просмотр и редактирование параметров конфигурации......................................................	3-65
Просмотр параметров конфигурации .....................................................................................	3-66
Редактирование параметров конфигурации.......................................................................	3-69
Поиск параметров конфигурации .......................................................................................	3-71
Использование журнала регистрации.....................................................................................	3-73
Системный журнал регистрации.........................................................................................	3-74
Персональный журнал регистрации ...................................................................................	3-79
Печать ........................................................................................................................................	3-82
Раздел 4. Автоматическая имплантация .................................................................................	4-1
Общее описание..........................................................................................................................	4-1
Сравнение экранов «Automatic Implants» («Автоматическая импланта-ция») и «Implant»
(«Имплантация») ........................................................................................................................	4-2
Использование экрана «Automatic Implants» ...........................................................................	4-3
Использование экрана «Implant»...............................................................................................	4-6

ii	4640-0142-0001 Ред. A

	Содержание

Просмотр технологических рецептов.....................................................................................	4-10
Выполнение автоматической имплантации...........................................................................	4-13
Организация очередности партий...........................................................................................	4-19
Использование автоматической настройки Autotune............................................................	4-20
Диалоговое окно «Autotune» ...............................................................................................	4-21
Режимы работы автоматической настройки ......................................................................	4-24
Настройка пучка с помощью автоматической настройки ................................................	4-28
Приостановка, возобновление и прерывание автоматической настройки .....................	4-30
Диагностирование ошибки автоматической настройки посредством вставки маркера 4-35
Приостановка, возобновление и прерывание имплантаций.................................................	4-36
Приостановка имплантации ................................................................................................	4-37
Возобновление имплантации ..............................................................................................	4-39
Прерывание имплантации ...................................................................................................	4-40
Прерывание имплантации при наличии других партий в очереди .................................	4-43
Прерывание имплантации в автоматической настройке при наличии других партий в
очереди...................................................................................................................................	4-44
Раздел 5: Подача и транспортировка полупроводниковых пластин .................................	5-1
Общее описание..........................................................................................................................	5-1
Компоненты подачи и транспортировки полупроводниковых пластин ...............................	5-2
Последовательность подачи и транспортировки полупроводниковых пластин ..................	5-9
Добавление и удаление кассет ................................................................................................	5-13
Мониторинг подачи и транспортировки полупроводниковых пластин .............................	5-15
Мониторинг с экрана «End Station Control».......................................................................	5-16
Мониторинг по таблицам состояния полупроводниковых пластин ...............................	5-20
Мониторинг в экране «Implant» ..........................................................................................	5-24
Другие способы мониторинга подачи и транспортировки полупроводниковых пластин ...
................................................................................................................................................	5-25
Приостановка операции на приемной станции .....................................................................	5-27
Возобновление операции на приемной станции ...................................................................	5-29
Инициализация приемной станции.........................................................................................	5-30
Удаление полупроводниковых пластин из приемной станции............................................	5-32
Остановка Macobot ...................................................................................................................	5-33
Возобновление работы Macobot..............................................................................................	5-34
Приложение: Общие правила для операторов
Общее описание.........................................................................................................................	А-1
Что требутеся от оператора системы.......................................................................................	А-2
Действия, недопустимые для оператора системы ..................................................................	А-3
Словарь терминов

