Руководство пользователя (NV8200P)

1. Установка ионной имплантации серии NV-8200/8250

Риски, связанные с механическими повреждениями

Введение

Для вас как оператора, все потенциальные риски, связанные с механическими повреждениями, которым вы можете подвергаться, сосредоточены в приемной станции.

Риски при работе с приемной станцией

Соблюдайте особую осторожность при работе рядом с механизмами подачи и транспортировки полупроводниковых пластин приемной станции, особенно в отношении следующих компонентов:

•macobot (робот для перемещения полупроводниковых пластин)

•верхние и нижние заслонки

•система фиксаци пластин

•дверцы кассет

•поворотное кассетное основание внутри правой и левой кассетных дверец

ВНИМАНИЕ

Механизмы перемещения полупроводниковых пластин могут приходить в движение по команде контроллера (непредвиденно). Запрещается проводить работы в зоне транспортировки полупроводниковых пластин позади кассетами загрузочных кассет

Продолжение на следующей странице

Руководство пользователя системы серии Eaton NV-8200/8250

Риски, связанные с механическими повреждениями (продолжение)

Символы

Следующие символы обозначают части установки ионной имплантации, представляющие потенциальную опасность, связанную с риском получения механических повреждений :

Рисунок 1-19 Символы, обозначающие опасность получения механическх повреждений

1. Установка ионной имплантации серии NV-8200/8250

Опасные материалы

Введение

Узлы, содержащие потенциально опасные материалы, присутствуют во всех зонах установки имплантации.

Символы

Следующие символы обозначают части машины, содержащие потенциально опасные материалы:

Рисунок 1-20 Символы опасных материалов

Материалы, опасные для операторов

Необходимо знать, что в установке имплантации могут использоваться многие токсичные, коррозийные, удушающие, воспламеняющиеся или взрывоопасные материалы. Тем не менее, для вас как оператора единственными существенными опасностями, воздействию которых вы можете подвергнуться, являются следующие ситуации:

•поломанные полупроводниковые пластины

•утечка газа

•утечка масла

Продолжение на следующей странице

Руководство пользователя системы серии Eaton NV-8200/8250

Опасные материалы (продолжение)

Сломанные полупроводниковые пластины

Полупроводниковые пластины состоят из кремния, арсенида галлия или других материалов, некоторые из которых могут быть ядовитыми. Поэтому при поломке полупроводниковой пластины может возникать опасность появления ядовитой пыли (а также острых обломков).

ОСТОРОЖНО

Если вы считаете, что могли вдохнуть пыль от сломанной полупроводниковой пластины, обратитесь к вашему руководителю.

Утечки газа

Хотя не все утечки газа представляют опасность, руководство корпорации «Eaton» рекомендует использовать процедуру, указанную в нижеследующем предупреждении, в качестве наиболее безопасной реакции на любую утечку газа.

ВНИМАНИЕ

Если вы наблюдаете утечку газа внутри или снаружи установки имплантации или слышите характерный звук, выполните следующие действия:

-нажмите ближайшую кнопку экстренной остановки

-отойдите на достаточное расстояние от установки имплантации

-уведомите и эвакуируйте персонал, работающий в этой зоне

-немедленно уведомите руководителя (администратора установки)

Утечки масла

В случае утечки масла реагируйте в соответствии с инструкциями в следующем предупреждении:

ВНИМАНИЕ

Если вы заметите какую-либо утечку масла из корпуса установки имплантации, держитесь в стороне от масла и немедленно уведомите администратора установки. Ни в коем случае не прикасайтесь к обнаруженному маслу, вытекшему из узлов оборудования для обработки полупроводников.

Руководство пользователя системы серии Eaton NV-8200/8250

Использование мыши

Введение

При помощи мыши вы можете управлять оборудованием путем выбора объектов интерфейса и управления ими.

Перемещение мышки

В пользовательском интерфейсе отображается курсор в виде стрелочки.

Когда вы перемещаете мышь, курсор в виде стрелочки перемещается в графическом интерфейсе программного обеспечения

Рисунок 2-1 Перемещение мышки

Положение мышки

Для более удобно работы, мышка должна распологаться прямо, а не под угом.

Рисунок 2-2 Расположение мышки

Руководство оператора стандартных операций серии Eaton NV-8200/8250

Интерфейс оператора

Введение

Интерфейс оператора является основной программной средой, которая используется для управления установкой имплантации серии NV-8200/8250.

Области пользовательского интерфейса

Окно интерфейса оператора состоит из следующих шести областей:

Все шесть секций окна показываются постоянно. Окно приложения, самая большая область экрана, показывает текущий выбор экрана. На Рисунке 2-3 окно приложения показывает экран «Automatic Implant» («Автоматическая имплантация»).

Рисунок 2-3 Разделы окна интерфейса оператора

Строка меню Строка состояния

Постоянное окно уведомлений

Область состояния

Окно приложения

Общая панель управления

Продолжение на следующей странице

2. Пользовательский интерфейс

Интерфейс оператора (продолжение)

Вданном подразделе

Вданном подразделе обсуждаются следующие темы:

Руководство пользователя системы серии Eaton NV-8200/8250

Строка меню и описание

Введение

Рисунок 2-4 Строка меню, в полном виде и с доступом только для оператора

Полная строка меню

Строка меню с доступом оператора

Строка меню располагается в верхней части экрана. При клике по любой из «кнопок» (надписей) строки меню появляется раскрывающееся меню, обеспечивающее доступ к основным и расширенным функциям системы ионной имплантации.

Полный набор строки меню обеспечивает доступ к следующим экранам:

Вкачестве оператора у вас может не быть доступа к меню Engineer и Supervisor. В этом случае ваша строка меню имеет такой же вид, как на втором рисунке выше.

Вданном подразделе

Данный подраздел включает следующие темы: