![](/user_photo/2706_HbeT2.jpg)
Руководство пользователя (NV8200P)
.pdf![](/html/2706/180/html_XcRDbU_sr1._3Wu/htmlconvd-ZDKwTg191x1.jpg)
3. Задачи, не связанные с имплантацией
Системный журнал регистрации (продолжение)
Поля
Ниже окна New Entry располагаются поля считывания Operator (Оператор), Screen (Экран) и Date (Дата). Эти поля идентифицируют текущего пользователя (вас, если вы зарегистрированы в данный момент в системе в качестве пользователя), экран, из которого вы вошли в системный журнал регистрации, и текущие время и дату. Эта информация будет автоматически указываться перед вашей записью в журнал.
Кнопки
Используйте кнопку Accept для сохранения вашей новой записи. Ваше сообщение после этого исчезает из экрана. После выхода из программы, каждый раз, когда кто-либо другой регистрируется в программе, это сообщение будет показываться в окне History.
Используйте кнопку Person Log (Персональный журнал регистрации) для вывода на дисплей персонального журнала регистрации.
Другие кнопки в нижней части экрана «System Log» могут не функционировать.
Продолжение на следующей странице
4640-0137-0001 Ред. A |
3-77 |
![](/html/2706/180/html_XcRDbU_sr1._3Wu/htmlconvd-ZDKwTg192x1.jpg)
Руководство пользователя системы серии Eaton NV-8200/8250
Системный журнал регистрации (продолжение)
Считывание записей
Для чтения записей в системном журнале регистрации прокрутите окно вверх или вниз или в сторону, если требуется. Записи организованы в хронологическом порядке, самая последняя запись находится в конце списка.
Выполнение записи
Для внесения записи в системный журнал регистрации выполните следующие действия:
Шаг |
Действие |
1Кликните по окну New Entry, чтобы выбрать его.
2Введите свои замечания.
Если вам требуется больше места, увеличьте окно New Entry, как показано на странице 3-75. Информацию по исправлению ошибок см. в подразделе «Исправление опечаток» ниже.
3Для сохранения своей записи кликните по кнопке Accept. Ваше сообщение сохранено.
Примечание: Ваше сообщение исчезает из экрана, но появится в окне History в следующий раз, когда кто-то зарегистрируется и выведет на дисплей системный журнал регистрации.
Исправление опечаток
Можно использовать следующие способы для исправления ошибок в любом журнале регистрации:
•Нажимайте клавишу <Backspace> до удаления ошибки, затем повторите ввод.
•Наведите курсор и выделите символ или цепочку символов, затем перенаберите их с клавиатуры для замещения правильным текстом. Чтобы сянть выделение, просто кликните в любом другом месте экрана.
•Кликните дважды по слову для выделения слова полностью, затем нажмите клавишу <Backspace> для удаления слова.
•Кликните трижды по слову для выделения всего абзаца, затем нажмите клавишу <Backspace> для удаления абзаца.
3-78 |
4640-0137-0001 Ред. A |
![](/html/2706/180/html_XcRDbU_sr1._3Wu/htmlconvd-ZDKwTg193x1.jpg)
3. Задачи, не связанные с имплантацией
Персональный журнал регистрации
Введение
Персональный журнал регистрации представляет собой файл, в котором вы вводите примечания или напоминания для себя. Эти комментарии можете читать только вы и лицо с уровнем пользователя
Supervisor.
Доступ к персональному журналу регистрации
Для доступа к персональному журналу регистрации выполните следующие шаги:
Шаг |
Действие |
1Выберите опцию Logbook в ниспадающем меню Operator. Появляется системный журнал регистрации.
2Кликните по кнопке Personal Log (Персональный журнал регистрации) в нижней части системного журнала регистрации.
Окно
Экран «Personal Log» имеет единственное окно для чтения ваших предшествующих записей и создания новых записей. Самая последняя запись находится в нижней части списка.
Рисунок 3-16. Экран «Personal Log»
Продолжение на следующей странице
4640-0137-0001 Ред. A |
3-79 |
![](/html/2706/180/html_XcRDbU_sr1._3Wu/htmlconvd-ZDKwTg194x1.jpg)
Руководство пользователя системы серии Eaton NV-8200/8250
Персональный журнал регистрации (продолжение)
Поля
Поля считывания Operator, Screen и Date в персональном журнале регистрации показывают информацию, но эта информация не предшествует записям, которые вы делаете.