4640-0142-0001 Ред. A

iii

	Список рисунков

Рисунок 1-1	Общий вид установки имплантации .................................................................................	1-4
Рисунок 1-2	Компоненты консоли оператора........................................................................................	1-5
Рисунок 1-3	Местонахождение средств управления питанием ...........................................................	1-8
Рисунок 1-4	Местонахождение внешних кнопок экстренной остановки..........................................	1-10
Рисунок 1-5	Местонахождение главного выключателя......................................................................	1-11
Рисунок 1-6	Местонахождение выключатель высоковольтного питания с ключом .......................	1-12
Рисунок 1-7	Местонахождение кнопки остановки робота .................................................................	1-13
Рисунок 1-8	Общее описание системы управления ............................................................................	1-18
Рисунок 1-9	Пример отклика систему контроля..................................................................................	1-20
Рисунок 1-14	Электростатическая линза ...............................................................................................	1-35
Рисунок 1-15	Верхний дисплей на осцилографе ..................................................................................	1-37
Рисунок 1-16	Нижний дисплей на осцилографе ...................................................................................	1-38
Рисунок 1-17	Символы электрических опасностей...............................................................................	1-45
Рисунок 1-18	Зоны риска поражения высоковольтным напряжением................................................	1-46
Рисунок 1-19	Символы, обозначающие опасность получения механическх повреждений ..............	1-48
Рисунок 1-20	Символы опасных материалов ........................................................................................	1-49
Рисунок 2-1	Перемещение мыши ...........................................................................................................	2-2
Рисунок 2-2	Наведение мыши ................................................................................................................	2-2
Рисунок 2-3	Разделы окна интерфейса оператора ................................................................................	2-4
Рисунок 2-4	Строка меню, в полном виде и с доступом только для оператора .................................	2-6
Рисунок 2-5	Меню «Operator Interface» ..................................................................................................	2-7
Рисунок 2-6	Ниспадающие меню «Operator».........................................................................................	2-8
Рисунок 2-7	Ниспадающие меню «Engineer».......................................................................................	2-11
Рисунок 2-8	Ниспадающее меню «Supervisor» ...................................................................................	2-14
Рисунок 2-9	Меню «Detail», в экранах «Automatic Implant» и «Implant»..........................................	2-16
Рисунок 2-10	Ниспадающее меню «Status» ...........................................................................................	2-18
Рисунок 2-11	Диалоговое окно «System Status» ...................................................................................	2-19
Рисунок 2-12	Диалоговое окно «Implant Status»....................................................................................	2-20
Рисунок 2-13	Меню «Help» .....................................................................................................................	2-23
Рисунок 2-14	Список тем в экране «Help» .............................................................................................	2-24
Рисунок 2-15	Кнопки навигации экрана «Help» ...................................................................................	2-25
Рисунок 2-16	Рамка экрана «Help» ........................................................................................................	2-26
Рисунок 2-17	Увеличение и уменьшение экрана «Help» ......................................................................	2-26
Рисунок 2-18	Кнопки перехода по страницам экрана «Help» ..............................................................	2-27
Рисунок 2-19	Кнопочная строка статуса ...............................................................................................	2-29
Рисунок 2-20	Постоянное окно уведомлений ........................................................................................	2-32
Рисунок 2-21	Окно сброса предупреждения ..........................................................................................	2-34
Рисунок 2-22	Область состояния ............................................................................................................	2-35
Рисунок 2-23	Диалоговое окно «Run Batch» (Выполнение партии) ...................................................	2-39
Рисунок 2-24	Поле ввода .........................................................................................................................	2-40
Рисунок 2-25	Поле считывания ...............................................................................................................	2-40
Рисунок 2-26	Список прокрутки .............................................................................................................	2-41

