- •Федеральное агентство по образованию
- •Реферат
- •Содержание
- •Введение
- •1 Особенности работы и применения электроразрядных эксимерных лазеров
- •Способы создания активной среды электроразрядных эксимерных лазеров
- •1.2 Системы прокачки рабочей смеси
- •1.3 Основные реакции в лазерах на галогенидах инертных газов
- •1.4 Образование эксимерных молекул
- •1.5 Электрические схемы ввода энергии в объемный разряд
- •1.6 Объемный разряд в инертных газах и их смесях с галогеносодержащими молекулами
- •1.7 Источники предыонизации газа
- •Источники уф-излучения
- •1.8 Некоторые особенности получения нанопорошков.
- •2 Исследование характеристик лазера и возможности получения нанопорошков
- •2.1Погрешности измерений
- •2.2 Исследование характеристик электроразрядного XeCl лазера
- •2.3 Формирование излучения с узкой спектральной линии в селективном резонаторе.
- •2.4 Расчет характеристик вентилятора и свойств газового тракта лазера
- •Некоторые зависимости для вентилятора
- •Оценка аэродинамического сопротивления теплообменника
- •Расчет охлаждения газовой смеси теплообменника
- •Магнитная муфта
- •2.5 Исследование возможности получения нанопорошка
- •Зависимость выхода порошка от площади фокусного пятна.
- •Зависимость выхода порошка от энергии лазерного импульса
- •Заключение
- •Список литературы
1.2 Системы прокачки рабочей смеси
В отличие от режима одиночных импульсов, импульсно периодический режим работы (ИПР) имеет свои особенности обусловленные влиянием возмущений, вызванные предыдущими разрядными импульсами на последующие. Согласно [16] данное влияние вызывается следующими явлениями:
Адиабатического расширения пробки нагретого газа
Влияния пограничных слоев на электродах
Ударных волн
Акустических колебаний
5. Изменение состава рабочей смеси
Наличие возмущений плотности газа при ИПР, приводит к неоднородному распределению плотности газа в разрядном объеме, и как следствие происходит контрагирование разряда, приводящее к неоднородности распределения выходного излучения по сечению пучка, уменьшения выходной мощности излучения, к механическим повреждениям электродов и т.д. Для избежания выше перечисленных последствий, необходимо осуществлять смену газа в разрядном промежутке.
В работе [16] проводится теоретическая оценка скорости прокачки газа в разрядном промежутке. Расчет показывает что, скорость прокачки должна быть таковой, чтобы к моменту начала следующего импульса успевала происходить смена газа в промежутке в полтора раза больше чем размер электродов в направлении прокачки. В этом случае влияние адиабатического расширения пробки нагретого газа от предыдущих разрядных импульсов на последующие, будет незначительно.
В работе [17] исследовались различные конструкции камер прокачки изображенных на рис 2. Газовый поток, в обеих камерах создавался диаметральным вентилятором, который приводился в движение электродвигателем через магнитную муфту. Скорость потока в камере а у
а
б
Рисунок 2.Схемы прокачки рабочей смеси
1- охлаждающий элемент; 2- диаметральный вентилятор; 3- электроды
заземленного электрода составляла 3 м/с а у высоковольтного электрода 4-5 м/с (при 1500 об/мин). Рост мощности лазера при увеличении частоты прекращался при достижении частоты повторения импульсов 175 Гц. Авторы связывают это с тем, что пробка нагретого газа не успевает выйти из разрядного промежутка. В камере изображенной на рис 3б граничная частота составила порядка 400 Гц (скорость прокачки 24 м/с), а уменьшение мощности объяснялось влиянием акустических колебаний, для подавления которых необходимо устанавливать глушители.
Кроме скорости прокачки важным параметром является профиль газового потока в разрядном промежутке. В лазере, работающем в ИПР скорость прокачки в центре разрядного промежутка составляла 30 м/с и плавно спадала к краям [18]. При этом мощность генерации, линейно возрастающая при увеличении частоты следования импульсов, спадала до нуля уже при частоте 20 Гц. При применении сглаживающей решетки (с прозрачностью 0.6) скорость потока составляла 6 м/с, а неоднородность не превышала 10%. При таких условиях частота следования импульсов без уменьшения мощности составляла 100 Гц.
Кроме наличия сглаживающей сетки на однородность газового потока влияет также форма конструкции камеры прокачки и плавность сопряжения электродов со стенками газового канала. В работе [19], была разработана камера прокачки изображенная на рис 3. В отличие от обычной системы прокачки, эта схема содержит вихреобразователь, в выходном патрубке. Аэродинамическая характеристика такого вентилятора имеет примерно в 3 раза большее относительное давление в области малых производительностей. Следует отметить что при, скорости прокачки газа 24 м/с (частота вращения вентилятора 5800 об/мин) при частоте повторения импульсов 6.1 кГц наблюдалось резкое падение мощности. Уменьшение мощности авторы связывают с образованием высокоионизированной плазмы (вследствие меньшей скорости прокачки у электродов), в приэлектродных слоях, которая искажает поле, формируемое электродами.
Рисунок 3. Схема прокачки газа азотного лазера
1- катод, 2- анод, 3- обостряющая емкость, 4- ножевой предыонизатор, 5- диффузор, 6- вихреобразователь, 7- направляющие потока, 8- диаметральный вентилятор, 9- радиаторы охлаждения, 10- электростатический фильтр, 11- вход газа в электростатический фильтр
Камера подвергалась усовершенствованию, был введен дополнительный канал шириной 1.5 мм через который осуществлялась дополнительная продувка газовой смеси проходящей через электростатический фильтр. Что позволило повысить частоту до 11 кГц.