Руководство пользователя (NV8200P)

3. Задачи, не связанные с имплантацией

Просмотр файлов IDL

Введение

Экран журналов данных имплантации обеспечивает доступ ко всем файлам журналов данных имплантации, созданным программным обеспечением системы управления.

Какие файлы включены в список при первом открытии экрана «Implant», зависит от используемого фильтра. Система управления обеспечивает два типа фильтров, из которых один включает в список файлы IDL, созданные для имплантаций, выполняемых в данный день, а второй включает в список все созданные файлы IDL.

Подсказка: Проверка завершения обработки партии

ПОДСКАЗКА

Если вы не уверены, завершилась ли должным образом обработка партии, например, если на машине работал другой оператор, который снял кассету, вы можете проверить завершение обработки партии, просмотрев последний файл IDL. В разделах параметров имплантации и сводных данных по пластинам в IDL указывается число полупроводниковых пластин в партии, имплантация которых была завершена.

Продолжение на следующей странице

Руководство пользователя системы серии Eaton NV-8200/8250

Просмотр файлов IDL (продолжение)

Доступ к экрану IDL

Для доступа к экрану журналов данных имплантации выполните следующие шаги:

1Кликните по опции Operator в строке меню в верхней части экрана. Появляется ниспадаю-

щее меню Operator.

2Выберите опцию Implant Data Logs (Журналы данных имплантации).

Появляется экран журналов данных имплантации, со списком всех файлов IDL, соответствующих фильтру по умолчанию, Today (Сегодня). Фильтр Today показывает все файлы, созданные за текущий день.

Примечание: Если вы хотите использовать другой фильтр, например, позволяющий вам просмотреть все файлы IDL, см. подраздел «Использование фильтра для просмотра файлов» на странице 3-45. Если вы хотите создать свой собственный фильтр, см. подраздел «Создание фильтра» на странице 3- 46.

Подсказка: Печать файлов из списка

ПОДСКАЗКА

Можно распечатывать файлы IDL, не открывая их. Просто выделите файл, который хотите распечатать, на Экране журналов данных имплантации и кликните по кнопке Print.

Продолжение на следующей странице

3. Задачи, не связанные с имплантацией

Просмотр файлов IDL (продолжение)

Как составляются списки и задаются имена файлов IDL

Файлы IDL включаются в список в нисходящем хронологическом порядке, так что самый последний журнал находится в верхней части списка.

Каждый файл IDL имеет 12-значное имя файла. Имя файла показывает дату и время создания файла IDL, в формате год/месяц/день.часы/минуты/секунды. Например, файл 960615.092543 был создан 15

июня1996 года в 9:25:43.

Доступ к файлам IDL

Для доступа к Журналу данных имплантации в списке выполните следующие шаги:

1В экране журналов данных имплантации выделите IDL, который хотите просмотреть, и кликните по кнопке View (Просмотр).

Появляется выбранный IDL.

Примечание: Для интерпретации IDL см. подраздел «Объяснение содержания файла IDL» на странице 3-40.

2Для просмотра следующего или предыдущего файла IDL кликните по кнопке Next (Далее)

или Previous (Назад).

Руководство пользователя системы серии Eaton NV-8200/8250

Объяснение содержания файла IDL

Введение

Каждый файл IDL состоит из двух основных разделов:

•сводка по процессу

•сводка по имплантаций

Сводка по процессу включает подраздел с данными полупроводниковых пластин, а сводка по имплантации включает подраздел с данными о параметрах машины

.

В данном подразделе

Данный подраздел включает следующие темы:

3. Задачи, не связанные с имплантацией

Сводка по процессу

Общее описание

Сводка по процессу в файле IDL представляет следующую информацию по имплантации:

•имя технологического рецепта

•отдельные параметры технологического рецепта (которые согласуются с параметрами, присутствующими в экране Recipe Editor)

•метод настройки пучка (ручная или автоматическая; избираемая оператором в диалоговом окне Run Batch (Выполнение партии))

•данные измерений однородности по горизонтали

•сводные данные по полупроводниковым пластинам (в подразделе после других данных)

Список содержания сводки процессов

В нижеследующей таблице представлено содержание сводки процессов в файле IDL.

Руководство пользователя системы серии Eaton NV-8200/8250

Продолжение на следующей странице

3. Задачи, не связанные с имплантацией

Сводка по процессу (продолжение)

Список содержания сводки по полупроводниковым пластинам

Часть сводки по полупроводниковым пластинам в сводке процессов в IDL начинается со следующей информации:

*Этот параметр присутствует только на установках имплантации с двойными независимыми дозировочными чашками.

Далее в сводке по полупроводниковым пластинам приводится следующая информация по каждой полупроводниковой пластине в партии:

*Этот параметр присутствует только на установках имплантации с двойными независимыми дозировочными чашками.

Руководство пользователя системы серии Eaton NV-8200/8250

Сводка по имплантации

Описание

Сводка по имплантации в файле IDL содержит краткий раздел данных имплантации, за которым следует длинный раздел параметров машины.

Данные имплантации

Первый раздел сводки по имплантации в файле IDL начинается со следующих данных имплантации:

Данные о параметрах машины

Журналы данных имплантации включают список параметров машины со значениями максимума, минимума, среднего и стандартного отклонения, достигнутыми во время обработки партии. Эти параметры не перечисляются здесь, поскольку они являются очевидными и не будут представлять интерес для оператора.

3. Задачи, не связанные с имплантацией

Использование фильтров для поиска конкретных файлов IDL

Введение

Для быстрого поиска именно тех файлов IDL, которые вы хотите просмотреть, можно создавать фильтры, задающие критерии поиска. Например, можно использовать фильтр для поиска только файлов, созданных для имплантации с определенным набором команд. Или можно использовать комбинацию фильтров для поиска всех файлов IDL, созданных для прерванных имплантаций, имевших место за последние 30 дней.

Можно сохранять эти фильтры для последующего использования. Можно также копировать, изменять или удалять существующие фильтры, за исключением фильтров, предусмотренных программным обеспечением интерфейса оператора.

Вданном подразделе

Вданном подразделе содержится информация по следующим темам:

Руководство пользователя системы серии Eaton NV-8200/8250

Использование существующих фильтров

Введение

Можно использовать существующий фильтр или фильтр, созданный вами для поиска конкретных файлов IDL.

Предустановленные фильтры

Предусмотрены следующие два фильтра:

•Today (Сегодня) – показывает только файлы IDL, созданные сегодня.

•Show All (Показать все) – показывает список всех файлов IDL, имеющихся в данный момент на жестком диске.

Использование фильтра для просмотра файла

Чтобы использовать фильтр для просмотра файлов IDL, выполните следующие шаги:

1Кликните по кнопке Filter List (Список фильтров). Появляется диалоговое окно Filter List (Список фильтров).

2Выберите фильтр, который хотите применить, затем кликните по кнопке Search (Поиск). Найденные файлы показываются в списке в экране журналов данных имплантации. Если ни

один файл не соответствует использовавшемуся фильтру, появляется следующее сообщение:

0 Logs Listed (0 файлов в списке)

Примечание: Если вы не находите фильтр для поиска файлов IDL, которые хотите просмотреть, вы можете создать новый фильтр. См. подраздел «Создание фильтра» на странице 3-46.