4640-0142-0001 Ред. A

Список рисунков

Рисунок 2-27	Общая панель управления ................................................................................................	2-43
Рисунок 2-28	Меню «ICS Commands» ....................................................................................................	2-45
Рисунок 2-29	Меню «Window Commands» ............................................................................................	2-49
Рисунок 2-30	Меню ICS ..........................................................................................................................	2-52
Рисунок 2-31	Меню «ICS Commands» ....................................................................................................	2-53
Рисунок 2-32	Меню ICS «Operator Interface».........................................................................................	2-55
Рисунок 2-33	Меню «Background Daemons»..........................................................................................	2-57
Рисунок 3-1	Экран Login при регистрации ............................................................................................	3-2
Рисунок 3-2	Экран Login при выходе из программы ............................................................................	3-4
Рисунок 3-3	Диалоговое окно «Active/ Passive Implanter Control» в пассивном режиме ..................	3-7
Рисунок 3-4	Диалоговое окно «Active/ Passive Control Error» (Ошибка активного / пассивного
управления)	.............................................................................................................................................	3-11
Рисунок 3-5	Экран «Alarm Filters» (Фильтры предупреждений) ......................................................	3-13
Рисунок 3-6	Диалоговое окно «Alarm Status Filters» (Фильтры состояния предупреждений)........	3-16
Рисунок 3-7	Диалоговое окно «Alarms Group Filters» (Фильтры групп предупреждений) ............	3-17
Рисунок 3-8	Экран «Alarm Database» (База данных предупреждений) .............................................	3-34
Рисунок 3-9	Диалоговое окно «Filter Creation» (Создание фильтра).................................................	3-48
Рисунок 3-10	Кнопка Interlocks (Блокировки) на кнопочной панели статуса ....................................	3-62
Рисунок 3-11	Экран «Interlocks» .............................................................................................................	3-62
Рисунок 3-12	Экран «Configuration Editor» ............................................................................................	3-65
Рисунок 3-13	Пример окна точек конфигурации программного обеспечения ..................................	3-66
Рисунок 3-14	Экран «System Log» ..........................................................................................................	3-74
Рисунок 3-15	Кнопка расширения в экране «System Log» ..................................................................	3-75
Рисунок 3-16	Экран «Personal Log» .......................................................................................................	3-78
Рисунок 4-1	Экран «Automatic Implant» ................................................................................................	4-3
Рисунок 4-2	Экран «End Station Control» ..............................................................................................	4-4
Рисунок 4-3	Экран «Implant» ..................................................................................................................	4-5
Рисунок 4-4	Экран только для чтения «Recipe Editor» .........................................................................	4-9
Рисунок 4-5	Диалоговое окно «Autotune» ...........................................................................................	4-20
Рисунок 4-6	Диалоговое окно «Abort Batches» ...................................................................................	4-42
Рисунок 5-1	Экран только для чтения «End Station Control» ...............................................................	5-2
Рисунок 5-2	Область транспортировки полупроводниковых пластин................................................	5-3
Рисунок 5-3	Компоненты шлюза ............................................................................................................	5-6
Рисунок 5-4	Компоненты слотового шлюза ..........................................................................................	5-7
Рисунок 5-5	Последовательность подачи и транспортировки полупроводниковых пластин,
	общий вид ............................................................................................................................	5-9
Рисунок 5-6	Последовательность подачи и транспортировки полупроводниковых пластин,
	средняя детализация ........................................................................................................	5-10
Рисунок 5-7	Последовательность подачи и транспортировки полупроводниковых пластин,
	полная детализация ..........................................................................................................	5-12
Рисунок 5-8	Поля экрана «End Station Control»...................................................................................	5-17
Рисунок 5-9	Таблицы состояния полупроводниковых пластин в экране «End Station Control».....	5-21
Рисунок 5-10	Пример Таблицы состояния полупроводниковой пластины ........................................	5-22
Рисунок 5-11	Диалоговое окно «Clear Buffer».......................................................................................	5-23
Рисунок 5-12	Экран «Implant» ................................................................................................................	5-24
Рисунок 5-13	Диалоговое окно «Implant Status»....................................................................................	5-25
Рисунок 5-14	Кнопка End Station на кнопочной панели статуса .........................................................	5-26
Рисунок 5-15	Местонахождение выключателя остановки робота .......................................................	5-33

vi	4640-0142-0001 Ред. A

О настоящем руководстве

Введение

Руководство ползьзователя системой серии NV-8200/8250 предназначено, главным образом, для оператора, проводящего стандартные операций. Под оператором понимается лицо, использующее программное обеспечение для выполнения базовых задач, связанных с ионной имплантацией, включая регистрацию в программном обеспечении, загрузку и выгрузку полупроводниковых пластин, выполнение имплантации в автоматическом режиме, мониторинг хода выполнения имплантации и доступа к файлам данных по предыдущим процедурам имплантаций. Это задачи, следующие четко заданным процедурам, в которых не требуется принятие решений.