ПОДСКАЗКА
В отличие от системного журнала регистрации, персональный журнал регистрации не регистрирует дату и время записи сообщений. Возможно, вы возьмете себе за правило начинать каждое сообщение в персональном журнале регистрации с указания даты и, возможно, времени.
Кнопки
Используйте кнопку Accept для сохранения своей новой записи. Используйте кнопку System Log для вывода на дисплей экрана «System Log».
Другие кнопки в нижней части экрана «Personal Log» могут не функционировать.
Чтение записей
Для чтения записей в персональном журнале регистрации прокрутите окно вверх или вниз или из стороны в сторону, если требуется. Сообщения располагаются в хронологическом порядке, с самым последним сообщением в конце.
Продолжение на следующей странице
3-80 |
4640-0137-0001 Ред. A |
![](/html/2706/180/html_XcRDbU_sr1._3Wu/htmlconvd-ZDKwTg195x1.jpg)
3. Задачи, не связанные с имплантацией
Персональный журнал регистрации (продолжение)
Выполнение записи
Чтобы записать примечание в персональный журнал регистрации, выполните следующие действия:
Шаг |
|
Действие |
|
1 |
Поместите текстовый курсор в нужное место в окне. |
||
2 |
Введите свои комментарии. |
||
|
Информацию по исправлению ошибок см. в подразделе «Исправление опечаток» на этой |
||
|
странице. |
||
3 |
Кликните по кнопке Accept. |
||
|
|
|
|
Исправление опечаток
Можно использовать следующие способы для исправления ошибок в любом журнале регистрации:
•Нажимайте клавишу <Backspace> до удаления ошибки, затем повторите ввод.
•Наведите курсор и выделеите символ или цепочку символов, затем перенаберите их с клавиатуры для замещения правильным текстом. Чтобы снять выделение, просто кликните в любом другом месте экрана.
•Кликните дважды по слову для выделения слова полностью, затем нажмите клавишу <Backspace> для удаления слова.
•Кликните трижды по слову для выделения всего абзаца, затем нажмите клавишу <Backspace> для удаления абзаца.
4640-0137-0001 Ред. A |
3-81 |
![](/html/2706/180/html_XcRDbU_sr1._3Wu/htmlconvd-ZDKwTg196x1.jpg)
Руководство пользователя системы серии Eaton NV-8200/8250
Печать
Введение
Существует два основных способа печати:
•печать файла целиком
•печать экрана, показываемого на дисплее в данный момент
Печать файла целиком
Для печати файла полностью, например, файла IDL, который может состоять из одной страницы или нескольких страниц, выполните следующие шаги:
Шаг |
Действие |
1Кликните по кнопке Print (Печать).
В случае появления окошка подтверждения кликните по кнопке Yes. Кликните по кнопке OK.
Печать текущей страницы дисплея
Чтобы распечатать показываемый в данный момент экран или окно, выполните следующие действия:
Шаг |
Действие |
1Нажмите клавишу <Print Screen> (Распечатать экран) в верхнем ряду на клавиатуре или клавишу <PrSc> в верхней части цифровой клавиатуры.
Через мгновение курсор мыши превращается в перекрестье.
Наведите перекрестье на окно, которое хотите распечатать, и нажмите левую клавишу мыши.
Экран распечатывается на принтере установки имплантации.
3-82 |
4640-0137-0001 Ред. A |
![](/html/2706/180/html_XcRDbU_sr1._3Wu/htmlconvd-ZDKwTg197x1.jpg)
Раздел 4. Автоматическая имплантация
Общее описание
Введение
Установки имплантации серии NV-8200/8250 могут выполнять большую часть работы по имплантации полупроводниковых пластин автоматически. Они могут задавать условия для начала имплантации, выполнять настройку пучка, поддерживать ток пучка и выполнять имплантацию полупроводниковых пластин – все в соответствии с выбранным вами рецептом.
Вданном разделе
Вданном разделе объясняется порядок выполнения процесса автоматической имплантаций и порядок использования функции автоматической настройки пучка, Autotune.
