- •2. Транзисторы со структурой металл-диэлектрик полупроводник (мдп, mos — разновидность fet)
- •3.2. Вах идеализированного мдп транзистора
- •Малосигнальные параметры вах.
- •3.3. Cобственные емкости мдп транзистора и поле в канале
- •3.4. Схемы включения мдп транзистора
- •Общий затвор (оз)Общий исток(ои)Общий сток (ос)
- •3.5. Предельная частота идеального мдп транзистора
- •3.6. Пороговое напряжение
- •Основные результаты
- •4. Вах реального мдп транзистора с длинным каналом
- •4.1. Влияние потенциала подложки на пороговое напряжение.
- •4.2. Влияние неоднородности опз под затвором на вах
- •4.3. Подпороговый ток
- •4.4. Зависимость вах от температуры
- •Основные результаты
- •5. Эффекты малых размеров (короткий или узкий канал)
- •5.1. Класификация эффектов малых размеров.
- •5.2. Пороговое напряжение.
- •5.3. Смыкание опз стока и истока.
- •5.4. Ограничение дрейфовой скорости носителей в канале.
- •Реально скорость носителей всегда конечна. В кремнии
- •5.5. Модуляция длины канала
- •5.6. Вах короткоканального транзистора
- •Основные результаты
- •6. Модели мдп транзисторов
- •6.1. Классификация моделей
- •6.2. Эквивалентная схема для большого сигнала (нелинейная)
- •6.3. Эквивалентные схемы для малого сигнала (линейные)
- •7. Структуры мдпт
3.4. Схемы включения мдп транзистора
Схемные обозначения:




п-канал р-канал п-канал р-канал
Встроенный канал Индуцированный канал
Общий затвор (оз)Общий исток(ои)Общий сток (ос)

Точкой обозначены малые переменные составляющие токов и напряжений.
Лучшие усилительные свойства — в схеме ОИ.
Лучший режим работы — пологая область ВАХ (крутизна максимальна).
3.5. Предельная частота идеального мдп транзистора
Цепь усилительных каскадов ОИ.
Т
ранзисторы
работают в пологой области ВАХ:
,
.
Нагрузка:
.
.
На
предельной
частоте
:
.
.
(3.5.1)
;
;
.
.
(3.5.2) Длину
канала
следует предельно уменьшать!
3.6. Пороговое напряжение
Положим: VBS = VDS = 0; VGS = VT0. При этом V(у) = VS.


S — поверхностный
потенциал
;
;
При
,
т.е.
(условно).
,
т.к.![]()
(нижний
знак —
для р-канала).
,
где
— удельная емкость диэлектрика.
Параметры,
определяющие
![]()
1).
.
Отсюда:
.
2).
;![]()
;
.
3).
;
—поверхностная
плотность поверхностных состояний.
4).
;
;

![]()
Для
Si:
эВ.
В качестве затвора часто используется вырожденный поликремний.
Затвор
Si*
Подложка
р-Si


Способы регулировки порогового напряжения.
1). Затвор р+- Si* или п-Si*.
2). Мелкое подлегирование канала:
Введение
тонкого (<< lT0)
слоя донорной (
)
или акцепторной (
)
примеси на поверхности полупроводника
эквивалентно введению поверхностного
заряда с поверхностной плотностью
,
где
—поверхностная
доза примеси.

Основные результаты
1). В рамках идеализированной модели ток стока является функцией двух напряжений:
или![]()
и
не зависит от потенциала
подложки(т.е. от напряжения
).
2). ВАХ идеализированного МДП транзистора определяется двумя параметрами:
и
.
3). В пологой области ВАХ ток стока и крутизна ВАХ зависят только от напряжения затвор-исток:
;
.
Емкость
,
а емкость
.
4). Предельная частота транзистора определяется соотношением
и
составляет
.
5). Эффективными способами регулировки порогового напряжения являются:
а) применение поликремниевого затвора п+-илир+-типа;
б) подлегирование поверхности канала.
4. Вах реального мдп транзистора с длинным каналом
4.1. Влияние потенциала подложки на пороговое напряжение.
Пороговое
напряжение зависит от
.
Расмотрим вначале энергетическую
диаграмму для случая
(весь канал эквипотенциален)

При VBS < 0 система не является равновесной (р-п переходы подложка-исток, подложка-сток и подложка-канал закрыты; через них протекает обратный ток).
Поэтому
в ОПЗ
.
Поверхностный потенциал
.
В формуле для ширины ОПЗ следует заменить:
![]()
:
![]()
,
или:
.
При этом
.
Эта
поправка изменяет пороговое напряжение
(по сравнению со случаем VSB
= 0):
,
(4.1.1)
где
[B1/2]
— коэффициент подложки.
В п-канальных транзисторах при увеличении -VSB VT возрастает.
В р-канальных транзисторах при увеличении -VSB VT снижается.
Если
,
потенциал канала изменяется поу
от
до
.
В формулах для
следует заменить:
:
; (4.1.2)
. (4.1.3)
Пороговое напряжение оказывается зависящим от координаты у.