Оператор обычно получает доступ только к интерфейсным окнам программного обеспечения, необходимым для выполнения этих задач. В настоящем руководстве описываются интерфейсные окна и заложенные в них концепции простым для понимания языком, в технически необходимом объеме. Интерфейсные окна и процедуры, требующие более глубоких знаний и подготовки, не рассматриваются в настоящем руководстве.

Одновременно, настоящее руководство включает описания систем установки имплантации, с которыми оператор не имеет дела непосредственно. Эти разделы предназначены для оператора, интересующегося процессами, лежащими в основе базовых операций установки имплантации. Они рассчитаны также на оператора, рассчитывающего перейти на более высокий уровень.

Руководство пользователя системой серии NV-8200/8250 распространяется на версии программного обеспечения вплоть до версии 3.5.

Продолжение на следующей странице

4640-0137-0001 Ред. A

Руководство пользователя системы серии Eaton NV-8200/8250

О настоящем руководстве (продолжение)

Организация настоящего руководства

Настоящее руководство организовано следующим образом.

		Раздел		Содержание
1. Установка ионной им-				Представляет основные компоненты, программное
плантации серии NV-8200/				обеспечение установки ионной имплантации серии NV-
8250				8200/8250 и ее систему управления, а также системы,
				задействованные в имплантации. В этом разделе дается
				также обзорная информация по средствам управления
				питанием и правилам безопасности, необходимым при
				выполнении имплантаций.
2.	Пользовательский интер-			Объясняется пользовательский интерфейс, то есть
фейс				программные и аппаратные средства, используемые
				при взаимодействии с установкой имплантации серии
				NV8200/8250
3. Задачи, не связанные				Обсуждаются отдельные функции интерфейса опера-
непосредственно с			имплан-	тора, используемые до или после выполнения имплан-
тацией				тации.
4.	Автоматический		режим	Объясняется порядок выполнения имплантации в авто-
имплантации				матическом режиме и порядок использования функции
				автоматической настройки пучка, Autotune (Автомати-
				ческая настройка).
5. Загрузка и транспорти-				Описываются функции системы загрузки и транспор-
ровка		полупроводниковых		тировки полупроводниковой пластины, ее местонахож-
пластин				дение и порядок пользования ею.
Приложение: Общие прави-				Представляет перечень правил и список действий, не-
ла для операторов				допустимых для операторов стандартных операций
Список		используемых тер-		Включает определения отдельных терминов, которые
минов				необходимо знать при использовании машины.

Продолжение на следующей странице

x	4640-0137-0001 Ред. A

1 / 301 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 > Следующая >>>

Соседние файлы в предмете [НЕСОРТИРОВАННОЕ]

#
23.11.2018272.9 Кб1РП Финансовое право заочное.doc
#
27.03.2015666.62 Кб30РП, МУ, КЗ по ФМОЭЭ(заочники).doc
#
03.09.2019988.67 Кб10РП-Микробиология-260501.doc
#
09.12.2018214.53 Кб2РП_Программир_з01.doc
#
27.03.2015345.09 Кб285РСЗЭД.doc
#
11.03.20164.54 Mб42Руководство пользователя (NV8200P).pdf
#
27.03.201518.37 Кб58русский 2.docx
#
27.03.20155.13 Mб710Русский язык 2.pdf
#
23.09.2019149.3 Кб5Рыбаченко.docx
#
11.03.2016404.2 Кб29Рынок энергии и мощности России (Кобелева Елена Эк-71).docx
#
27.03.2015516.1 Кб4Рыцари Дракона.doc