Раздел содержит информацию по следующим темам:
Тема |
См. страницу |
Сравнение экранов «Automatic Implants» («Автоматическая |
4-2 |
имплантация») и «Implant» («Имплантация») |
|
Использование экрана «Automatic Implant» |
4-3 |
Использование экрана «Implant» |
4-5 |
Просмотр технологических рецептов |
4-9 |
Выполнение процесса автоматической имплантации |
4-12 |
Организация очередности партий |
4-18 |
Использование автоматической настройки |
4-19 |
Приостановка, возобновление и прерывание имплантации |
4-35 |
4640-0137-0001 Ред. A |
4-1 |
![](/html/2706/180/html_XcRDbU_sr1._3Wu/htmlconvd-ZDKwTg198x1.jpg)
Руководство пользователя системы серии Eaton NV-8200/8250
Сравнение экранов «Automatic Implants» («Автоматическая имплантация») и «Implant» («Имплантация»)
Введение
Можно выполнять процессы автоматической имплантации из экрана «Automatic Implant» или из экрана «Implant». Оба экрана содержат одинаковые функции, но они различаются в некоторых отношениях.
Сходства
Экран «Automatic Implant» и экран «Implant» содержат одинаковые функции. Из обоих экранов можно:
•выполнять процессы автоматической имплантации (см. подраздел «Выполнение автоматической имплантации» на странице 4-12)
•добавлять и убирать кассеты с полупроводниковыми пластинами (см. шаги 4-7 в подразделе «Выполнение автоматической имплантации», начинающемся на странице 4-12)
•просматривать технологические рецепты (см. подраздел «Просмотр технологических рецептов» на странице 4-9)
Процедуры вышеописанных функций выполняются одинаково из обоих экранов.
Различия
Экран «Automatic Implant» и экран «Implant» имеют следующие различия:
•Экран «Implant» включает массив полей, обеспечивающих информацию о состоянии имплантации.
•Экран «Automatic Implant» включает меню «End Station Control» (Управление приемным терминалов) в режиме «только для чтения».
4-2 |
4640-0137-0001 Ред. A |
![](/html/2706/180/html_XcRDbU_sr1._3Wu/htmlconvd-ZDKwTg199x1.jpg)
4. Автоматические имплантации
Использование экрана «Automatic Implant»
Введение
Из экрана «Automatic Implant» можно:
•Выполнять процессы автоматической имплантации (см. подраздел «Выполнение автоматической имплантации» на странице 4-12.)
•добавлять и убирать кассеты с полупроводниковыми пластинами (см. шаги- 7 в подразделе «Выполнение автоматической имплантации», начинающемся на странице 4-12.)
•просматривать технологические рецепты (см. подраздел «Просмотр технологических рецептов» на странице 4-9.)
•просматривать экран «End Station Control» в режиме «только для чтения» (см. подраздел «Просмотр экрана только для чтения «End Station Control»» на странице 4-4.)
Доступ к экрану «Automatic Implant»
После входа в систему интерфейс оператора открывается в экране «Automatic Implant», показанном на Рисунке 4-1.
Рисунок 4-1. Экран «Automatic Implant»
После вывода на дисплей другого экрана вернуться в экран «Automatic Implant» можно выбором раз-
дела Automatic Implant в меню Operator.
Продолжение на следующей странице
4640-0137-0001 Ред. A |
4-3 |
![](/html/2706/180/html_XcRDbU_sr1._3Wu/htmlconvd-ZDKwTg200x1.jpg)
Руководство пользователя системы серии Eaton NV-8200/8250
Использование экрана «Automatic Implant» (продолжение)
Просмотр экрана «End Station Control» в режиме «только для чтения»
Из экрана «Automatic Implant» можно просматривать экран «End Station Control» в рижиме «только для чтения». В этом экране можно просматривать значения полей, касающиеся приемной станиции, и отслеживать состояние обрабатываемых полупроводниковых пластин по таблицам состояния полупроводниковых пластин.
Доступ к экрану «End Station Control» в режиме «только для чтения»
Для доступа к экрану «End Station Control» в режиме «только для чтения» из экрана «Automatic Implant» выберите опцию Show End Station (Показать приемную станцию) в выпадающем меню Details.
Рисунок 4-2 Экран «End Station Control»
Свертывание экрана «End Station Control», открытого в режиме «только для чтения»
После вывода на дисплей экрана «End Station Control» в режиме «только для чтения» можно скрыть его, выбрав опцию Hide End Station (Скрыть приемную станцию) в выпадающем меню Details.
Описание экрана «End Station Control», отрытого в режиме «только для чтения»
Полное описание экрана «End Station Control» в режиме «только для чтения» и его полей, включая маркированные иллюстрации, см. в подразделе «Мониторинг с экрана «End Station Control»» на странице 5-16.
4-4 |
4640-0137-0001 Ред. A |